Tokyo Electron CDG160A-S

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для контроллера Tokyo Electron CDG160A-S.

Описание

Tokyo Electron CDG160A-S — это высокоточный контроллер расхода газа (Gas Flow Controller, MFC), являющийся ключевым компонентом системы доставки технологических газов в установках плазмохимического травления и плазменного напыления (PECVD) производства Tokyo Electron (TEL).

• Назначение: Его основная задача — точное измерение и регулирование расхода активных и пассивных технологических газов (таких как CF₄, SF₆, O₂, N₂, Ar, H₂ и многих других) в вакуумную процессную камеру. От точности и стабильности работы MFC напрямую зависят такие параметры процесса, как скорость травления/осаждения, селективность и однородность.
• Принцип действия: Как правило, это термальный массовый расходомер. Он измеряет массовый расход газа, основываясь на разнице температур между двумя точками, создаваемой нагревательным элементом. Контроллер сравнивает измеренный сигнал с заданным значением (Set Point) и управляет пропорциональным клапаном для поддержания точного расхода.
• Контекст использования: Устанавливается на газовой панели (Gas Box) или непосредственно на платформе кластера TEL. Управляется централизованной системой автоматизации установки (часто через интерфейс RS-485 или аналоговый сигнал 0-5В/0-10В).
• Ключевые особенности: Высокая точность, отличная воспроизводимость, быстрый отклик, совместимость с широким спектром агрессивных и неагрессивных газов (в зависимости от материалов уплотнений и внутренних поверхностей), надежная работа в условиях чистого помещения.

Технические характеристики (Типовые)

Точные значения зависят от калибровки под конкретный газ. Приведены типичные параметры для модели CDG160A-S.

1. Модель контроллера: CDG160A-S
2. Тип: Аналоговый/Цифровой массовый расходомер-контроллер (MFC).
3. Диапазон расходов: Существует в различных калибровках. Наиболее распространенные полные шкалы (Full Scale):
   • 50 SCCM (стандартных кубических сантиметров в минуту)
   • 100 SCCM
   • 200 SCCM
   • 500 SCCM
   • 1000 SCCM (1 SLM)
   • и другие.
4. Точность: Высокая. Обычно ±1.0% от полной шкалы (FS) или ±0.8% от показания (RD) в рабочем диапазоне (например, от 10% до 100% FS).
5. Линейность: ±0.5% FS (типовое значение).
6. Воспроизводимость: ±0.2% FS (типовое значение).
7. Время отклика (T90): < 2 секунд (до достижения 90% от заданного значения при скачке с 0% до 100% FS).
8. Рабочее давление:
   • Давление на входе (Inlet Pressure): Максимальное 1 МПа (~10 кгс/см², ~145 psi).
   • Перепад давления (ΔP): Требуется для стабильной работы, обычно 0.05 МПа (0.5 кгс/см²) минимум, рекомендовано 0.1 МПа (1.0 кгс/см²) между входом и выходом.
9. Интерфейс управления и сигнализации:
   • Аналоговый вход: 0-5 В DC или 0-10 В DC (для задания расхода).
   • Аналоговый выход: 0-5 В DC или 0-10 В DC (сигнал фактического расхода).
   • Цифровой интерфейс: Часто присутствует RS-485 для расширенного управления и диагностики.
10. Питание: +15 В / -15 В DC, +24 В DC (стандартные напряжения для промышленной автоматики TEL).
11. Материалы, контактирующие с газом: Нержавеющая сталь (SUS316L), фторэластомер (FKM/Viton) или перфторэластомер (FFKM/Kalrez) для уплотнений, в зависимости от совместимости с газом.
12. Рабочая температура окружающей среды: От 0°C до +45°C.
13. Подключение: Стандартные фитинги VCR® или Swagelok® (обычно 1/4" или 6 мм), характерные для полупроводникового оборудования.

Парт-номера (Parts Numbers) и Конфигурации

Важно понимать, что CDG160A-S — это базовая модель. Полный парт-номер формируется с учетом калибровки под конкретный газ и диапазон расхода. Номер обычно имеет вид: CDG160A-S-XXXX-YY.

• XXXX — обозначает полную шкалу расхода (например, 0050 для 50 SCCM, 0100 для 100 SCCM, 1000 для 1000 SCCM).
• YY / Gas Code — буквенно-цифровой код, указывающий на газ, для которого откалиброван MFC.
  • Примеры газовых кодов (могут отличаться в разных ревизиях):
    • N2 или 02 — Азот (эталонный газ для многих калибровок).
    • O2 — Кислород.
    • AR — Аргон.
    • H2 — Водород.
    • CF — Четырехфтористый углерод (CF₄).
    • SF — Шестифтористая сера (SF₆).
    • C4 — Октафторциклобутан (C₄F₈).
    • CL — Хлор (Cl₂).

Примеры полных парт-номеров:

• CDG160A-S-0100-N2 — Контроллер расхода, полная шкала 100 SCCM, калибровка по азоту.
• CDG160A-S-1000-CF — Контроллер расхода, полная шкала 1000 SCCM (1 SLM), калибровка по CF₄.
• CDG160A-S-0050-AR — Контроллер расхода, полная шкала 50 SCCM, калибровка по аргону.

Совместимые модели и платформы TEL

Контроллер CDG160A-S широко использовался в нескольких поколениях оборудования TEL для травления и осаждения. Он совместим (или является прямым аналогом/предшественником) со следующими моделями MFC от TEL:

• CDG160A (базовая модель без суффикса или с другими суффиксами).
• CDG160B / CDG160B-S — Обновленная версия с улучшенными характеристиками.
• CDG160C / CDG160C-S — Более новая версия.
• CDG200A / CDG200B — Модели схожего класса, но с возможными отличиями в корпусе или протоколах связи.

Оборудование TEL, на котором часто устанавливался CDG160A-S:

• Системы травления (Etch):
  • TEL DRM / DRM-S (например, DRM-1601, DRM-2401)
  • TEL Unity / Unity-S (например, Unity-2001)
  • TEL SCCM (серия для плазмохимического травления)
  • Старые модели линий Tactras, E-MAX.
• Системы осаждения (PECVD):
  • TEL CCS (Clean Cell Station)
  • Системы осаждения диэлектриков прошлых поколений.

Важное примечание по совместимости:

1. Прямая взаимозаменяемость с другими моделями (например, CDG160B) возможна, но требует проверки:
   • Механический монтаж (крепление, фитинги).
   • Электрические разъемы и распиновка.
   • Соответствие калибровки (газ и диапазон расхода).
   • Совместимость сигналов управления с платой драйвера (Driver Board) газовой панели.
2. Часто для замены требуется не просто MFC, а полный комплект (Assembly), включающий сам контроллер, установленный на монтажной пластине с фитингами и разъемом (например, узел FCS-001).
3. Настоятельно рекомендуется перед заменой сверяться с оригинальными мануалами (Parts List, Manual) на конкретную установку TEL (например, DRM-2401) и консультироваться со специалистами по обслуживанию.