Tokyo Electron 3D10-150109-11

К сожалению, по предоставленному номеру Tokyo Electron 3D10-150109-11 найти конкретное описание, полные технические характеристики и список совместимых моделей в открытых источниках не удалось.

Это типично для внутренних номеров запчастей (парт-номеров) крупных производителей полупроводникового оборудования, таких как Tokyo Electron Limited (TEL). Такая информация часто является конфиденциальной и доступна только авторизованным сервисным партнерам и непосредственно клиентам компании.

Однако, на основе стандартной практики нумерации TEL и анализа подобных кодов, можно дать следующую расшифровку и общее описание:

Расшифровка и предполагаемое описание

• Tokyo Electron (TEL): Производитель — мировой лидер в производстве оборудования для изготовления полупроводников (коаты, проявители, установки травления, CVD, очистки).
• 3D10: Скорее всего, это код, относящийся к конкретной серии оборудования или платформе. Например, это может быть серия клапанов, датчиков, модулей вакуумной системы, элементов системы подачи химикатов или электромеханических компонентов, используемых в установках CLEAN TRACK™ (системы нанесения фоторезиста и проявки) или TEL™ Etch (системы травления).
• 150109-11: Это уникальный серийный или каталожный номер детали. Первая часть может указывать на ревизию, модификацию или специфические параметры.

Предполагаемое назначение детали: Это, с высокой вероятностью, запасная часть или сменный модуль для одного из типов оборудования TEL. Это может быть:

• Пневматический или диафрагменный клапан для управления потоками жидкостей или газов.
• Датчик (давления, расхода, уровня).
• Фильтр (газовый или жидкостный).
• Сальник, уплотнение или мембрана для клапана.
• Электромеханический привод.
• Плата управления или интерфейсный модуль.

Предполагаемые технические характеристики (общие)

Так как точная модель неизвестна, характеристики носят предположительный характер и зависят от типа компонента:

1. Тип компонента: Сменный узел (клапан, датчик, фильтр).
2. Материалы исполнения: Нержавеющая сталь (SUS 316L), тефлон (PFA, PTFE), керамика, высокочистые эластомеры (перфторэластомер FFKM/Viton) для совместимости с агрессивными химикатами и высокими требованиям к чистоте.
3. Присоединительные размеры: Стандартные фланцы VCR, KF (ISO) или трубные соединения сваркой встык.
4. Рабочая среда: Высокочистые газы (N₂, CDA, Ar, O₂), химические реагенты (кислоты, щелочи, растворители), деионизированная вода (DIW).
5. Рабочее давление: Вакуум до атмосферного или низкое избыточное давление (типично для систем химической подачи).
6. Рабочая температура: От комнатной до 70-90°C (в зависимости от применения).
7. Класс чистоты: Соответствие стандартам SEMI, высокая стойкость к частицам.

Парт-номера и совместимые модели (информация к поиску)

Поскольку номер 3D10-150109-11 является внутренним номером TEL, у него могут существовать альтернативные или перекрестные ссылки (cross-reference). Для поиска аналогов или проверки совместимости необходимо знать модель основного оборудования.

Как искать информацию и аналоги:

1. Определите модель оборудования: Узнайте, для какой именно установки TEL предназначена эта деталь (например, CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z, TEL™ SCCM™, TEL™ Trias™ и т.д.). Это ключевой фактор.
2. Обратитесь к официальным каналам:
   • Официальные дистрибьюторы и сервисные центры TEL в вашем регионе.
   • Специализированные поставщики запчастей для полупроводниковой промышленности (например, Kuriyama of America, Fastech, SVCS, EquipNet). Они часто имеют базы данных по кросс-ссылкам.
3. Поиск по альтернативным номерам: Попробуйте поискать в интернете не только полный номер, но и его части:
   • 3D10-150109
   • TEL 150109
   • 3D10 клапан
4. Возможные аналоги (только после проверки совместимости!): Некоторые серии клапанов/датчиков TEL могут быть совместимы по посадочным местам и характеристикам с продуктами других брендов, специализирующихся на высокочистых технологиях, таких как:
   • Swagelok (клапаны, фитинги)
   • Fujikin (клапаны для газов и жидкостей)
   • Parker Hannifin (компоненты высокого класса чистоты)
   • CKD (пневматические клапаны)

Важное предупреждение

Использование неавторизованных или несовместимых запчастей в оборудовании для производства полупроводников может привести к:

• Нарушению технологического процесса.
• Загрязнению пластин.
• Простоям дорогостоящего оборудования.
• Аннулированию гарантии.

Рекомендация: Для получения точной информации о детали Tokyo Electron 3D10-150109-11, ее описания, характеристик и списка совместимого оборудования настоятельно рекомендуется обратиться непосредственно в сервисную службу Tokyo Electron или к вашему официальному поставщику запасных частей для полупроводникового оборудования.