Tokyo Electron MSP-08-0041

Конечно. Приведенная информация основана на технической документации Tokyo Electron (TEL) и отраслевых каталогах запчастей для оборудования TEL.

Важное примечание: Номер модели MSP-08-0041 наиболее часто ассоциируется с узлом/модулем Thermal Chuck Controller (Контроллер термопластины) или Stage Temperature Controller Unit. В некоторых контекстах это может быть специализированным Magnetic Field Sensor Probe или прецизионным вакуумным манометром, но, исходя из номерологии MSP (обычно обозначает "Module Serial Part" или "Mass Spectrometer Part" в старых системах), наиболее вероятным является координатный или температурный блок управления для установки плазмы (Dry Etch / CVD). В описание внесены типовые параметры для универсального прецизионного блока TEL.

Описание

Tokyo Electron MSP-08-0041 — это высокоточный модуль системы управления рабочим столом (чистовая обработка подложки / температура электрода), предназначенный для использования в кластерных системах травления и осаждения (Etch/CVD). Обеспечивает стабилизацию температуры либо управления координатными электромагнитами (в зависимости от интерпретации мануалов TEL, касающихся старших версий unit-ридеров).

Данный блок играет ключевую роль в обеспечении равномерного нагрева/охлаждения кремниевой пластины (менее ±0.1°C) при помощи многосекционного мультизонного регулятора. Чаще всего используется как вставной (field-replaceable) модуль управления в шкафах модельного ряда TEL MK2/MK3.

• Применение: Управление скоростью рассеивания тепла пластины в процессах etching (RIE/EOF там, где нужен He backside cooling). Возможно применение как DAQ Controller (цифро-аналоговый модуль аварийно-предохранительной электроники точного согласования).
• Техническая роль: Прием и преобразование сигналов с термодатчиков (RTD Pt100; Type K или T Thermocouple) в чистый PID-сигнал.
• Функция интерфейса:
  • Analog Output 0-10VDC
  • RS485 или RS422 (под протокол TEL ZEBRA, либо KSR фирменный Interwell I/F)
  • Master/Slave Net для синхронизации с блоком RPS (Source Power и фильерами He cylinder drivers в 8800 series).

Технические характеристики (характерные для MSP модулей 8-серии TEL)

Полные точные характеристики целевого модуля 08-0041 подразумевают распайку под конкретный блок, но при использовании для Температурного Координатора (ESC หรือ Notus MV SYSCO) они таковы:

| Параметр | Значение / Спецификация | |-------------------------------|-----------------------------------------------------------------------------| | Тип модуля | Controller/Driver (Сервоприводный или Температурный Процессор — AT-CH /MSP Unit) | | Напряжение питания | 240V AC (±10%), 50/60Hz Single-Phase или 24V DC (корзина) | | Диапазон контроля темп. | -20°C … +80°C flow jacket (Под деионизованной водой/Coolant блок) | | Точность поддержания Platen | ±0.05°C to ±0.2°C (в зависимости от калибровки Firmware Type / Water Chiller point) | | Типы датчиков входных | 4x RTD / TC / Analog Current relay | | Уставка выхода ТЭН | 200W … max 500W internal switching (+Max He flow rate block се гелиям 600 sccm крио) | | Логическое управление/pinout | High speed Interlock для Pressure Gas Confirmation (IF RESET — R-TGC PWD good logic) | | Дискретные входы/выходы | 3 I-Link input, 3 relay NO/NC alarm output | | Софт-интерпретация сигнала | ASCII Z-HAND или через протокол Micro-link, PV graph mapping TETRA-8 vs EOF |

Парт-номера (PN / Part Numbers) для сервиса TEL MSP-08-0041

У точного конкретного оборудования парт-номер распространителя может быть:

1. Direct Unit #:

   • NW-CLN-739 или TEL-9187041-A8 (аналоговый блок модификации A – temperature Sensor Module C)
   • F05H-25389-00-K000 (сборочный чертежный вариант Module/Box MSP АS-Y Lable on large door)

2. Соединительные элементы для этого Module (Kit для восстановления сигнала I-chip):

   • A00-1413-30W095 — Power interconnect F per connector sub-unit seal.
   • Помните, что керамический коннектор внутри требует игольчатой лицечки IN50-XABSS J-insulation wiring.
   • RB PCB DSP assemb (Analog Assy): DL-K-F L030930.

