Tokyo Electron 3D80-000006-V1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron 3D80-000006-V1.

Общее описание

Tokyo Electron 3D80-000006-V1 — это сопло (форсунка, распылитель) для химического раствора (Chemical Solution Nozzle), являющееся критически важным расходным компонентом (consumable part) в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин, в частности, в модулях очистки (Cleaning Process Modules) кластерах или проявочных станциях (Coater/Developer Tracks).

Его основное назначение — точное, равномерное и контролируемое распыление химических реагентов (таких как проявитель, раствор для травления, промывочная вода) на поверхность кремниевой пластины. От качества и состояния этого сопла напрямую зависят:

• Равномерность нанесения химиката (Uniformity)
• Отсутствие дефектов (брызги, полосы)
• Стабильность и повторяемость технологического процесса

Это высокоточная деталь, часто изготавливаемая из инертных материалов (например, PFA-тефлон, PEEK), устойчивых к агрессивным химическим средам.

Технические характеристики (Типовые)

Поскольку официальный даташит является собственностью TEL, точные параметры не разглашаются, но на основе номера детали и аналогов можно указать типовые характеристики:

1. Тип: Сопло для распыления химического раствора (Chemical Dispense Nozzle).
2. Материал: Высокочистый, химически стойкий полимер. Чаще всего PFA (Перфторалкокси), реже PEEK.
3. Конструкция: Полая коническая или цилиндрическая форма с одним или несколькими калиброванными выходными отверстиями (отверстиями).
4. Размер отверстия: Калиброванное отверстие для обеспечения заданного расхода и формы факела распыла (например, 0.5 мм, 0.7 мм).
5. Тип распыла: Формирует веерный (fan spray) или струйный (jet stream) поток, в зависимости от конструкции.
6. Присоединение: Стандартизированный фитинг для подключения к системе подачи химикатов (часто с использованием уплотнительных колец).
7. Совместимые химикаты: Кислоты (HF, HCL, H2SO4, H3PO4), щелочи (NH4OH, KOH), растворители, деионизированная вода (DIW).
8. Рабочее давление: Рассчитано на работу в диапазоне типичных давлений системы дозирования (от 0.1 до нескольких бар).
9. Класс чистоты: Соответствует стандартам чистоты для полупроводникового производства.

Парт-номера и прямые аналоги

Основной номер: 3D80-000006-V1

Часто встречаются альтернативные форматы записи того же номера:

• 3D80-000006-V1
• 3D80 000006 V1
• 3D80000006V1

Версия "V1" указывает на первую ревизию или версию детали. Могут существовать другие версии (V2, V3), которые могут быть или не быть взаимозаменяемыми.

Важно: При заказе необходимо указывать полный номер, включая ревизию V1.

Совместимые модели оборудования (Platform Compatibility)

Данное сопло используется в широком спектре оборудования Tokyo Electron (TEL) для процессов очистки и нанесения покрытий. Совместимость определяется не конкретной моделью кластера, а типом модуля обработки (Process Module), который используется внутри этого кластера.

Наиболее вероятные семейства и модели оборудования:

1. Модули очистки на платформе LITHIUS Pro / LITHIUS Pro Z:

   • Стандартные модули очистки: Модули, отвечающие за процессы проявления (Develop), промывки (Rinse) и травления (Etch Back).
   • Модели кластеров: LITHIUS Pro, LITHIUS Pro Z, LITHIUS Pro V, LITHIUS Pro U.

2. Модули очистки на платформах предыдущих поколений:

   • CLEAN TRACK ACT серии (ACT 8, ACT 12).
   • CLEAN TRACK MARK серии.

3. Универсальные модули (Uni-Process Module):

   • Модули, способные выполнять несколько операций (очистка, сушка, нанесение покрытия), где требуется дозирование химии.

4. Специализированные модули для технологий:

   • Модули для алмазного травления (Etch Back), безмасочной очистки (Wet Cleaning) и других продвинутых процессов.

Ключевой принцип: Номер 3D80-000006-V1 — это деталь, которая устанавливается в блок дозирования (Dispense Block) или манипулятор сопла (Nozzle Arm) внутри конкретного процессного модуля (Process Module). Поэтому его совместимость в первую очередь проверяется по спецификациям этого модуля, а не по названию основного кластера.

Рекомендации по использованию и заказу

1. Проверка в спецификации: Для точного подтверждения совместимости необходимо свериться с Parts List (PL) или Bill of Materials (BOM) конкретной модели процессного модуля, установленного на вашем производстве.
2. Периодичность замены: Это расходный материал, который требует плановой замены в соответствии с регламентом технического обслуживания (PM - Preventive Maintenance) или при появлении дефектов на пластинах.
3. Оригинал vs. Аналоги: Рекомендуется использовать оригинальные детали TEL или сертифицированные эквиваленты от проверенных поставщиков, чтобы гарантировать чистоту, геометрию и стабильность процесса.
4. Поставщики: Приобретать можно через официальных дистрибьюторов TEL, специализированных поставщиков полупроводниковых запчастей (например, Apex, Kinetics, полупроводниковые подразделения крупных дистрибьюторов) или на вторичном рынке (с проверкой качества).

Для 100% точности при заказе всегда указывайте полный номер детали (3D80-000006-V1) и номер модели процессного модуля или всего кластера, где оно используется.