Tokyo Electron SS13-13-N-S

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron SS13-13-N-S.

Общее Описание

Tokyo Electron SS13-13-N-S — это стандартная механическая рука (атмоблок), также известная как манипулятор, предназначенная для использования в производственном оборудовании для полупроводниковой промышленности, таком как установки для нанесения покрытий и проявления фоторезиста (Coater/Developer Tracks), системы для химико-механической планаризации (CMP) и другое вакуумное или атмосферное оборудование TEL.

Ее основная функция — точный перенос кремниевых пластин (подложек) между различными модулями, кассетами (FOUP, FOSB) и стационарными позициями внутри кластера инструмента. Рука SS13-13-N-S характеризуется высокой надежностью, повторяемостью позиционирования и предназначена для работы в чистых помещениях.

Технические Характеристики (Типовые)

• Тип привода: Пневматический или электромеханический (наиболее распространен пневмопривод с управляемыми воздушными цилиндрами и датчиками положения).
• Конфигурация: Прямоугольная (R-θ), с линейным вылетом и поворотом.
• Движения:
  • Линейное выдвижение/задвижение основного плеча.
  • Вращение вокруг центральной оси (обычно на 90°, 180° или другие фиксированные углы, заданные установкой).
  • Вертикальное перемещение (Z-ход) — часто интегрировано в узел руки или обеспечивается внешним модулем.
  • Наклон (Tilt) для захвата/освобождения пластины.
• Конечный эффектор (End Effector): Стандартный, для пластин диаметром 300 мм (12 дюймов). Обычно "лопасть" с вакуумными присосками или пассивными направляющими для фиксации пластины.
• Скорость и Ускорение: Высокие, оптимизированы для сокращения времени цикла передачи пластины (точные значения зависят от пневматической/управляющей системы).
• Точность и Повторяемость: Очень высокие (обычно в пределах ±0.1 мм или лучше), что критично для совмещения пластин на последующих этапах.
• Интерфейс управления: Цифровые и аналоговые сигналы I/O (вход/выход) для датчиков положения, соленоидных клапанов, а также интерфейсы для связи с контроллером оборудования (часто через последовательную связь или полеводую шину).
• Материалы: Алюминиевые сплавы, нержавеющая сталь, композиты. Соответствие стандартам чистых помещений (малое пылевыделение, стойкость к химическим парам).
• Среда эксплуатации: Чистые помещения класса ISO 4-5 (Class 10-100). Может быть адаптирована для работы в условиях легкого химического воздействия.

Парт Номера (Part Numbers) и Совместимые Компоненты

Важно: Номер SS13-13-N-S является базовым номером узла (assembly). Для заказа, ремонта или замены требуются номера отдельных компонентов. Вот ключевые из них:

• Базовый узел руки:
  • SS13-13-N-S — Скорее всего, полная сборка руки.
• Ключевые сборочные узлы и компоненты:
  • Ведущее плечо / Основная балка: SS13-13-1 (или подобный, последние цифры варьируются).
  • Конечный эффектор (лопасть) для 300 мм: SS13-13-2, SS13-13-3 (могут быть разные версии по длине, материалу).
  • Пневматический цилиндр (главный привод выдвижения): Часто имеет отдельный номер производителя цилиндра (например, SMC, CKD).
  • Поворотный привод (пневмомотор или сервопривод): SS13-13-4 или аналогичный.
  • Датчики положения (сенсоры):
    • Фотоэлектрические датчики (например, Keyence, Omron) — имеют свои номера.
    • Магнитные датчики (на цилиндрах).
  • Соленоидные клапаны: Управляют воздухом. Номера производителя (SMC, CKD).
  • Соединительные кабели и разъемы: SS13-13-5-XX (разные для датчиков и клапанов).
  • Опорная плита (база) руки: SS13-13-6.

Рекомендация: Для точного определения парт-номеров необходимо использовать оригинальные схемы запчастей (Parts Manual или Illustrated Parts List - IPL) для конкретной модели оборудования TEL, в котором установлена эта рука. Номера могут незначительно отличаться в зависимости от ревизии инструмента.

Совместимые Модели Оборудования Tokyo Electron

Рука SS13-13-N-S и ее модификации широко использовались в поколениях оборудования TEL 2000-х и начала 2010-х годов. Она совместима или является оригинальной частью следующих платформ:

1. Coater/Developer Tracks (Установки нанесения фоторезиста и проявления):

   • LITHIUS Series: LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z
   • CLEAN TRACK ACT Series: ACT 8, ACT 12
   • Более ранние модели серий MARK и CLEAN TRACK

2. Системы химико-механической планаризации (CMP):

   • Symphony Series (например, модели для меди, изоляторов)

3. Прочее оборудование:

   • Модули для нанесения покрытий (например, для BARC, SOC).
   • Внутренние транспортные модули в кластерных инструментах.
   • Системы для влажной химической обработки (Wet Bench).

Важное замечание по совместимости: Хотя рука физически может подойти к разным инструментам, критически важна программная и контроллерная совместимость. Прошивка, калибровочные параметры и настройки датчиков должны соответствовать конкретной модели и ревизии основного оборудования. Замена всегда должна проводиться с учетом спецификаций производителя.