Tokyo Electron AP9E-0995B

Описание

Tokyo Electron AP9E-0995B — это компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron (TEL). Данный артикул относится к категории деталей, используемых в установках плазмохимической обработки (etch/deposition) и связанных с ними системах. Подобные компоненты обычно входят в состав газораспределительных узлов, систем вакуумной откачки, узлов подачи реагентов или электрических/пневматических модулей установок TEL.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует в открытом доступе полные спецификации на запчасти — детальная информация (назначение, материалы, допуски) доступна только авторизованным сервис-партнёрам и через внутренние каталоги TEL (TEL Parts Catalog). Прямая ссылка на datasheet отсутствует. Ниже приведены типовые характеристики для компонентов данного класса, но точные параметры необходимо уточнять у официального представителя TEL или в сервисном центре.

Технические характеристики (типовые)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Артикул (Part Number) | AP9E-0995B | | Категория | Запасная часть / компонент оборудования | | Тип оборудования | Полупроводниковое производственное оборудование (etch, CVD, PVD, cleaning) | | Материал | Как правило — нержавеющая сталь, алюминий с покрытием, керамика или фторопласт (зависит от узла) | | Рабочая среда | Вакуум / агрессивные газы / плазма (зависит от узла) | | Температурный диапазон | Уточняется по каталогу TEL | | Совместимость | Определяется по сервисному мануалу конкретной платформы |

Парт-номера

• AP9E-0995B — основной артикул.
• Возможные аналоги/замены (superseded P/N) — уточняются у TEL, так как компания регулярно обновляет номенклатуру запчастей. Публичных кросс-референсов нет.

Совместимые модели

Прямой список совместимых платформ в открытых источниках отсутствует. Компоненты с префиксом AP9E традиционно относятся к линейке установок Tokyo Electron для плазменной обработки, в частности семейств:

• Tactras (серия оборудования для травления)
• Telius (платформа etch/deposition)
• Unity (платформа для CVD/etch)
• Clean Track (системы трекинга — для соответствующих узлов)

Точную привязку к конкретной модели (например, Tactras Vigus, Telius SCCM и т. д.) необходимо проверять по сервисному руководству или через TEL e-Service / авторизованного дистрибьютора.

Рекомендации по уточнению

1. Обратиться в Tokyo Electron Limited или региональное представительство (TEL Europe, TEL America, TEL Korea, TEL Taiwan и т. д.).
2. Запросить TEL Parts Catalog по артикулу AP9E-0995B — там будет указано описание, схема установки и список совместимых платформ.
3. Проверить через сервисные центры, обслуживающие вашу конкретную установку (например, при замене детали в рамках планового ТО).

Если у вас есть доступ к сервисному мануалу вашей установки — пришлите модель платформы, и я помогу сориентироваться, к какому узлу относится данный артикул.