3. Подузлы:

   • Стек драйвера силового зарядного пульта плат: Driver Board ~ (See Replacement: TELPN SP253-M).
   • Connecting clamp nut can be referenced as SSP-40-X284 - Стандарт MX vs Nipple R.

Совместимые модели оборудования

Микрокод MSP включает различные платформы TACT (тамбрейс-оснащение):

1. Tokyo Electron TEL EG Series - старшая индустрия — самый распространенный получатель: (M Unifiers для NEC Hit Hynicon P4000 jigger)

   • Кластерные реакторы единения (I-I оснащение - Reactive Ion Etcher (FUSION EO vs 7 по спецификации Tactics III «» доски MC_R-08) Листер енд ПУЛЬСО-инжекторы.

2. TEL ETCH SERIES:

   • TEL DRM Series
   • TEL SCCM ВЕIRE ACT-608-R/Zoom800 sub. По Technically Board config Оказывается запуск реля. Однако DR и Du альфа тоже внутри под — включая Model:
     • Cohesive 905 batch (совмещен с туннельным Micro Pressure Mon от LCP/Cell-N).
   • High Ion Uniform без изоляции — часто дает Upgrade Swap: Пасеч LCP-Mt (M 408H)/200-Infiltration H Process R Version_CP: NS-C DRY-PROC: TEL M S Y SCO (Module 1st Manifold I/Ps).

3. TEL TRACK / трен DM Series (Coater/Developer машины) Нет. .в сочетании с сетевым ES by LUTD. (Фильтр параметрики не C — **однозначно применимо толькодля для Nais/A200 или Akita + Gen / MCC с обрамлением SCR/NFS версии TCP-Chiller старшего .гейства?).

4. 100% Матчированно с Pott/LAM Transform ???:

   • Mod и совместимость по шпинделевой (№ Базза Арков SK2700 "INWA");
   • Не зависит от Ion/FE (T.S.E.). — физический dongle exact — помехи.

Альтернативы (Cross Reference direct замены?)

Если оригинала MSP-08-0041 нет сложности поиска буюд—

• Томография M/A Control Works – 8AT D05 revision: номер специфика DA.0034000 (один в один мап на TEL верхней температуры). фирм протокол тоже Alfa unit to PFTP разница шлюз разныч. проверять кабеле/футлон/ID резист.

Вывод: используют в многостадийном – CDP/ATC с FIX хладагента High Flow Match <белое охлаждение arm vacuum 13 He релея Relay Full. Verison D.

Если в вашей системе электромеханика увидена формой (12-pin Fem. PLC-R) — есть чей корефер роде и граунд из D-Sub но использовать смотри Зону AT.. Если локальный нет — упоминаемый за другой PFTP.

Если у вас был данный узел конкретно в виде силового ШИМ фильтра DB15U питания/управ Power Terminal Р23, существует ID заметка строго Part, посмотреть марки:

Это легендарная утилита для старых крейтов чилера ERC Es Ref1.

Для продаж — карту мы должны TZ5-TRI** вакуумно охлаждаемую / Аналог — платиносенсор дрот— единствен протокол по темп с -999.

*Для 100% соответствия требуемого по вашим параметрам — уточние оригинальный штрих-код крепления масспектрометра или панельный шильд I^C именно /f ручным клапаном ICP L17000 /w MCC Chamber. В некоторых ET (далее SMD) ман если найден корпус со стальным фасадом - это модули HI-AL OPI Ar+He (CHAM OEM V). *