Tokyo Electron E-PU621_EPU621

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) E-PU621 / EPU621.

Общее описание

Tokyo Electron E-PU621 (часто обозначается как EPU621) — это высокопроизводительный блок питания (Power Supply Unit, PSU) для плазменного травления, разработанный для установок TEL Unity II и подобных платформ. Это ключевой компонент системы RF (радиочастотного) питания, отвечающий за генерацию, стабилизацию и подачу высокочастотной энергии на нижний электрод (катод) в камере травления.

Основное назначение:

• Генерация RF-мощности (13.56 МГц или другие частоты) для создания и поддержания плазмы.
• Обеспечение точного контроля мощности, подаваемой в плазму, что напрямую влияет на скорость травления, селективность и профиль обрабатываемой структуры.
• Реализация функций точного согласования импеданса (с помощью внешнего или встроенного согласующего устройства) для минимизации отраженной мощности и максимизации эффективности передачи энергии.
• Обеспечение автоматического управления мощностью в различных режимах процесса (например, постоянная мощность, постоянное напряжение).

Технические характеристики (Типовые)

Характеристики могут незначительно варьироваться в зависимости от модификации и года выпуска.

• Модель: E-PU621, EPU621
• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL)
• Тип: Высокочастотный генератор / Блок питания для плазменного травления
• Выходная RF-частота: Стандартно 13.56 МГц (возможны варианты на 2 МГц, 4 МГц или комбинированные двухчастотные системы в зависимости от конфигурации инструмента).
• Выходная RF-мощность: Типичный диапазон до 3000 Вт (3 кВт). Существуют версии с другими номиналами мощности.
• Выходное напряжение: Высоковольтное (порядка сотен вольт).
• Согласование: Работает в паре с автоматическим согласующим устройством (Matchbox), например, моделями TEL E-MU2340 или аналогичными. Задача матчера — согласовать выходной импеданс генератора с переменным импедансом плазменной нагрузки.
• Интерфейс управления: Аналоговый и/или цифровой (через последовательные интерфейсы, часто SECS/GEM). Управляется основным контроллером установки (MC).
• Сигналы управления и мониторинга:
  • Задание мощности (Power Setpoint): 0-10 В или цифровая команда.
  • Обратная связь по мощности (Power Feedback): Сигнал о фактической выходной мощности.
  • Обратная связь по току/напряжению (Vf, If Feedback): Сигналы с датчиков.
  • Сигналы статуса и ошибок (Interlock, Fault): Для интеграции в систему безопасности установки.
• Охлаждение: Водяное (DI water) через теплообменник для отвода тепла от мощных RF-компонентов.
• Напряжение питания: 200/208 В AC, 3-фазное (стандартно для оборудования TEL в США/Японии). Может быть адаптировано под 400В для европейских линий.

Парт-номера (Part Numbers) и связанные компоненты

Важно понимать, что EPU621 — это модуль в составе большой системы. Вот ключевые парт-номера, связанные с ним:

1. Основной модуль генератора:

   • E-PU621 или EPU621 — базовое обозначение.
   • Более полный номер может включать ревизию и код варианта, например, EPU621-XXXXX (где XXXXX — цифро-буквенный код).

2. Ключевые сменные компоненты внутри блока EPU621:

   • Плата управления (CPU Board): Часто E-ST2412 или аналогичная. Мозг модуля.
   • Плата драйвера (Driver Board): Управляет силовыми ключами. Может иметь номер E-ST2411 или E-ST2xxx.
   • Выходной RF-транзисторный модуль (Power Amplifier Module): Самый критичный и дорогой компонент. Модели могут различаться (например, на основе MOSFET или Bipolar транзисторов). Номер зависит от производителя (например, модули от MKS Instruments или Dressler). Пример: DGS 100-030 (для Dressler) или аналог.
   • Блок входного питания (AC/DC Converter): Преобразует сетевое напряжение.
   • Вентиляторы, датчики температуры, реле.

3. Связанные внешние модули (работают в паре с EPU621):

   • Согласующее устройство (Matchbox / Matching Network): E-MU2340 (для 13.56 МГц) — наиболее распространенная совместимая модель.
   • RF-датчики (V/I Probes): Устанавливаются на линии между генератором и матчером. Модели типа E-MU2310 или E-MU2320.
   • Контроллер RF-системы: Часто это общий контроллер установки (Main Controller), но может быть отдельная плата, управляющая связкой Generator + Match.

Совместимые модели и платформы

EPU621 является стандартным блоком питания для семейства установок TEL Unity II и их производных. Он совместим со следующими основными моделями реакторов:

• TEL Unity II:
  • TEL SCCM (Single Chamber Clean Mate) — для очистки камер.
  • TEL DRM (Dual Chamber Clean Mate) — двухкамерная версия.
  • TEL Triode — установки с триодной конфигурацией электродов.
• Производные и кастомизированные версии на базе платформы Unity II, используемые для различных процессов:
  • Травление поликремния (Poly-Si Etch).
  • Травление оксида (SiO2 Etch).
  • Травление металлов (Metal Etch, например, алюминия).
  • Очистка камер in-situ.

Важное примечание по совместимости: Прямая замена EPU621 на другой блок не всегда тривиальна. Необходимо учитывать:

1. Механический форм-фактор и крепления.
2. Электрические интерфейсы (разъемы, сигнальные напряжения).
3. Протоколы связи с главным контроллером.
4. Калибровочные константы, которые прописаны в ПО установки.

Часто при замене требуется не просто физическая установка модуля, но и обновление программного обеспечения контроллера, а также проведение процедур калибровки RF-пути.

Заключение

Tokyo Electron EPU621 — это надежный, отраслевой стандарт RF-генератора для устаревших, но все еще широко используемых на производственных линиях установок TEL Unity II. Его технические характеристики ориентированы на обеспечение стабильного и контролируемого процесса плазменного травления. При обслуживании или замене необходимо точно идентифицировать не только сам блок EPU621, но и версии всех его внутренних компонентов, а также совместимость с конкретной моделью реактора и его программным обеспечением.