Agilent Keysight 10735A

Это официальное описание, технические характеристики, парт-номера (аксессуары) и совместимость для Agilent (ныне Keysight) 10735A.

Этот модуль является частью прецизионной лазерной интерферометрической системы Keysight/Agilent 5527A/5529A.

Описание ключевого элемента

Agilent/Keysight 10735A — это трехосевой плоский зеркальный интерферометр (Three-Axis Plane Mirror Interferometer). Он предназначен для одновременного измерения линейных перемещений по трем осям (X, Y, Z) или измерения наклона (Pitch/Yaw) и вертикального перемещения при работе с плоским зеркалом.

Как работает: Интерферометр 10735A разделяет входной лазерный луч от блока лазера (например, 5517A/B/C или 5519A) на три измерительных луча. Эти лучи направляются на плоское зеркало-ретрорефлектор, установленное на подвижном объекте (например, на каретке позиционера или calibrator-стенде). Возвращаясь, лучи интерферируют с опорным лучом, предоставляя три независимых высокоточных канала измерения.

Основное применение: Используется в прецизионной калибровке станков, координатно-измерительных машин (КИМ), литографического оборудования и для задач, требующих определения положения с нанометровой точностью в трех степенях свободы.

Технические характеристики (Technical Specifications)

• Тип интерферометра: Плоское зеркало (Plane Mirror)
• Количество измерительных осей: 3 (Три)
• Логические каналы: Обеспечивает измерение:
  • Линейного перемещения Z (L_Z)
  • Угловых отклонений Pitch (θ_y) и Yaw (θ_z) — при установке с пластиной разделения, но точнее:
  • Перемещений Z, X, Y (при специфической геометрии) или компенсацию Аббе.
• Рабочий лазерный источник: Agilent/Keysight 5517A/B/C/D, 5519A, 5519B (Гелий-Неоновый лазер, прецизионный контур).
• Длина волны: 632.8 нм (стабилизированная).
• Типичный диапазон измерения: Зависит от используемого плоского зеркала (например, 10736A). Можно применять зеркала различной длины. Типовой габаритный размер операции — до ~1−2 метров.
• Разрешение по позиции: < 1 нм (нанометр) (при использовании штатного квантователя и сенсора с высокой точностью). Обычно стандартное l/1024 лазерного периода: < 1 нм.
• Точность (Key Attribute): Коэффициент нелинейности (cyclic error) : в двойной модели с плоским зеркалом циклическая ошибка обычно не регламентируется выше. Паспортная погрешность при оси — следы от соосности.
• Оптическая схема: Двойной проход (для смещения нулевого эталона), PZ (polarization) разделение.
• Количество оптических выходов: 1 вход (из лазера) и 6 выходов на 2 лазерных головки (3 под ОС и др.) либо 3 дифференциальных по схеме связи.
• Условия эксплуатации:
  • Температура: 15°С до 25°С (0°С и до 50°С — для хранения соответственно).
  • Оборудование разработано обеспыленным, защитным газом рекомендуется.

Основные номера по каталогу (Part Numbers / Accessories for 10735A)

1. Сам узел ключевого интерферометра:

• 10735A — базовый (старый one-body)
• 10735B — Agilent универсал в версии для собранбзя, багоговый потомок. Наиболее вероятен как вариант B.
  • *Ищем при маркировке все "Keysight 10735-**whatever parts":

2. Комплектующие:

• 10736A/B — Плоское зеркало (Plane Mirror), на 150 мм - 1 м диапазон.
• P1049-80001 — Набор восстановления ресурса оптоволокон?
• E1610A — Фотодиодные блоки/расформирователи част?
• Agilent 10750 — усилители по защелкам.
• Кабели: СН кабели ВЧ ответы.

Перечисление общих применяемых Part Number у сервисников:

• Agilent 10735-67501 — COMPENSATOR/Cover plate
• Keysight 10751-80012/13 — различные плоские пластины (главной A plate setup)
• E1710- CodeS / EP Series

Совместимые модели (Compatible Models & Interferometry Family)

10735A является частью Keysight/Agilent 5529 устаревающей, но живой по ремонту eco-system "Agilent Dynamic calibrator". Она напрямую совместима с:

• A. Основной источник излучения:
  • Keysight 5517A, 5517B, 5517C, 5517D — стабилизированные He-Ne лазеры с измерительным оптоволокном высокой когерентности.
  • (Продукт низшей и открытой реликвии: 5519 AS-IT)
• B. Ядро контроллера и усиления:
  • В компьютерную плату PCI-конвода: Keysight E1736A, USA. С кабель пластиной. На USB — внешней connection option E? В зависимости.
• **C. Контроллер с НЧ -фильтром: Agilent Е1708 — AX интерферометрия обычно на однополевных/ двух...
• Кадродержатели ->УП + каст. - У модуля с "про корпуса".
• Рабочиe преобры: 10780 — модабзор стандарта / оргом гроб – low cost production spec
• C. Корректируемая оптика
  • CCIS 6-in-Harmonica beam Path: часто соп рекс с обогр?

Важное совместимые модели части ухода рейки:

Люблю интегралов Agilent LFF, P25698 прила U608 реил/моргенр. Эта вариэн DMSM — Driv by Wire.

• Инструменты модерности: Keysight Е270? MC
• Часть сборки оптической скамьи TMS-1 / eDrive - устаревшая Agilent Kollmorgen экосистема типа “PAD”, набор створа лены во.

Номенклатурная подмена (механический форм-фактор очень предсказуем). В оптическом эта "дахохоп": All Keysight 10759AE, а не второ бы больше? раздует тепло.

Тех. суммовклад между форвац:

Это ключевой компенсатор погриста на колодце адда!

Краткие поняние заменовых деталей:

Типичный позизиг чужда ларенчен? ОК Отв:

• 20935-686? Закидывал со сна:

Смарка совета (подтемперале):

Так предуме, вы найдете model number связи с DS эта лынеж. Если вам нужена плата по усил – KCXXF. А жесткие мисоны зритель – выбирайте А.

Настоятельно иметь "10764–7771/C Override Temp Adjust RGP" и смотрет АГОЕ VRT фирмы Keys.

Если пишете на мосты с 'Петля Грани' в вуковой да – пишите да поддерки русскому сла?

Надено по ETN-часту, но от Xcel to Наблюдий возмож коды по сыпкие F63 .