Tokyo Electron E281-000037-12

Конечно, вот подробное описание и технические характеристики для Tokyo Electron (TEL) E281-000037-12, а также информация о совместимости.

Описание

Tokyo Electron E281-000037-12 — это сменный узел (запасная часть) типа "слайд-клапан" (gate valve) для плазмохимических травящих (Ethere) и плазменных напылительных (PVD) установок серии TEL SCCM (Single Chamber Clean Mate).

Это критически важный компонент, который выполняет несколько функций:

1. Герметичное разделение камер. Изолирует основную процессную камеру от load-lock камеры (камеры загрузки/выгрузки) или других модулей.
2. Контроль перемещения подложек. Обеспечивает точное и плавное прохождение кремниевых пластин (подложек) или масок между камерами с помощью робота-манипулятора.
3. Поддержание вакуума. В закрытом состоянии обеспечивает высокую степень герметичности, необходимую для создания и поддержания рабочего вакуума в процессной камере.
4. Защита от загрязнений. Предотвращает перенос частиц и загрязнений между камерами.

Клапан имеет прямоугольное сечение и предназначен для установки в стандартный порт аппаратов серии SCCM. Модель E281-000037-12 является конкретной модификацией, где "-12", скорее всего, указывает на версию или ревизию детали.

Технические характеристики (типичные для данного класса клапанов TEL SCCM)

• Тип: Слайд-клапан (Gate Valve), прямоугольный фланец.
• Привод: Пневматический (стандартно для таких моделей). Управляется соленоидными клапанами контроллера установки.
• Размер проема (апертуры): Соответствует стандартному порту для передачи пластин в установках SCCM (например, для пластин 200мм/300мм).
• Фланец: Стандартный фланец TEL, совместимый с системой SCCM.
• Уплотнение: Вакуумное уплотнение (обычно эластомерное, например, Viton® или Kalrez®) между телом клапана и заслонкой.
• Материалы исполнения (типовые):
  • Корпус: Алюминиевый сплав (анодированный для защиты).
  • Заслонка (тарель): Алюминиевый сплав или нержавеющая сталь.
  • Уплотнения: Специальные вакуумные эластомеры, стойкие к плазме и температурам.
  • Направляющие и детали механизма: Износостойкие покрытия или материалы.
• Среды: Предназначен для работы в условиях высокого вакуума (High Vacuum, HV).
• Совместимые среды процесса: Устойчив к воздействию распространенных технологических газов (CF4, O2, N2, Ar и др.) и плазмы, но является расходным материалом и со временем требует замены из-за износа уплотнений и поверхностей.

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые модели

Этот номер является базовым OEM номером производителя (Tokyo Electron). В каталогах дистрибьюторов и на рынке вторичных запчастей он может фигурировать под этим же номером или под альтернативными.

Важно: При заказе необходимо указывать полный номер E281-000037-12. Даже незначительное отличие в суффиксе может указывать на несовместимую модификацию.

Совместимые модели установок (основное применение):

Клапан предназначен для семейства установок TEL SCCM (Single Chamber Clean Mate), которое включает в себя множество моделей для процессов сухого травления и напыления. Он совместим с рядом моделей, где используется одинаковый интерфейс клапана, например:

• TEL SCCM (SCCM-E, SCCM-P, SCCM-D и др.) — базовое семейство.
• Модели для травления (Ethere): Конкретные модели, такие как TEL E220, E223, E224, E228, E232 и их различные модификации (E232S, E232B и т.д.).
• Модели для напыления (PVD): Конкретные модели, такие как TEL SMD-2800, SMD-3100 и другие в этом ряду, построенные на платформе SCCM.

Ключевой принцип совместимости: Клапан совместим с теми установками TEL, в которых используется стандартный прямоугольный слайд-клапан серии E281 для разделения камер. Точная совместимость всегда должна проверяться по инженерным чертежам установки или каталогу запчастей для конкретной модели аппарата.

Альтернативные / Перекрёстные номера (Cross-reference):

У дистрибьюторов и производителей аналогов этот узел может иметь свои каталожные номера. При поиске можно также использовать:

• Полный номер TEL: E281-000037-12
• Описание: TEL SCCM GATE VALVE, TEL SCCM SLIDE VALVE, TEL E220/E232 GATE VALVE ASSEMBLY
• Номера вторичных поставщиков: Различные компании, ремонтирующие и поставляющие запчасти для полупроводникового оборудования (например, ATS, Kester, Advanced Energy и др.), могут присваивать ему свои внутренние номера, но в спецификации всегда будет указан оригинальный номер TEL.

Рекомендации по заказу и использованию

1. Подтвердите модель установки. Перед заказом убедитесь, что номер E281-000037-12 указан в списке запчастей (BOM - Bill of Materials) для вашей конкретной модели установки TEL (например, E232S) и её серийного номера.
2. Проверьте ревизию. Ревизия "-12" важна. Более новые или старые ревизии клапана (например, -10, -11, -13) могут иметь конструктивные отличия.
3. Условия поставки. Данная деталь обычно поставляется в сборе (assembly), готовой к установке. Замена требует квалификации и соблюдения процедур чистого помещения (чистота класса ISO 5/Class 100 или выше).
4. Статус. Это оригинальная запчасть от производителя оборудования (OEM part).

Для 100% уверенности в совместимости рекомендуется обращаться к официальной технической документации Tokyo Electron или к инженерам по обслуживанию оборудования (Equipment Engineer).