Tokyo Electron E12-38

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для Tokyo Electron E12-38.

Общее описание

Tokyo Electron E12-38 — это плазменный асимметричный реактор для сухого травления (плазменный etcher) из серии Tactras. Эта модель является одной из самых популярных и широко распространенных установок для плазменного травления в полупроводниковом производстве с 1990-х до середины 2000-х годов.

Основное назначение: Травление диэлектрических пленок (пассивации, маски) на кремниевых пластинах, в частности:

• Травление нитрида кремния (Si₃N₄)
• Травление оксида кремния (SiO₂)
• Травление полиимида
• Открытие контактных окон в слоях пассивации.

Ключевые особенности:

• Асимметричная камера: Маленький верхний электрод (катод) и большой нижний электрод (анод, на котором размещается пластина). Это создает направленность плазмы, необходимое для анизотропного (вертикального) травления.
• Радиочастотный (RF) генератор: Обычно на 13.56 МГц, для создания плазмы.
• Механическая простота и надежность: Знаменита своей стабильностью процесса и высокой повторяемостью.
• Ручная (ручная загрузка) или автоматическая (слот-загрузчик) конфигурация.

Технические характеристики (ТТХ)

Характеристики могут незначительно варьироваться в зависимости от конкретной модификации и конфигурации.

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Тип реактора | Плазменный, асимметричный, параллельно-пластинчатый (RIE - Reactive Ion Etcher) | | Конфигурация загрузки | E12-38 (ручная), E12-38S / SL (автоматический слот-загрузчик) | | Размер обрабатываемых пластин | 100 мм (4"), 125 мм (5") — наиболее распространены. Существуют модификации для 150 мм (6"). | | Материал камеры | Нержавеющая сталь, алюминий. Электроды обычно из алюминия. | | Генератор плазмы (RF)| Частота: 13.56 МГц
Мощность: До 600 Вт (типичный рабочий диапазон 100-400 Вт) | | Система вакуума | Механический форвакуумный насос (роторный) + турбомолекулярный насос (TMP) для высокого вакуума. | | Рабочее давление | 10 – 500 мТорр (типично 100-300 мТорr для процессов травления) | | Газовая система | Стандартно: CF₄ (фреон-14), O₂, N₂.
Часто используется смесь CF₄ + O₂ или CF₄ + N₂ для травления нитрида.
Может быть до 4-х масс-расходомеров (MFC). | | Система охлаждения | Водяное охлаждение электрода (часто через чиллер). | | Управление | Локальная панель управления (PLC) или интерфейс с главным компьютером (Host). |

Парт-номера (Part Numbers) и ключевые компоненты

Важно: Для заказа запчастей всегда необходим серийный номер (Serial Number) конкретного аппарата, так как ревизии и производители компонентов могли меняться.

1. Основные модули и сменные части камеры:

• Верхний электрод (Upper Electrode / Cathode): Часто поставляется в сборе с изолятором.
  • P/N (пример): E12-38-xxxx (где xxxx - уникальный номер узла).
• Нижний электрод (Lower Electrode / Anode / Substrate Holder): Обычно с отверстиями для охлаждения гелем/газом.
• Кварцевое окно (Viewport / Quartz Window): Для оптического контроля плазмы.
  • Стандартный диаметр.
• Уплотнения (O-rings): Витон (FKM) для вакуумных частей, часто стандартных размеров (например, для фланцев CF).
• Газораспределительное кольцо (Gas Showerhead): Часть верхнего электрода.

2. Вакуумная система:

• Турбомолекулярный насос (TMP): Например, Pfeiffer TCP 120 или аналоги.
• Турбоконтроллер: Pfeiffer TSU 261 E.
• Форвакуумный насос: Например, Ebara DRYVAC, Edwards или Leybold.
• Вакуумные датчики: Пираньи (Pirani) для низкого вакуума, ионизационные (Penning) для высокого. Модели от MKS, Leybold.

3. RF-система:

• RF-генератор 13.56 МГц: Часто Kyosan, RFPP, ADTEC или Comet на мощность 600 Вт.
• Согласующее устройство (RF Match): Kyosan или Comet, 500W/600W.
• RF-кабель и разъемы.

4. Система управления газом:

• Масс-расходомеры (MFC): Часто Horiba или Lintec.
• Соленоидные клапаны (Gas Valves): SMC, Koganei, Fujikin.

5. Система охлаждения:

• Чиллер (Water Chiller): Модели от Nagano, Tokyo Hiryoki.
• Термостат (Temperature Controller): Omron, Yokogawa.

Для точного определения парт-номера необходимо использовать официальные Parts Manual и Exploded Views от Tokyo Electron (TEL) для конкретной ревизии вашего аппарата E12-38.

Совместимые и аналогичные модели

Модели E12-38 часто взаимозаменяемы или используют одинаковые компоненты с другими аппаратами серии Tactras и близкими по конструкции.

1. Прямые аналоги и модели из одной линейки Tokyo Electron:

• TEL E12-38S / E12-38SL — версия с автоматическим слот-загрузчиком (станок слева).
• TEL E12-38D — возможная модификация.
• TEL E12-38-6 — возможное обозначение для версии под 150 мм (6") пластины.
• TEL Tactras SPA (E12-38 в Японии) — японское обозначение.
• TEL P-8000 / P-8000S — более старая, но очень похожая модель. Многие компоненты (RF, вакуум, MFC) идентичны.
• TEL 80LR / 80LS — также реакторы RIE того же поколения.

2. Совместимые / конкурирующие модели других производителей (выполняют аналогичные процессы):

• Samco RIE-1 / RIE-10 — популярный аналог для лабораторных применений.
• Trion Technology Minilock — более современный, но также параллельно-пластинчатый реактор.
• PlasmaTherm 72 / 790 — классические RIE реакторы американского производства.
• Oxford Instruments Plasmalab 80 / 800 — аналогичные системы для RIE.

3. Совместимость в кластере или линии: E12-38 часто интегрировалась в составе более крупных кластерных инструментов Tokyo Electron, таких как:

• TEL Unity Series
• TEL Mark Series

Заключение: Tokyo Electron E12-38 — это классический, проверенный временем инструмент для плазменного травления диэлектриков. Его популярность обусловлена надежностью, простотой обслуживания и стабильностью процессов. Большое количество этих установок до сих пор находится в эксплуатации в НИОКР-центрах, пилотных линиях и на производствах power- и MEMS-устройств.