Tokyo Electron VOS-40-017

Описание

Tokyo Electron VOS-40-017 — компонент/запасная часть для оборудования Tokyo Electron (TEL), используемая в полупроводниковом производстве. Данный артикул относится к линейке деталей для систем плазменной обработки, травления и осаждения (в зависимости от конкретной платформы — чаще всего для установок серии VOS или совместимых модулей).

⚠️ Важное замечание: VOS-40-017 — это внутренний парт-номер TEL (parts number), а не самостоятельное устройство. Под такими номерами обычно поставляются:

• сменные узлы (assembly/sub-assembly),
• расходные компоненты (уплотнения, керамика, электроды, форсунки, датчики),
• электронные блоки и кабельные сборки.

Точная категория зависит от ревизии и конкретной установки. Поскольку официальные datasheet'ы TEL не публикуются в открытом доступе, ниже приведены типовые характеристики для деталей данного класса — для точной идентификации рекомендуется запрос в TEL или авторизованного дистрибьютора с указанием серийного номера оборудования.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | VOS-40-017 | | Категория | Сменный узел / запасная часть | | Совместимость | Установки TEL серии VOS / платформы с модулем 40 | | Материал | Зависит от узла (керамика, кварц, нерж. сталь, PEEK, алюминий с покрытием) | | Рабочая среда | Вакуум / плазма / агрессивные газы (в зависимости от узла) | | Температурный диапазон | Типовой: до 200–600 °C (для керамических/кварцевых деталей) | | Класс чистоты | Cleanroom / Semiconductor grade | | Ревизия | Уточняется по маркировке на детали |

⚠️ Точные электрические, механические и газодинамические параметры зависят от функционального типа узла и ревизии. Без официального P/N-каталога TEL их нельзя привести достоверно.

Парт-номера (связанные)

Прямых публичных кросс-референсов для VOS-40-017 в открытых источниках нет. Обычно встречаются:

• VOS-40-017 — базовый номер,
• VOS-40-017-xx — суффиксы ревизий (R1, R2 и т.п.),
• аналогичные номера соседних позиций серии VOS-40-0xx.

Для получения полного списка superseded/alternate номеров необходим запрос в TEL Parts или у дистрибьютора (например, через TEL e-Office / Field Service).

Совместимые модели

Публично подтверждённый список совместимых установок отсутствует. По маркировке серии VOS деталь чаще всего относится к:

• платформам TEL VOS (модули обработки),
• установкам травления/плазменной обработки TEL, где применяется модуль «40»,
• сопряжённым системам серий Unity / Tactras / Vigus (в зависимости от конфигурации).

❗ Точную совместимость необходимо подтверждать по серийному номеру установки через TEL или авторизованного сервис-партнёра — использование неверной ревизии может привести к повреждению оборудования.

Рекомендация

Для достоверного описания и спецификации VOS-40-017:

1. Проверьте маркировку и ревизию непосредственно на детали.
2. Запросите официальный Parts Data Sheet у Tokyo Electron или дистрибьютора.
3. Укажите модель и S/N оборудования при заказе.

Если вы располагаете фото детали или маркировкой ревизии — могу помочь уточнить функциональный тип узла и вероятные аналоги.