Tokyo Electron TM-144SUS-32-5713

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для пластины-держателя Tokyo Electron TM-144SUS-32-5713.

Общее Описание

Tokyo Electron TM-144SUS-32-5713 — это стандартная пластина-держатель (также называемая слайд или лифтер), используемая в плазмохимических установках травления (etch) и других модулях обработки компании Tokyo Electron (TEL).

Ее основное назначение — точно позиционировать и удерживать кремниевую пластину (подложку) во время процесса обработки в вакуумной камере. Она является критически важным расходным компонентом (consumable part), который напрямую контактирует с пластиной и подвергается воздействию плазмы, высоких температур и агрессивных химических сред.

• Тип: Пластина-держатель, электрод (ESC — Electrostatic Chuck в некоторых моделях, но в данном номере, скорее, механический слайд).
• Основной материал: SUS указывает на нержавеющую сталь (Stainless Steel), которая обеспечивает прочность, термостабильность и определенный уровень химической стойкости.
• Ключевая особенность: Номер 144, вероятно, указывает на диаметр обрабатываемой пластины — 144 мм, что соответствует пластинам 6 дюймов (150 мм), с учетом краевого захвата.

Технические Характеристики (Типичные)

Поскольку это специфический промышленный компонент, полные спецификации являются собственностью TEL, но на основе номенклатуры и аналогов можно выделить следующие ключевые параметры:

1. Диаметр рабочей поверхности: ~144 мм (предназначен для пластин 150 мм / 6 дюймов).
2. Толщина: Определяется моделью оборудования, обычно от 10 до 20 мм.
3. Материал: Нержавеющая сталь марки 316L или аналогичная (коррозионно-стойкая).
4. Поверхность: Высокоточная механическая обработка, полировка для обеспечения равномерного контакта и теплопередачи. Может иметь специальное покрытие (например, анодирование, покрытие оксидом алюминия) для повышения износостойкости.
5. Точность: Высокая плоскостность (обычно в пределах нескольких микрон) для предотвращения дефектов на пластине.
6. Термостойкость: Рассчитан на работу в диапазоне температур от комнатной до 150-200°C и выше, в зависимости от процесса.
7. Крепежные элементы: Имеет точно расположенные отверстия для крепления к механизму лифтера (lift pins), датчикам температуры, а также для вакуумного прижима или систем охлаждения/нагрева.
8. Вес: Зависит от толщины и конструкции, обычно 0.5 - 1.5 кг.

Парт-номера и Совместимые Модели

Этот компонент является оригинальной запчастью (OEM Part) от Tokyo Electron. Совместимость строго определяется моделью кластера или модуля обработки.

Совместимые платформы оборудования TEL (наиболее вероятные):

• Серия TEL Unity: Модули для процессов травления (Etch).
• Модели TEL 80xx, 90xx: Классические кластерные системы для 6-дюймовых линий (например, для производства MEMS, силовой электроники, пилотных линий).
• Конкретные модули: Может использоваться в таких модулях, как:
  • TEL M-20x
  • TEL M-30x
  • TEL M-40x (где x — специфический номер модели модуля травления или очистки).
• Совместимые процессы: Травление (SiO2, Si, поликремний), ашинг (удаление фоторезиста), предварительная очистка.

Важные примечания по совместимости:

• Даже в пределах одного модельного ряда оборудования могут быть разные ревизии держателей. Критически важно сверяться с технической документацией на конкретную установку.
• Часто используются альтернативные номера или номера ревизий от самого TEL (например, TM-144SUS-32-5713-R01, где R01 — номер ревизии).

Альтернативы и аналоги:

• Прямые OEM-замены: Только оригинальные запчасти от Tokyo Electron с точно таким же номером.
• Совместимые продукты от сторонних производителей: Такие компании, как NTK Cutting Tools, AEI, Semicorex и другие, могут производить совместимые держатели. Их парт-номера будут своими, но они указывают совместимость с TEL TM-144SUS-32-5713. Пример стороннего номера: [Имя производителя]-TEL144-5713 или подобный.
• Восстановленные (Refurbished) держатели: Существует рынок восстановленных и переполированных держателей, которые являются более бюджетной альтернативой новым.

Резюме

Tokyo Electron TM-144SUS-32-5713 — это высокоточный держатель для кремниевых пластин диаметром 150 мм, изготовленный из нержавеющей стали, для использования в модулях травления и очистки компании TEL на 6-дюймовых производственных линиях. Он обеспечивает точное позиционирование, теплопередачу и стабильность процесса. При заказе необходимо точно указывать полный номер и сверять его с документацией на оборудование, а также рассматривать оригинальные или качественные совместимые аналоги от проверенных производителей.