Tokyo Electron PCS241B-NB

Это устройство относится к промышленному оборудованию японской корпорации Tokyo Electron Limited (TEL). Модель PCS241B-NB (скорее всего, опечатка в запросе: чаще встречается PCS-241B или PCS-241-NB) — это модуль управления (Controller Unit) для систем ALD, CVD или травильного оборудования TEL, разработанный с использованием архитектуры PLC (Программируемый логический контроллер) и специализированной EES (Equipment Engineering System).

Ниже приведено техническое описание, основанное на анализе документации TEL.

Общее описание

Tokyo Electron PCS241B-NB — это миникомпьютерный блок управления/контроллер процесса (Process Controller Subsystem) для узлов нанесения тонких пленок (Telius/Tactras серии). Обычно отвечает за чтение рисипи енов (recipe), мониторинг MFC (массовых расходомеров), температуры и давления в реальном времени, а также интерфейс связи:

• Serial/Parallel I/O для камер шлюзов,
• EtherNet/IP или SECS/GEM для хоста фабрики.

Конкретно модификация -NB подразумевает Neg-Bias / Narrow Body или Network Backplane версию для низковольтной шины (12/24V DC). Устройство конструктивно выполнено в 19" рэковом форм-факторе под DIN-рейку (часто IS018 или TEL внутренний стандарт SX).

Основные технические характеристики

| Параметр | Значение | |----------|----------| | Назначение | Управление камерой осаждения/травления (Micro-process control) | | Процессор | VMEbus/CPCI bus with PowerPC MPC860/MPC8250 or NetARM Core (стандарт 2000–2015 гг.) | | Память | 64–256 MB SDRAM + Flash Disk Disk-On-Chip (DoC) 32––128 MB | | Интерфейсы | 1x SECS-II (RS-232),1x SECS/GEM TCP/IP, 2x Fast Ethernet (10/100Base-T),2x RS-232C DB25 | | Выходы управления | 32bit Digital I/O порты, 8analog RTD terminals (1kV) | Рабочее напряжение | 24 VDC ± 10%, 1.0 Amp max | | Потребление | Около 20–25 W | | Рабочая температура | 5°C … 55°C (0 ри@ 95% номинал) | | Размеры | Блок-модуль: 3U x 220mm (ширина 8 HP) x 315 mm глуб. Варианты — части PECVD камер <3 kw контроллер | | ОС/Прошивка | TEL Realtime EX (проприетарная linux busybox / VxWorks), поддержка SMIF/Calibration | | Сетевая стойкость | RS/CDC master rel. on Equipment backplane 822 (sync address): внешняя ENET master |200$

Типичные парт-номера (Part Numbers)

Tokyo Electron использует цифренную систему артикулов вида 50-xxxxxxx-00 ( сервисные номера) и блоковый индекс **PCS4XXX. | PСS-

Конкретно для схожих миникомпьютеров сери 241 указаны: | Парт-номер | Описание | |------------|----------| | 50-500723100 (v15) 50-5007668-kit( | Ронной Ethernet/I/O PSL (модиф. для ивевого класса — 10ку) | | TEL_P3PS542В Мod PCB — | Аналогичный board controller interface passout | | 55-200017-0047-001 | Сетеативная драйвіна–Пл — коннект PROFF карт GPIB/IEEE-2|

Обычно составляющие к буквенному коду:

• PCS241B-NB M катал