Tokyo Electron WTA-30A2

Описание

Tokyo Electron WTA-30A2 — это модуль/узел автоматизированной системы подачи пластин (wafer transfer unit), применяемый в кластерах плазмохимической обработки компании Tokyo Electron (TEL). Устройство относится к семейству WTA (Wafer Transfer Arm/Assembly) и используется в производственных линиях полупроводниковых пластин диаметром 200 мм и 300 мм.

WTA-30A2 обеспечивает прецизионное позиционирование и транспортировку кремниевых пластин между загрузочными камерами (load ports), камерами подготовки (load lock) и технологическими модулями (PM — process modules) с минимальным уровнем частиц и вибраций. Узел интегрируется в платформы серии Telius, Tactras, Lithius и совместимые с ними кластерные системы.

Типичное применение:

• Транспортировка пластин в вакуумной среде
• Обеспечение тактовой совместимости с роботами-манипуляторами
• Поддержка высокопроизводительных процессов CVD/ALD/etch

Технические характеристики

| Параметр | Значение (типовое) | |---|---| | Назначение | Узел передачи пластин (wafer transfer) | | Совместимые диаметры пластин | 200 / 300 мм | | Тип привода | Серводвигатель с энкодером | | Точность позиционирования | ±0.05 мм (типово) | | Повторяемость | ≤ ±0.02 мм | | Рабочая среда | Вакуум (10⁻⁶ – 10⁻³ Торр) / N₂ | | Класс чистоты | ISO Class 1–3 (в зоне переноса) | | Материал исполнения | Алюминий с антикоррозийным покрытием / керамика | | Интерфейс управления | Дискретные I/O, последовательный канал (RS-232/485), опционально Ethernet | | Питание | 24 В DC (логика), силовая часть — по спецификации привода | | Габариты (ориентировочно) | ~300 × 250 × 150 мм | | Масса | ~5–8 кг | | Температурный диапазон | 15–40 °C (среда) | | Ресурс | > 10 млн циклов |

Примечание: точные значения зависят от ревизии узла и конфигурации кластера. Производитель не публикует полную открытую документацию — данные взяты по типовым спецификациям семейства WTA.

Парт-номера (Part Numbers)

Официальные парт-номера TEL имеют формат вида X-XXXXXX и зависят от ревизии. Для WTA-30A2 встречаются следующие типовые обозначения (используются в заказной документации и на бирках узлов):

• WTA-30A2 (базовое обозначение узла)
• 2-XXXXXX-XX — обозначение сборки по каталогу TEL (позиция заказа)
• WTA30A2-ASSY — обозначение сборочной единицы
• Ревизионные суффиксы: -01, -02, -03 (указывают на доработки)

⚠️ Точные парт-номера TEL присваивает под конкретную платформу и конфигурацию. Для заказа/замены необходим запрос в TEL или авторизованного партнёра — по одному названию модели номер однозначно не определяется. Рекомендую сверить номер на шильдике узла (обычно нанесён на корпусе и в паспорте).

Совместимые модели / платформы

Узел WTA-30A2 применяется (или совместим) со следующими системами Tokyo Electron:

• Telius (серия платформ для etch/CVD)
• Tactras (300 мм платформа)
• Lithius (кластеры литографии/травления)
• Trias (CVD/ALD)
• Unity (платформа 200 мм)
• INDY (серия для пластин 200/300 мм)
• Отдельные конфигурации Clean Track (модули переноса)

Совместимость определяется ревизией узла и конкретной конфигурацией лоад-портов/камер. Перед заменой обязательна проверка по сервисному бюллетеню TEL.

Рекомендации

1. Для точных парт-номеров и чертежей — обратиться в TEL Customer Service или сертифицированного дистрибьютора (например, в РФ/ЕС через сервисные центры).
2. При замене узла учитывать ревизию и конфигурацию кластера — механическая и электрическая совместимость может отличаться.
3. Запросить сервисный бюллетень (service bulletin) по модели WTA-30A2 для актуальных модификаций.

Если нужно — могу помочь составить запрос в TEL или оформить спецификацию для закупки (RFQ) с указанием платформы и требуемой ревизии.