Tokyo Electron 3D81-000058

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для токоразъемов (токовых разъемов) Tokyo Electron (TEL) с артикулом 3D81-000058.

Общее описание

Tokyo Electron 3D81-000058 — это высоковольтный силовой разъем (токоразъем), используемый в основном в плазмохимических установках травления (Etch) производства Tokyo Electron. Его ключевая функция — подвод высокого напряжения и сильного тока к верхнему электроду (катоду) или нижнему электроду (пьедесталу, аноду) в вакуумной камере.

Это критически важный компонент, обеспечивающий передачу мощности от генератора RF/HF (радиочастотного/высокочастотного) или DC (постоянного тока) в плазму. Конструкция рассчитана на работу в условиях глубокого вакуума и в агрессивной среде (воздействие плазмы, температурные циклы).

Технические характеристики (типичные и предполагаемые на основе аналогов)

Поскольку TEL не публикует полные даташиты на запасные части, характеристики собраны на основе анализа аналогов, практики замены и описаний компонентов.

1. Электрические характеристики:

   • Напряжение (В): Рассчитан на высокое напряжение, типично до 5 кВ (5000 В) пикового или более.
   • Ток (А): Рассчитан на высокий ток, типично до 50 А (пятидесяти Ампер) непрерывного в зависимости от модели установки.
   • Частота: Предназначен для работы с RF (радиочастотными) генераторами в диапазоне от 400 кГц (LF) до 13.56 МГц (HF), а также с DC смещением.

2. Конструктивные особенности:

   • Тип: Силовой коаксиальный разъем с центральным токопроводящим штырем и внешним экраном/обоймой.
   • Материалы:
     • Центральный контакт: Медь или медный сплав с серебряным или золотым покрытием для низкого сопротивления и коррозионной стойкости.
     • Изолятор: Керамика высокой чистоты (например, Al₂O₃ - оксид алюминия) для обеспечения высокой диэлектрической прочности и вакуумной плотности.
     • Корпус/обойма: Нержавеющая сталь (обычно SS304 или SS316L) для вакуумного применения.
   • Вакуумное уплотнение: Использует металлические прокладки (Copper Gasket) или вакуумные фланцы (CF, KF) для герметичного соединения с камерой.
   • Охлаждение: Часто имеет канал для водяного охлаждения вокруг центрального контакта для отвода тепла, выделяемого при прохождении большого тока.

3. Эксплуатационные условия:

   • Вакуум: Предназначен для работы в условиях высокого вакуума (до 10⁻⁶ мбар и ниже).
   • Температура: Рабочая температура может варьироваться в широком диапазоне (от -20°C до +150°C) в зависимости от точки установки и режима работы.
   • Среда: Устойчив к воздействию побочных продуктов плазмы (коррозионно-активные газы, пары).

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимость

Важное примечание: У TEL существует сложная система нумерации, и один физический компонент может иметь несколько парт-номеров в зависимости от ревизии, специфичной конфигурации или страны поставки. 3D81-000058 — это базовый артикул.

Прямые парт-номера и аналоги в других системах:

• TEL (основные): 3D81-000058
• TEL (возможные альтернативные или устаревшие): 3D81-000058-XX (где XX - цифровой суффикс, обозначающий ревизию или модификацию, например, -01, -02, -RU).
• Производитель компонента: Высока вероятность, что этот разъем производится для TEL специализированной компанией (например, Kyocera, Insulator Seal, CeramTec). Оригинальный номер производителя обычно неизвестен конечному пользователю.

Совместимые модели оборудования Tokyo Electron (Etch):

Этот разъем является стандартным компонентом для верхнего электрода (Upper Electrode / Shower Head) или нижнего электрода (Lower Electrode / ESC) во многих установках TEL серий Unity и Versys.

Наиболее вероятное применение в следующих моделях реакторов травления:

• TEL Unity / Versys MEM (Metal Etch Module):
  • SCCM (Single Cathode Chamber Module): Устаревшие модели, но где широко применялся этот разъем.
  • Tactras / Telius / Exelan:
    • TELIUS II
    • TELIUS SP
    • EXELAN FLEX
    • EXELAN HP
    • EXELAN HPe
• TEL Versys 2300 (для 200-мм пластин):
  • Versys 2300 Metal
• Более старые модели:
  • SCCM-S
  • M-318x (серия)
  • M-508x (серия)

Критически важно: Перед заказом или заменой необходимо:

1. Сверить физический образец. Разъемы могут иметь внешнее сходство, но отличаться длиной, диаметром изолятора, типом фланца или углом контакта.
2. Проверить спецификацию на шильдике камеры (Chamber ID) и в руководствах по техническому обслуживанию (Maintenance Manual) для конкретной модели и номера ревизии камеры.
3. Обратиться к поставщику запасных частей для TEL (например, Axiom, CEOE, Wonik QnC и другие), предоставив им полные данные установки, для подтверждения совместимости.

Данное описание является обобщенным и служит для первичной идентификации. Точные характеристики и применимость должны быть проверены по технической документации на конкретное оборудование.