Tokyo Electron 3D81-000102-V1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для платы Tokyo Electron 3D81-000102-V1.

Общее описание

Плата TEL 3D81-000102-V1 является критически важным компонентом системы управления в кластере для обработки полупроводниковых пластин производства Tokyo Electron (TEL). Это высоконадежная промышленная печатная плата (PCB), которая функционирует как контроллер связи или интерфейсная плата.

Ее основное назначение — обеспечение связи между модулем контроллера (ECB - Equipment Control Board) и различными исполнительными устройствами, датчиками или другими подсистемами внутри станции (модуля) кластера. Она отвечает за обработку сигналов, преобразование интерфейсов и распределение питания для низкоуровневых устройств.

Типичное применение: Плата устанавливается в стойку управления (Main или Local ECB) таких популярных платформенных кластеров TEL, как TEL Trias™ (для окисления/диффузии/CVD) или TEL Versys™ (для травления).

Технические характеристики (на основе типичной архитектуры подобных плат TEL)

• Тип компонента: Интерфейсная/коммуникационная плата (Interface Board, I/O Board).
• Производитель: Tokyo Electron Limited (TEL).
• Серия/Платформа: Предназначена для использования в кластерах серий Trias и Versys.
• Функционал:
  • Цифровой ввод/вывод (Digital I/O): Прием и передача дискретных сигналов (ON/OFF) от концевых выключателей, solenoid valves, сигналов присутствия и т.д.
  • Аналоговый ввод (Analog Input): Возможность чтения сигналов с аналоговых датчиков (температуры, давления, тока).
  • Интерфейсы связи: Часто включает интерфейсы для связи по протоколам, специфичным для TEL (например, на базе RS-485, RS-232), или внутреннюю шину для подключения дочерних плат.
  • Распределение питания: Стабилизация и подача низковольтного питания (+5V, +24V) на подключенные устройства.
  • Гальваническая развязка: Наличие опторазвязки для цифровых каналов для защиты контроллера от помех и скачков напряжения.
• Конструкция: Многослойная печатная плата промышленного класса с компонентами для поверхностного монтажа (SMD). Имеет стандартный разъем для установки в слот шасси ECB.
• Индикация: Обычно имеет светодиоды (LED) для индикации статуса питания, активности передачи данных и состояния ключевых линий ввода/вывода.

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимость

Важное примечание: У Tokyo Electron сложная система нумерации, где одна и та же функциональная плата может иметь разные парт-номера в зависимости от конкретной модели оборудования, версии ПО и ревизии. Плата 3D81-000102-V1 является одной из таких ревизий.

1. Основной парт-номер (Base Part Number):

• 3D81-000102 — это базовый номер детали. Суффикс -V1 указывает на версию или ревизию (Version 1).

2. Альтернативные или связанные парт-номера (могут быть взаимозаменяемыми или являться предыдущими/последующими версиями):

• 3D81-000102 (без суффикса)
• 3D81-000102-V0 (предыдущая ревизия)
• 3D81-000102-V2, -V3 и т.д. (последующие ревизии)
• 3D81-000102-01, -02 (альтернативная система обозначений ревизий)
• Часто встречается полный шильдик на плате: 3D81 000102 V1

3. Совместимые модели оборудования (Оборудование, в котором используется данная плата):

Плата используется в модулях (станциях) и основном контроллере следующих кластеров:

• TEL Trias™ SPA (Single Plate Processing):
  • Trias SPA
  • Модули очистки (Clean), охлаждения (Cool), обработки (Process) в составе кластера.
• TEL Trias™ MPA (Multi Plate Processing):
  • Аналогичные модули в многопластинновых версиях.
• TEL Versys™:
  • Versys Metal
  • Versys Kiyo
  • Модули травления (Etch Module), модули подачи/выгрузки пластин (Load Port, Transfer Module).
• Оборудование на схожей платформе: Некоторые модели TEL Lidia™ или более ранние серии, построенные на аналогичной архитектуре контроллера ECB.

4. Совместимость с другими платами:

• Устанавливается в материнскую/основную плату контроллера (ECB Main Board), такую как 3D81-000101-XX.
• Работает в связке с другими платами расширения в шасси ECB, например:
  • Платы управления двигателями (Servo Driver Boards)
  • Платы аналогового ввода/вывода (Analog I/O Boards)
  • Платы источника питания (Power Supply Units) в том же шасси.

Ключевые особенности для поиска и заказа

1. Ревизия (-V1): При заказе всегда указывайте полный номер с суффиксом. Платы разных ревизий могут иметь незначительные отличия в схемотехнике или компонентах, и их взаимозаменяемость должна быть проверена по документации TEL (Interchangeability List).
2. Кросc-референс: При поиске на вторичном рынке (например, у поставщиков refurbished запчастей) часто используется сокращенный или видоизмененный номер. Ищите по запросам: "3D81-000102", "3D81 000102 V1", "TEL Interface Board 000102".
3. Проверка совместимости: Перед заменой платы в оборудовании необходимо свериться с руководством по обслуживанию (Service Manual) для вашей конкретной модели кластера и номера рецепта (Recipe Number), чтобы подтвердить точную спецификацию требуемой платы.

Это обобщенное описание, основанное на стандартных практиках TEL. Для получения 100% точной информации по конкретному экземпляру рекомендуется обратиться к официальной документации Tokyo Electron или к инженерам по обслуживанию оборудования (Customer Engineer).