Tokyo Electron SCE92100

Описание

Tokyo Electron SCE92100 — это промышленная система плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD — Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition), предназначенная для нанесения диэлектрических тонкопленочных покрытий в производстве полупроводниковых приборов, MEMS-устройств и интегральных микросхем.

Установка относится к классу оборудования для тонкоплёночной технологии и обеспечивает высококачественное осаждение слоёв диоксида кремния (SiO₂), нитрида кремния (Si₃N₄) и других диэлектрических материалов при относительно низких температурах подложки (200–400 °C), что делает её пригодной для процессов, чувствительных к термическому воздействию.

SCE92100 входит в линейку оборудования Tokyo Electron для PECVD-процессов и характеризуется высокой равномерностью покрытия, стабильностью плазмы и возможностью обработки пластин диаметром до 200 мм (в зависимости от конфигурации). Система применяется в маршрутах производства как логических, так и memory-чипов, а также в исследованиях и разработке новых технологических процессов.

⚠️ Примечание: Tokyo Electron не всегда публикует полные спецификации на отдельные модели в открытом доступе. Часть данных ниже приведена на основании общих характеристик линейки SCE и может требовать уточнения по сервисной документации производителя.

Технические характеристики (типовые для линейки SCE)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип процесса | PECVD (плазмохимическое осаждение) | | Осаждаемые материалы | SiO₂, Si₃N₄, SiON, аморфный кремний (в зависимости от конфигурации) | | Диаметр обрабатываемых пластин | 150 мм / 200 мм (зависит от исполнения) | | Рабочая температура подложки | 200–400 °C | | Частота плазменного возбуждения | 13,56 МГц (RF), возможны варианты | | Рабочее давление | 0,1–10 Торр (типовой диапазон PECVD) | | Равномерность толщины плёнки | ±3–5 % (типовая) | | Источники газов | SiH₄, N₂O, NH₃, N₂, Ar и др. | | Система загрузки | Кассетная, автоматическая | | Класс чистоты | Соответствует требованиям полупроводникового производства (Class 1–10 в зоне обработки) | | Управление | Автоматизированное, с рецептами процессов |

Парт-номера (Part Numbers)

Единого публичного каталога парт-номеров Tokyo Electron не существует — компания использует внутреннюю систему нумерации, и конкретные P/N зависят от конфигурации, узла и года выпуска. Типовые категории:

• P/N основного блока (система в сборе): варьируются по конфигурации камеры и загрузчика
• P/N камеры осаждения: зависит от типа (single-chamber / multi-chamber)
• P/N RF-генератора и согласующего устройства
• P/N газораспределительной системы (gas box)
• P/N вакуумных насосов и клапанов
• P/N компонентов загрузчика пластин

Для получения точных парт-номеров конкретных узлов и запчастей рекомендуется обращаться в авторизованный сервис Tokyo Electron или к официальному дистрибьютору с указанием серийного номера установки.

Совместимые модели / платформа

SCE92100 относится к семейству Tokyo Electron SCE (платформа для PECVD). Совместимость по компонентам и процессам обычно распространяется на:

• SCE92100 (базовая модель)
• Модификации SCE92xx (различные конфигурации камер)
• Родственные системы линейки TEL SCE / TEOS-based PECVD
• Совместимость с загрузочными модулями и роботами TEL соответствующих поколений
• Процессные рецепты частично совместимы между камерами одной серии

⚠️ Конкретная совместимость запчастей и рецептов между моделями требует проверки по сервисному руководству TEL.

Если вам нужны данные по конкретному узлу (например, RF-генератор, MFC, насос) или точные P/N — уточните серийный номер установки или конкретный компонент, и я помогу сориентироваться по типовым обозначениям.