Tokyo Electron ES1810-329079-11

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron ES1810-329079-11.

Общее Описание

Tokyo Electron ES1810-329079-11 — это сменный модуль газовой панели (Gas Stick Module) для платформы TEL Tactras™. Такие модули являются ключевыми компонентами системы доставки технологических газов (Gas Delivery System, GDS) в установках для производства полупроводников, таких как плазмохимические травящие аппараты (Etcher) или установки химического парофазного осаждения (CVD).

Модуль ES1810 представляет собой готовый узел, объединяющий:

• Привод клапана (обычно пневматический или пьезоэлектрический) для точного управления потоком.
• Клапан (часто высокоскоростной запорный клапан - High Speed Shut-Off Valve).
• Соединительные фитинги и порты для интеграции в газовую линию.
• Электрический разъем для управления от контроллера Tactras™.

Его основная функция — точное, быстрое и надежное открытие/закрытие потока конкретного технологического газа или жидкости в вакуумную процессную камеру в строго заданные моменты времени процесса. Модель 329079-11 указывает на конкретную ревизию и конфигурацию этого модуля.

Технические Характеристики (Типичные для модулей ES1810)

• Тип устройства: Модуль газовой панели (привод + клапан) для платформы TEL Tactras™.
• Основная функция: Высокоскоростное запорное устройство для технологических газов.
• Интерфейс управления: Цифровой, через платформу TEL Tactras™. Управляющие сигналы и диагностика передаются по единой шине.
• Привод: Пневматический (наиболее распространенный для таких модулей). Использует чистый, сухой воздух (CDA) или азот (N₂) под давлением (обычно ~5-6 бар) для работы.
• Клапан: Высокоскоростной запорный клапан (HSSOV), рассчитанный на высокое число циклов срабатывания.
• Материалы уплотнений и проточных частей: Зависят от совместимости с конкретным технологическим газом (например, перфторэластомеры типа Kalrez® для агрессивных сред). Точная спецификация определяется парт-номером.
• Скорость срабатывания: Время открытия/закрытия — порядка десятков миллисекунд.
• Рабочее давление: Предназначен для систем с рабочим давлением от вакуума до нескольких десятков бар (точное значение зависит от конфигурации).
• Присоединение: Стандартные фитинги VCR® или Ultra-Seal для высоковакуумных применений.
• Электрический разъем: Стандартизированный разъем для подключения к шине Tactras™.

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые Модели

Важное примечание: Точный список совместимых парт-номеров и альтернативных моделей зависит от конкретной конфигурации, года выпуска и типа установки (Etcher, CVD и т.д.). Приведенная ниже информация является общей.

1. Основной парт-номер (PN) и его аналоги:

• ES1810-329079-11 — Полный номер узла (assembly).
• Часто существуют номера для отдельных компонентов:
  • Привод в сборе: Может иметь отдельный номер (например, 329079-xxxx).
  • Клапан: Может быть стандартным клапаном от производителя (например, Fujikin, Hamai, KITZ), который также имеет свой собственный серийный номер.
  • Ремкомплект (Seal Kit): Отдельный номер для набора уплотнений для обслуживания (например, 329079-21 или подобный).

2. Совместимые модели оборудования (Примеры): Модуль ES1810 используется в широком спектре оборудования Tokyo Electron. Он не привязан к одной модели, а используется во всех установках, где применяется платформа газовой доставки Tactras™.

Наиболее вероятное применение в следующих семействах оборудования TEL:

• Травление (Etch):
  • TEL Unity® Series: Unity-2, Unity-3 (например, на линиях DRAM, 3D NAND).
  • TEL Tactras® (как процессные модули): Модели, где Tactras является частью названия.
  • Более старые серии: Exelan®, Super-e®.
• Химическое парофазное осаждение (CVD/ALD):
  • TEL Trias® Series.
  • TEL Tactras® (для CVD модулей).

3. Кроссплатформенная и функциональная совместимость:

• Платформа: Модуль совместим только с газовыми панелями, построенными на базе системы TEL Tactras™. Он не подойдет для более старых систем TEL или систем других производителей (AMAT, Lam Research, Hitachi) без серьезной переделки.
• Функциональная замена: В зависимости от назначения в конкретной газовой линии, модуль ES1810 может быть функционально аналогичен (но не взаимозаменяем по креплениям и разъемам) другим модулям серии ES (например, ES1800, ES1820) или модулям управления масс-расходом (MFC).
• Альтернативные номера: При поиске аналогов или запчастей могут встречаться номера поставщиков компонентов (OEM), например, номера на привод или клапан от SMC, Festo или Fujikin.

Критически важные рекомендации:

1. Идентификация: Перед заказом или заменой необходимо всегда сверять полный номер ES1810-329079-11 на физической бирке самого модуля.
2. Газ-совместимость: Этот модуль обязательно должен быть сертифицирован и предназначен для того конкретного газа, который будет через него подаваться (например, C4F8, O2, NF3, Cl2). Использование неподходящего модуля может привести к утечке, коррозии и аварии.
3. Техническое обслуживание: Замена и обслуживание должны проводиться квалифицированным персоналом с соблюдением всех процедур безопасности полупроводникового производства (обесточивание, продувка линий, использование СИЗ).
4. Официальные источники: Для гарантии корректной работы и безопасности информацию по детальной спецификации и списку замены следует запрашивать у официальных представителей Tokyo Electron или в отделе технической поддержки завода-изготовителя оборудования, на котором установлен данный модуль.

Этот модуль является типичным примером высокотехнологичного, специализированного компонента, где точность и надежность являются абсолютным приоритетом.