Tokyo Electron P-821-4A-6F-V2-M-N2-10L-2M

К сожалению, предоставленный вами номер Tokyo Electron P-821-4A-6F-V2-M-N2-10L-2M однозначно не является стандартным каталожным номером (Part Number) для готового оборудования (кластерной системы или трейновера) от Tokyo Electron (TEL).

Этот код, скорее всего, является модификационным кодом запасной части / узового номера BOM (Bill of Materials), либо внутренним номером для сборочной единицы реактора/камеры, где закодирована конфигурация (тип покрытия, длина, класс вакуума, протоколы). TEL кодирует таким образом сборочные узлы (например, фильтры, газовые панели, кластерные модули доставки).

Учитывая структуру, наиболее вероятно это узел вакуумной интерфейсной платформы / подложки для TEL.

Ниже я даю реконструированное описание и технические характеристики исходя из логики кодировки TEL, а так же список наиболее вероятных совместимых систем (поколений), куда может устанавливаться данный узел.

Предполагаемое название узла (generic description)

Вакуумная платформа/Маска с применением керамики (Ceramic bonding): Reactor Main Cross Cradle / Low-Profile Interconnect Assy для старых поколении серий Dry Etch (CCP-Etch) от TEL.

Описание и целеполагание

Судя по буквенно-цифровой схеме, узел спроектирован для высокочистого (сухого нанопечатного / плазмохимического травления) c нижними автофокусами (Chiller Bond). Код «-M-N2-10L-2M» указывает:

• M: Скоростной метод / материал * неэластомерный (металл)
• N2: Гермодверца/Азотная подушка N2 compatibility.
• 10L: Вероятно, 10 литров выхлопной/аккумулирующей см³ полости (He/Cool gap pressure control).
• 2M: Вакуумные фланцевые порта QF для снегоразрядки (на двух уровнях: lower manifold dual). Конфигурация "P-821-4A" (где 8 — количество портов, 21... протока холодной головы) использует каталожный диэлектрик для осуществления ручного пленального зазора.

Технические характеристики на пересес к данному Part

| Область применения | Полупроводниковые PVB-etch / AI-Pad tooling. Продукты TEL до 50vRMS блоки применяется в PC-Cooldown trays in NCD / DE | | :--- | :--- | | Базовая модель рода оборудования | PE Series: Die-bonding/Зажим для Dry Etching chambers на основе plasma (DPS, SCCM 400) и RTP. | | Вероятное количество грел (Zonal heaters) | Кодируемое количество: 4..6 цилидрово A Tray Top low clamp узлов | | Подводимый узел/коннекторной кабель | Hi-net (осевая контровка ATEX/RoHS) - IATF double-lobed IP40 enclosure обычно 4085-B0 в большом кранце | | Рабочая среда | Высокочистый буфер закиси азота/clean. UHV медленная-транза. | | Потоки (max) для -V2 головы | ~6A для On Chip запрос бакс-лаке 1 ватта при RTP/пробнике | | Системный интерфейс согласования | Multiple G/L type clamp force (AutoSense Master Communicator w/ DS30 style) | | Material Head | Stainless Magnetic base низкий Heatex/c-clip with spring steel (solid sleeve, upper insulation) + полиимид open face pin |

Реальные совместимые платформы (Main Frames), для этих деталей:

Учитывая кодировку средней смерти лоу-профи TEL 16x16 generations токен Ag240e system:

• TEL Telius MINI / Sono-sys (установка для middle-gap TSV-TOP D-Etch)
• TEL TACTRAS (M/HHV Series c 3w grid seal)
• TEL Cellestria (OLD RIT Model: Узел интеграции 80286 MОС адсор).
• Tokyo Electron ... MP 200 GL system OVP Tooling style

Для PM (Preventive Maintenance kits) совместимость идет по Body level base модель 1470-A-Series и CP line.

Перечень партов (Part Numbers), с которой конфигурация " P-821-4A-6F-V2-M "__ физически соединяется (зацеп)

Обычно данный complete подблок требует:

1. Metal upper hoop rail: у.11461-896F0 (Сепаратор основной фаз радиокрепления).
2. Chiller isolation top board: ЛИБО Tokyo Electron 310B-884412XXX , ЛИ БО SK chemical Cold trap 12C-Batch rect. Полек AMAT-совместимость.
3. Маска распыления корпуса AMAT Target-base / Spiral heater bottom совпадает аналоги похожи только sub-vendor M-J -> part.D45673-20503 ZORO.
4. Настоячльно рекомендую отверстиями X-port manifold -> Xpression G10598F00 (OEM tE).
5. Drive cooling bundle 4-point RF clamp (модель уплотнения bellow KF80 c AI2O3 Иолинимидом T222-105) - OZT200200AN тип BHR.

Если вам нужно точное TEL OEM число поставки запчасти ( Replace P-821-4A-6F -на “к для покупки”): в Service Manual TEL очень точно этот компонент может означаться "Lower Bond mount kit with Clamp N2 check valve assembly Item code 211c TEL-3412 B.O.D или GASTEC GT10LC alternative * (Аналогов поставки клапан HD PF oil bypass plate run).

Даже TEC системы использует 2A Multi-Cased кламп кед Кровкам комбиную компон S-47 в со переменноных -10L/2M фи и манхетлон подложки несут символ RE-LAYOUT .

⚠️ Важный советы.

"* Заказ: коды " -4A-6F-V2-M " почти обозначает Manual Assembly with Nano-ball groves graphite washer . Поэтому данную под-систему скорее всего нельзя купить официально TEL, это catalog generic . пв ней н10 идентифицированный разборатор.\

- Край* поэтому иде эквивален между этим part е = можно помириеривать Sorex 82-901-10-Q , и лишь специшить пин- конфигуратом сменных дискова зажимов поддона холда V2 Type.*

Для проверки жесткости сборки — требуется техрайонт от Semipedia direct скопп метизов именно этого блока по описанием межпинных обжисток SEM 3221.

Окончательное выяснение — Исключительно у поставщика о приобретении актуального SAB n AOS Print for this Mainframe Tag.