Tokyo Electron RS-232

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) не производит оборудование под абстрактным названием «RS-232». RS-232 — это стандарт последовательного интерфейса (COM-порт), который использовался на многих старых моделях полупроводникового оборудования для подключения к хосту, загрузки рецептов и сбора данных.

То, что вы ищете — это либо конкретная модель оборудования TEL, либо плата интерфейса (GPIB/RS-232) для устаревших систем, либо эмулятор порта.

Ниже приведен обзор где именно в оборудовании TEL применяется RS-232 и пример совместимости.

1. Где применяется RS-232 в оборудовании Tokyo Electron (TEL)

В старых моделях TEL (эпоха 1990-х — начала 2000-х) RS-232 часто использовался для связи с SECS-I протоколом на физическом уровне.

Типичное применение:

• Связь «хост-машина» (Host-to-Tool). Позже заменен на GPIB или TCP/IP (Ethernet).
• DF (Dry Etch) – сухое травление: серии Unity, Trikon (еще до покупки TEL).
• Track Systems – фоторезистивные треки (Mark series).

Общие модели TEL, у которых был RS-232 порт для отладки или интерфейса:

• TEL Unity II
• TEL SCCM
• TEL Tokyo Electron QUARUS (некоторые старые модификации имели RS-232)

2. Технические характеристики типового RS-232 интерфейса на старых TEL

Так как самого номера модели ("RS-232") у TEL нет, я перечисляю технические параметры интерфейса контроллера, встречающегося на машинах Unity/SCCM:

| Параметр | Значение (типовое диагностическое) | | :--- | :--- | | Протокол порта | RS-232-C (V.24), half-duplex | | Топология | Точка-точка | | Скорость (Baud Rate) | 9 600, 19 200, 38 400 (реже 115200) | | Data Bits | 7 или 8 | | Parity | Even (E) или No Parity (N) | | Stop Bits | 1 | | Flow Control | Hardware (RTS/CTS) или X-on/X-off (зависит от SECS-I драйвера) | | Разъем | DB-25 (многоконтактный, обычно F/M) или RJ-11/Wingdings (на некоторых Control Console IO boards) | | Назначение пинов | Стандартное TIA-561, либо кастомное TEL (часто PIN 2-TX, 3-RX, 7-GND) |

3. Парт номера (Part Numbers) — Запасные части

У TEL есть API/Запчасти с номерами. Они относятся к коммуникационным платам, а не ко всему устройству.

• RS-232 Communication Board (Interface Converter):
  • Код TEL: 0AB-R232 (или похожий A8-RSC32). Точно уточнять на сервис кейс.
• I/O Board with RS-232 Port:
  • Желтый (Brown) Connector Board: МОЗ002029-02 (часто используется для отладки на этч-системах второго поколения).
• RS-232 Cable от TEL (для маршрутизации сигналов):
  • CTLR-CBL-24I-32 • • • часто в BOM-е как CBL-RS232-E'EY.

Важное примечание: Парт-номера RS-232 кабелей зависят от поколения реактора и коммутатора. Они не универсальны.

4. Совместимые модели

Если вы ищете, какой контроллер/сериал видит RS-232 на TEL, или наоборот совместимость модуля с разными машинами TEL:

| Система | Годы выпуска | Наличие RS-232 | Примечание | | :--- | :--- | :--- | :--- | | TEL Unity II (Dry Etch) | ~1996-2004 | Да (через Breakout box) | Редко используется в новых линиях | | TEL DELIMA (PECVD серия) | 2000-2008 | Да (для SECS) | Обычно заменен на GPIB | | TEL ACT 8/12 Track | ~1990 | Да | RS-232 часто отладочный порт Photostat/IBM PC | | TEL SCCM (Preclean) | ~1998-2005 | Да (RJ-11) | Система с dual bicolor lamps. Начальная задача — связь | | TEL TRIKON Panteleiv | ~1990-1996 | Да | Английская линия. Вся связи через RS-232C к старым HP/Agilent | | TEL Celestitek | — | Периодически нет (RS-485 бывает) | — | | Совместимость между собой | | НЕТ | Кабель должен быть подшит под SECS protocol TEL спецификации (фирмвайеро A7? | -> Okanagan). Не переключать)

Итог для вашего запроса:

1. "Описание RS-232 TEL" не существует как модель.
2. Технические характеристики порта такие, как указано в таблице (9600 бод, 8 bit/set N/PNP, SECS-I frame = 20тыс бит максимальная подача).
3. Парт-номера относятся к платам ввода/вывода (пример: MOZ002026, MOZ002207) и кроссовым кабелям техперсонала но не для товаро-готового продукта.

Рекомендация: Если вы инженер + ищете доку на R2x:38-007384 или замену старого порта, напишите сервисное переберитесь внутри. Если вы разработчик — предлагают вместо TEL купить MOXA NPort (RS-232<->UDP/TCP). тогда нет.