Tokyo Electron 3M87-055938-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для модуля Tokyo Electron 3M87-055938-11.

Общее описание

Tokyo Electron 3M87-055938-11 — это модуль RF генератора (ВЧ-генератора), являющийся ключевым компонентом системы плазменного питания в установках для травления и химического осаждения из газовой фазы (CVD) компании Tokyo Electron Limited (TEL).

Его основная функция — преобразование сетевого электропитания в высокочастотную (ВЧ) энергию с высокой стабильностью и точностью управления. Эта энергия подается в камеру процесса через согласующее устройство (matching network), где ионизирует технологический газ, создавая плазму. Плазма используется для точного травления материалов (кремния, диэлектриков, металлов) или осаждения тонких пленок на полупроводниковых пластинах.

Модуль относится к серии 3M87, которая является стандартом для многих современных платформ TEL, таких как Tactras, Telius и других.

Технические характеристики (основные)

• Тип устройства: Модуль RF (ВЧ) генератора.
• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL).
• Основное назначение: Генерация высокочастотной мощности для создания и поддержания плазмы в процессах травления и CVD.
• Выходная частота: Стандартная частота для нижнего или верхнего генератора в системе TEL. Часто это 13.56 МГц (стандартная промышленная частота для плазмы) или 400 кГц (для низкочастотного смещения), но точную частоту необходимо уточнять по спецификации к конкретному инструменту. Модуль 3M87-055938-11 чаще ассоциируется с частотой 13.56 МГц.
• Выходная мощность: Высокая мощность, типичная для процессов травления (например, 2000 Вт, 3000 Вт или более). Точное значение зависит от конфигурации инструмента.
• Архитектура: Полностью цифровая с DSP-управлением, обеспечивающая быстрый отклик, высокую стабильность и точный контроль по мощности и импедансу.
• Интерфейс управления: Цифровой интерфейс связи с главным контроллером установки (часто по протоколу EtherCAT или аналогичному).
• Система охлаждения: Водяное охлаждение для отвода тепла от мощных компонентов (усилительных каскадов).
• Диагностика: Встроенные системы самодиагностики и мониторинга параметров (отраженная мощность, КСВ, температура, внутренние напряжения).

Парт-номера и прямые аналоги

Парт-номера могут различаться в зависимости от региона, года выпуска и конкретной ревизии модуля. Указанный номер является основным.

• Основной парт-номер: 3M87-055938-11
• Альтернативные или связанные номера (могут встречаться):
  • 3M87-055938 (базовая версия без ревизии)
  • 055938-11
  • A3M87-055938-11 (с префиксом "A", обозначающим "Assembly" или конкретную сборку)
  • Могут существовать номера с другими окончаниями: -12, -13 и т.д., обозначающими более поздние ревизии или модификации.
• Важно: При заказе или замене всегда используйте полный номер, указанный на шильдике самого модуля или в спецификации производителя оборудования (TEL).

Совместимые модели оборудования (платформы TEL)

Данный модуль совместим с рядом современных и предыдущих поколений установок TEL для травления и CVD. Вот основные платформы:

1. Травление (Etch):

• Tactras™ (основная современная платформа для травления): Модели Tactras 2, Tactras.
• Telius™ (предыдущее успешное поколение): Модели Telius, Telius II.
• SCCM (серия для травления).
• Trias™ (для травления сквозь кремниевых виа - TSV).

2. Химическое осаждение из газовой фазы (CVD):

• Phoenix™ (платформа для CVD).
• Ultras™ (для CVD).

3. Оборудование для обработки кремниевых пластин:

• CELLESTER (для очистки, активации поверхности).

Критически важное замечание: Совместимость модуля определяется не только моделью установки, но и конкретной конфигурацией (Chamber Configuration), позицией генератора в системе (например, Main RF, Top RF, Bottom RF) и версией программного обеспечения. Перед заменой модуля необходимо сверяться с:

• Документацией от TEL (Parts List, Service Manual).
• Актуальными кросс-листами совместимости (Interchangeability Lists).
• Рекомендациями инженеров службы поддержки TEL.

Краткое резюме

Tokyo Electron 3M87-055938-11 — это высоконадежный, цифровой ВЧ-генератор, являющийся "сердцем" плазменной системы многих современных установок TEL. Он обеспечивает критически важный для процесса параметр — стабильную и управляемую плазму. При поиске замены или запасной части необходимо учитывать полный парт-номер, ревизию и конфигурацию конкретного производственного инструмента, на котором он используется.