Tokyo Electron CS8330C

Описание

Tokyo Electron CS8330C — это промышленная система плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD — Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) производства компании Tokyo Electron (TEL). Установка предназначена для нанесения тонких диэлектрических плёнок (оксидов и нитридов кремния) на полупроводниковые пластины в процессе производства интегральных схем.

Система относится к платформе TEL серии CS (Centura-совместимая архитектура с кластерной компоновкой), обеспечивает обработку пластин диаметром до 200 мм и характеризуется высокой однородностью плёнок, низкой температурой осаждения и контролируемыми параметрами плазмы.

Основное назначение:

• Осаждение SiO₂ (PECVD-оксид)
• Осаждение SiN (PECVD-нитрид)
• Осаждение SiON (оксинитрид)
• Формирование пассивационных и межслойных диэлектрических слоёв

Ключевые особенности:

• Кластерная платформа с многокамерной архитектурой
• Высокочастотная (RF) плазма 13,56 МГц
• Контроль толщины и однородности плёнки в реальном времени
• Автоматизированная загрузка/выгрузка пластин через FOUP/SMIF
• Интеграция с системой MES/CFM для технологического контроля

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Тип оборудования | PECVD (плазмохимическое осаждение) | | Платформа | Кластерная, многокамерная (CS-серия) | | Диаметр пластин | 150 мм / 200 мм | | Рабочая частота RF | 13,56 МГц (стандарт) | | Температура подложки | 250–450 °C (типовой диапазон PECVD) | | Рабочее давление | 0,1–10 Торр (в камере осаждения) | | Газы | SiH₄, N₂O, NH₃, N₂, Ar, He (типовой набор) | | Однородность плёнки | ±3–5 % (по толщине) | | Скорость осаждения | ~50–500 нм/мин (зависит от процесса) | | Пропускная способность | до 30–60 пластин/час (зависит от конфигурации) | | Система загрузки | FOUP / SMIF, роботизированный манипулятор | | Управление | PLC + рабочая станция, интерфейс SECS/GEM | | Питание | 208/380 В, 3 фазы, 50/60 Гц | | Класс чистоты помещения | ISO Class 4–5 (при эксплуатации) |

⚠️ Точные значения зависят от конкретной конфигурации камер и процес­сного модуля. Рекомендуется сверка с оригинальной спецификацией TEL.

Парт-номера (Part Numbers)

Официальные парт-номера TEL для компонентов и опций системы CS8330C обычно имеют формат:

• Основной модуль/система: CS8330C-xxx (полный номер зависит от конфигурации)
• Процессные камеры: PM-xxxx, CH-xxxx
• RF-генераторы и согласующие устройства: RF-xxxx, MAT-xxxx
• Газовые панели (MFC): MFC-xxxx
• Роботизированные манипуляторы: RBT-xxxx
• Источники питания/контроллеры: PSU-xxxx

Важно: конкретные парт-номера выдаются TEL индивидуально под конфигурацию заказчика и не публикуются в открытых каталогах. Для получения актуального перечня парт-номеров (BOM — Bill of Materials) необходимо обращаться в сервисный центр Tokyo Electron или к авторизованному дистрибьютору.

Совместимые модели / платформы

Система CS8330C относится к семейству TEL CS-серии и совместима по архитектуре, расходным материалам и процессным модулям со следующими платформами:

• Tokyo Electron CS8330 (базовая модель серии)
• Tokyo Electron CS8330C (данная модель)
• Tokyo Electron CS-series (CS8xxx) — кластерные PECVD/etch платформы
• Tokyo Electron Centura-совместимые модули (для ряда конфигураций)
• Компонентная совместимость с линейками TEL Unity / TEL Tetra (по отдельным узлам — уточнять по BOM)

Совместимость по расходникам и компонентам (типовые узлы):

• RF-генераторы и матчинг-устройства TEL CS-серии
• Газовые панели и MFC того же поколения
• Роботы-манипуляторы и системы загрузки FOUP/SMIF платформы CS
• Камеры осаждения PM-модулей CS8330

⚠️ Совместимость по конкретным узлам следует подтверждать по сервисной документации TEL, поскольку конфигурации камер и опций различаются.

Примечание

Для получения точных технических характеристик (процессные рецепты, скорости осаждения под конкретные плёнки, полный список парт-номеров и совместимых моделей) рекомендуется запросить у Tokyo Electron или авторизованного сервис-партнёра официальный Datasheet и BOM для вашей конфигурации CS8330C.