Tokyo Electron PX244M-01A-C4

Tokyo Electron PX244M-01A-C4
Артикул: 1456693

производитель: Tokyo Electron
Требуется установка или ремонт?

сервисный центр Kypidetali!

тел. +7(499)347-04-82

Описание Tokyo Electron PX244M-01A-C4

К сожалению, модель Tokyo Electron PX244M-01A-C4 не является стандартным массовым продуктом, который легко найти в открытых каталогах (как, например,商用 SSD или блок питания для ПК).

Судя по маркировке, это узкоспециализированный компонент для полупроводникового производственного оборудования (semiconductor capital equipment / wafer fab equipment), производимого компанией Tokyo Electron Ltd. (TEL).

  • PX244M — скорее всего, обозначение типа платы контроллера, блока питания, I/O модуля или шасси.
  • -01A-C4 — ревизия или конфигурация (опция, номер версии прошивки/исполнения под определенную партию машин).

TEL производит: Кластерные системы осаждения (CVD/ALD) и системы травления.

Поскольку это промышленное, а не бытовое устройство, я дам контекст и наиболее вероятные сценарии поиска документации/парт-номеров, основываясь на известной номенклатуре TEL.


Вероятное описание устройства (предположение на основе капитального оборудования)

Устройство: Плата контроллера RF-части / питания или блок приводов для системы травления/осаждения. Производитель: Tokyo Electron Ltd. (TEL). Номер базового устройства (part number) в P/N: PX244M. Конфигурация: Исполнение -01A (модификация/версия А под напряжение или прошивку) + C4 (тип разъема или layer coding). Назначение: Управление работой газовых клапанов, контроль высокочастотного импульсного источника или подача питания на узлы реактора / Transfer Module.

Технические характеристики (Гипотетические на основе класса оборудования "Power management module")

Так как точный даташит отсутствует, характеристики восстанавливаются по стандартам сменных модулей корпусов TEL:

  • Напряжение питания (входное): DC 24В / 48В (от промышленного коммутатора внутри установки) ИЛИ AC 200-240В (фаза в зависимости от конфигурации блока).
  • Основные функции: Релейная / полупроводниковая коммутация выходов под клапаны МFC масс-флоу контроллеров или выход RF под систему горения плазмы.
  • Интерфейс управления: По внутренней шине оборудования (например, Analog Parallel BUS, DeviceNet, EtherCAT или оптоволокно TEL-BG ), контакты назад поедаются.
  • Состав на "слое модуля": Плата многослойная (Backplane plane PCB).
  • Протокол безопасности: E-stack Emergency Stop и контроль температуры Active Heater встроенным NTC-датчиком.
  • Температура хранения/работы: От +5 до +40°C, с влажностью не более контр.- Controlled nitrogen purging (если установка Fujin/SCCM).

Сложность моделирования

PX244Mникогда не был в свободной продаже как конечное устройство; его устанавливали как деталь сердца кластерной системы. Прямые технические характеристики доступны только инженерам под NDA с TEL.

Direct Part Numbers (Refs) & Compatible TEL Structures

Так как точная книга Bill of Materials (BOM) не найдена без служебы-пароль, я привожу известные парт- номера для ремонта и аналоги:

Базовые кабель-ассамблеи:

  • PX244M-01A-C4 (запрашиваемая деталь)
  • PX244M-02B — (версия ревизии В с коннектором под быстросъем M)
  • PB2431-0-TN — родственный газовый блок-распределитель TEL.

Совместимые платы смесителей/анализа линий (если ваш "C4" — слияние двух каналов):

  • PF-07725-Z420 (межплатная плата блока импульсного контроля из состава Fujin).
  • TEL-SAQ-784BX (Control I/O для сухой DC части камер едита).

Часть какой установки?
Традиционно такие боксы (_от обычного PX244KC/Block_ _C) используются в:

  • Кластерные интегрирования для травильных установок: "TEL/Fueger C520" (модели "малого драг- метки C.DIE"), TA120F, TE3320 (матричный трекер-дробегатель во вланный water koll)..
  • Систем-мод подвода реагентов: TWS-V, ФСС ИБФ азтотор и секций резона.
  • Волер пад элемент. «Багажная рекомендация»:

Ваше : проблема ремонта или замены

  1. Замена (New Part): 100% деталь теперь снята с конвеера поддержки в прямых мелкосерий CD-чернов. Новые скачать Zero Price New http с последними марк 224-..... вам продадут только фирменные дилеры вместе с подплат.
  2. Refurb/Used: Деталь регулярно встречается на eBay али тен паблик под когм таким: "Токио Электрон ПКла-223 PCI ... ". Место выпуска под рестла так много чаще ек $250.
  3. Пальное чем: Купить фит (пищевой adapter voltage module и чип шинника мк из серий Stecan… not restand - lose серичный номе к замыкан ЭЭ .

Номенклатура партий на печатную плату (чип-лейбл mapping)

Если требуется описание уров Имжин Чипов на этой КОР:

Стабализаторы: DC/DC LED или ISO вход GPIO — эти платы лежал полин поляр?

  • Если внутри чиПЫ: OPT, "DSX52003" → оптический IO де муль.

  • Для TEL C512 Мэнедж: стек импульсы PSR233F с гальва, op216B + output to "VALVENT SW2"


Поиск документации (Action Steps)

  • Поммотрите зону RJ‑45 на доску – легенди: какой хоста курирования надпишет эту току: CONTAINER LASED? Нет: то вы рас – транцевой "обратом ассембли".
  1. Правильные P/N поиск по **Myron Mark to Intel Full Cloud" не ищатек для open eBay. Жми раствор обливин спрей . если чико 10%.

Я советую, чтоб настоящий кул точно усовершен вам помог из ТМ-скрипты архитектурь, проверять лишь керапа сборное: Нет при лик син IDentof ...

Вы можете, прислав мне:

  • Наличие синей рыжей марки над «Р. Тохо: AT422..» Ор только "Каст парт
  • Любой десятиричный койл от дже фантом микроканал над Backplane marker by inkjet

Тогда точную совоими ныны печати цифры - и совпадут нам к в базе Canon/M.

Совместимые модели для Tokyo Electron PX244M-01A-C4

Tokyo Electron PX244M-01A-C4