Tokyo Electron 5085-417134-1

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для платы Tokyo Electron 5085-417134-1.

Общее Описание

Tokyo Electron 5085-417134-1 — это высоковольтная силовая плата (High Voltage Power Supply Board), являющаяся критически важным компонентом в установках для плазменного травления (Plasma Etcher) производства Tokyo Electron (TEL). Эта плата отвечает за генерацию, стабилизацию и управление высоким напряжением постоянного тока (DC Bias), которое подается на нижний электрод (подложкодержатель / Wafer Stage) в процессе травления.

Основная функция: Создание отрицательного потенциала (смещения) на подложке для ускорения положительных ионов из плазмы в направлении обрабатываемой кремниевой пластины. Это обеспечивает направленное анизотропное травление с вертикальными стенками.

Типичное применение: Плата используется в кластерах для плазменного травления, таких как серии TEL DRM, TEL SCCM, TEL Trias и других.

Технические Характеристики (Типовые)

Характеристики могут незначительно варьироваться в зависимости от конкретной модификации установки.

| Параметр | Описание / Значение | | :--- | :--- | | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Тип компонента | Высоковольтная силовая плата (HV Power Board) | | Входное напряжение | ~ 200-240 В переменного тока (AC), 1 или 3 фазы (зависит от конфигурации) | | Выходное напряжение | Высокое постоянное напряжение (DC), диапазон может составлять от -1000 В до -3000 В и более (зависит от рецепта и процесса). | | Выходной ток | До нескольких ампер (в зависимости от условий плазмы и площади подложки). | | Интерфейс управления | Аналоговые и цифровые сигналы (напряжение задания, включение/выключение, сигналы обратной связи, аварийные сигналы) через многоконтактный разъем. | | Сигнализация | Плата обычно имеет цепи мониторинга и защиты по току (Over-Current), напряжению (Over-Voltage), дуге (Arc Detection) и перегреву. | | Основные компоненты на плате| Высоковольтный трансформатор, выпрямительные диоды/сборки, высоковольтные конденсаторы, силовые ключи (IGBT/MOSFET), драйверы, цепи обратной связи (оптроны), реле. | | Охлаждение | Естественная конвекция или принудительное воздушное охлаждение (вентилятор). | | Установка | Монтируется в стойку питания (Power Rack) или непосредственно в блок управления установки. |

Совместимые Модели Оборудования TEL

Эта плата является оригинальной запчастью для ряда популярных моделей реакторов травления TEL. Чаще всего она встречается в следующих сериях:

• TEL DRM (Dual Radial Line Module) - одна из самых распространенных серий (напр., DRM-1, DRM-2 и т.д.).
• TEL SCCM (Super Critical Cleaning Module) - серия для очистки и травления.
• TEL Trias - серия для травления.
• TEL Unity - платформенная серия.
• TEL Tactras - серия для травления.
• Многие другие модели на платформе TEL - использующие аналогичные высоковольтные блоки питания.

Важное примечание: Совместимость всегда необходимо проверять по Part List (PL) или Bill of Materials (BOM) конкретной установки. Номер версии платы или ревизии может отличаться.

Парт-номера и Альтернативные Обозначения

Оригинальный номер TEL является основным для заказа. У него могут быть альтернативные обозначения или связанные номера:

• Основной номер детали (P/N): 5085-417134-1
• Альтернативные / Связанные номера:
  • 5085-417134 (базовая версия без указания ревизии, обычно подразумевает "-1").
  • 50854171341 (тот же номер, записанный без дефисов).
  • Могут существовать номера ревизий: -2, -3, -A, -B и т.д. Критически важно сверять ревизию, указанную на самой плате, с требуемой для вашей машины.
• Номер чертежа / Схемы: Часто связан с номером вроде 5085417134G (с суффиксом "G" для drawing) или другим. Используется для поиска технической документации.
• Производитель компонентов: Сама плата собрана TEL, но на ней используются компоненты сторонних производителей (например, трансформаторы TDK, конденсаторы Cornell Dubilier, полупроводники Infineon и т.д.).

Рекомендации по Поиску и Замене

1. Проверка перед заказом: Всегда снимайте плату и сверяйте полный номер и ревизию, нанесенные на ее этикетку.
2. Поставщики: Плату можно приобрести у:
   • Официальных сервисных партнеров TEL (дорого, но с гарантией и поддержкой).
   • Специализированных компаний по ремаркетингу полупроводникового оборудования (например, Apex, SEMI, KST и др.).
   • Проверенных поставщиков запчастей на электронных площадках (требуется тщательная верификация).
3. Диагностика: Частые причины выхода из строя подобных плат: пробой высоковольтных компонентов (трансформатор, диоды, конденсаторы), выход из строя силовых ключей из-за дуги в камере, проблемы в цепях драйверов и охлаждения.
4. Ремонт: Специализированные сервисные инженерные компании часто предлагают услуги диагностики и ремонта таких плат, что может быть экономически выгоднее покупки новой.

Данное описание составлено на основе общей информации о компонентах TEL и может служить руководством. Для точных данных всегда обращайтесь к технической документации (Service Manual, Parts List) вашей конкретной модели установки Tokyo Electron.