Agilent Technologies PVG500KF16S

Описание

PVG500KF16S — это высоковакуумный клапан (затвор) с пневматическим управлением производства Agilent Technologies (линейка Vacuum Products, ранее —產品 Varian). Клапан типа "all-metal" (полностью металлический) с уплотнением по ножевому принципу (knife-edge / CF-flange), предназначен для использования в сверхвысоковакуумных (UHV) системах, где требуются низкие уровни газовыделения и устойчивость к прогреву.

Применяется в: масс-спектрометрии, напылительных установках (PVD/CVD), ускорителях, синхротронных линиях, системах электронной микроскопии, аналитическом оборудовании, полупроводниковом производстве.

Ключевые особенности

• Пневматический привод (обычно с электромагнитным пилотным клапаном 24 В DC)
• Индикация положения (open/closed) через микропереключатели (опция)
• Ручное аварийное управление (опция)
• Все детали, контактирующие с вакуумом — из нержавеющей стали (обычно 304/316L) и fluoropolymer / металлических уплотнений
• Расчитан на многократные циклы и прогрев до ~200–250 °C (в открытом положении)
• Фланцы: CF (ConFlat) — стандарт для UHV

⚠️ Точные параметры должны проверяться по актуальному datasheet Agilent — приведённые ниже значения являются типичными для серии PVG500KF… и могут незначительно отличаться в зависимости от ревизии.

Технические характеристики (типичные / ориентировочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип | Пневматический UHV-клапан (шиберный/затвор) | | Серия | PVG500 (Pneumatic Vacuum Gate) | | Номинальный диаметр (DN) | ~16 мм (условно, по цифре "16" в обозначении) — уточнять по фланцу | | Тип фланца | CF (ConFlat), ножевой затвор | | Уплотнение | Металлическое (all-metal, нож по медной прокладке CF) | | Рабочее давление (диапазон) | от ~1×10⁻¹⁰ мбар до атмосферного (1 бар) | | Предельное остаточное давление | < 1×10⁻¹⁰ мбар (типично для UHV) | | Утечка (в закрытом состоянии) | < 1×10⁻⁹ мбар·л/с (He) | | Утечка наружу | < 1×10⁻⁹ мбар·л/с | | Привод | Пневматический, двойного действия (или односторонний с пружинным возвратом) | | Управляющее давление воздуха | 4–6 бар (типично) | | Пилотный электромагнитный клапан | 24 В DC (стандарт), опция 110/230 В AC | | Индикация положения | Микропереключатели (опция) | | Материалы (вакуумная часть) | Нержавеющая сталь 304/316L, CF-медь | | Прогрев (bakeout) | до ~200 °C (в открытом положении), уточнять | | Присоединение воздуха | Пневмофитинг Ø4 или Ø6 мм (быстросъём) | | Рабочая температура окружающей среды | 0…+50 °C (привод) | | Монтаж | Любая ориентация (рекомендуется вертикальная для затворов) |

Парт-номера (Part Numbers)

Формат обозначения Agilent: PVG500KF16S — это уже артикул серии; ниже — типичные сопутствующие/вариантные парт-номера, которые встречаются в каталогах Agilent/Varian для данной серии. Обязательно сверяйте с официальным каталогом Agilent — нумерация может отличаться по ревизиям.

Типичные варианты и аксессуары (примеры, требующие подтверждения):

• PVG500KF16S — базовый клапан, CF16, пневматика, с индикацией
• PVG500KF16 — вариант без индикации (пример)
• PVG500KF25S / PVG500KF40S — аналоги для CF25 / CF40 (пример расширения линейки)
• PVG500KFS — серия с микропереключателями
• Соленоидный пилотный клапан: 24 В DC (напр., артикулы серии XSA/AVS — уточнять)
• Ремкомплекты уплотнений и сервис-киты — отдельные парт-номера (уточнять по сервис-мануалу)

⚠️ Важно: публично доступные каталоги Agilent по серии PVG500 ограничены; для точного списка парт-номеров (особенно ремкомплектов и пилотных клапанов) рекомендуется запросить у Agilent или дистрибьютора актуальный datasheet / price list.

Совместимые модели и компоненты

Клапан PVG500KF16S совместим (по присоединению и управлению) со следующим оборудованием и аксессуарами:

Фланцевое присоединение:

• Стандартные CF16 (DN16 CF) фланцы и медные прокладки CF16
• Компоненты UHV-систем с CF16: ниппели, тройники, переходники, сильфонные узлы

Системы управления и приводы:

• Контроллеры/драйверы пневматических клапанов Agilent (серии XGS, контроллеры затворов)
• Пилотные соленоидные клапаны 24 В DC (совместимые по давлению/расходу)
• PLC-системы и вакуумные контроллеры с выходом 24 В DC для управления пилотом
• Датчики положения (микропереключатели) — совместимые с интерфейсами индикации

Вакуумные системы (типичная совместимость):

• Турбомолекулярные и криогенные насосы Agilent/TwisTorr, Edwards, Pfeiffer (как часть UHV-линии)
• Масс-спектрометры Agilent (GC-MS, LC-MS), источники ионов
• Напылительные и PVD/CVD-установки с CF-интерфейсом
• Установки электронной микроскопии (SEM/FIB) с UHV-портами CF16

Аксессуары:

• Пневмошланги Ø4/Ø6 мм, быстросъёмные фитинги
• Ремкомплекты (уплотнения CF, седло, мембраны пневмопривода)
• Кабели для микропереключателей индикации

Рекомендация

Для точных технических характеристик, габаритных чертежей, кривых проводимости и полного перечня парт-номеров (включая ремкомплекты) используйте:

1. Официальный сайт Agilent → Vacuum Products → Valves → Gate Valves → серия PVG500
2. Запрос datasheet/price list у авторизованного дистрибьютора Agilent
3. Сервис-мануал серии PVG500 (для ремкомплектов)

Если нужно — могу помочь составить запрос в Agilent или структурировать спецификацию под конкретную вакуумную систему (укажите DN, тип фланца, требования по прогреву и управлению).