Tokyo Electron MD-9201071

Описание

Tokyo Electron MD-9201071 — это компонент (деталь) для оборудования плазмохимического осаждения/травления производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей полупроводникового оборудования.

Данный артикул относится к категории запасных частей и расходных компонентов, используемых в установках TEL серий для обработки полупроводниковых пластин. Точное функциональное назначение детали (например, элемент газораспределительной системы, компонент камеры, крепёж, уплотнение или часть подсистемы) зависит от конкретной конфигурации оборудования и подтверждается по сервисной документации TEL.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые каталоги с полными спецификациями запасных частей. Для получения точных технических данных (материал, размеры, допустимые допуски, ресурс) необходимо обращаться в авторизованный сервисный центр TEL или к официальному дистрибьютору с указанием серийного номера установки.

Технические характеристики (типовые/справочные)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Артикул (Part Number) | MD-9201071 | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Тип оборудования | Полупроводниковое технологическое оборудование (плазменные системы CVD/etch, транспортные модули и др.) | | Материал | Уточняется по сервисной документации (как правило — нержавеющая сталь, алюминий, керамика или высокотемпературные полимеры) | | Условия эксплуатации | В условиях вакуума/плазмы, агрессивных газов — уточняются | | Ресурс/периодичность замены | Согласно регламенту ТО TEL |

Точные габариты, масса, допуски и материал предоставляются TEL по запросу.

Парт-номера (Part Numbers)

• MD-9201071 — основной артикул.
• Возможные связанные/альтернативные номера (кросс-референсы, комплектующие узлы, ревизии) — уточняются у TEL, так как публичных кросс-каталогов производитель не ведёт.

Если вы располагаете документом (BOM, service manual) с данным номером —推荐 уточнить ревизию (например, MD-9201071-A, -B и т.п.), если она существует.

Совместимые модели

Прямой публичный список совместимых установок для артикула MD-9201071 отсутствует в открытых источниках. Как правило, подобные компоненты применяются в установках TEL, среди вероятных семейств:

• TEL CLEAN TRACK (системы трекинга — coater/developer)
• TEL TELEFORM / TRILLIUM (плазменные CVD/etch)
• TEL UNITY / INDY (плазменные системы)
• TEL Alpha / Tactras (плазменное травление)
• Отдельные модули TEL для 200/300 мм пластин

⚠️ Совместимость необходимо подтверждать по сервисной документации TEL и серийному номеру конкретной установки — использование несовместимой детали может привести к повреждению оборудования и потере гарантии.

Рекомендации

1. Обратиться в авторизованный сервисный центр Tokyo Electron (или региональное представительство TEL) с запросом на деталь MD-9201071 — там предоставят спецификацию, ревизию и список совместимых систем.
2. Проверить номер в service manual / BOM вашей установки.
3. При закупке на вторичном рынке — требовать фото маркировки и подтверждение совместимости.

Если вы укажете тип установки TEL (например, Tactras Vigus, CLEAN TRACK ACT12, Trias и т.п.), можно сузить список совместимых моделей и уточнить назначение детали.