Tokyo Electron 381-500242-B

Описание

Tokyo Electron 381-500242-B — это промышленный компонент/запасная часть (сменный узел) для оборудования полупроводникового производства компании Tokyo Electron Limited (TEL). Деталь относится к категории расходных/сервисных компонентов, используемых в установках плазмохимической обработки (etch/deposition), а также в оборудовании трекинга (coater/developer) и термической обработки.

Компоненты с этим парт-номером применяются в вакуумных камерах и узлах подачи/распределения газов, где требуется высокая химическая стойкость и стабильность параметров в агрессивной плазменной среде. Деталь поставляется как OEM-запчасть и предназначена для замены при плановом ТО или при выходе узла из строя.

⚠️ Важно: Tokyo Electron не публикует открытые datasheet на сервисные парт-номера. Точные электрические/механические параметры (материал, допуски, ресурс) доступны только в сервисной документации TEL или через авторизованных поставщиков запчастей. Ниже приведены общие характеристики категории и рекомендации по верификации.

Технические характеристики (типовые для категории)

| Параметр | Значение (ориентировочно) | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron Ltd. (TEL) | | Парт-номер | 381-500242-B | | Тип компонента | Сменный узел / сервисная запчасть | | Совместимость | Установки TEL серий etch, CVD/PVD, coater/developer | | Материал | Нержавеющая сталь / спечённая керамика / фторполимер (зависит от узла) | | Рабочая среда | Вакуум, плазма (CF₄, CHF₃, Cl₂, O₂ и др.), агрессивные газы | | Температурный диапазон | ~20–200 °C (зависит от конкретного узла) | | Класс чистоты | Cleanroom / semiconductor grade | | Ресурс | Регламентируется сервисным интервалом TEL |

Парт-номера (кросс-референс)

Единого публичного кросс-листа TEL не существует. Для верификации используются:

• 381-500242-B — базовый парт-номер (возможны ревизии с суффиксами, например -A/-C);
• Родственные номера той же группы: 381-500242 (без суффикса) и ревизии серии 381-5002xx;
• Внутренние сервисные коды TEL (kits/assembly numbers) — уточняются по сервис-мануалу конкретной установки.

Рекомендуется запрашивать у поставщика cross-reference sheet и подтверждать номер по серийному номеру вашей установки.

Совместимые модели (ориентировочно)

Деталь применяется в оборудовании TEL, включая (но не ограничиваясь):

• Etch: серии Tactras (iE, sE), Telius, UNITY;
• Deposition (CVD/ALD/PVD): Trias, FORMULA;
• Thermal/ALD: Alpha серии;
• Coater/Developer (трекинг): CLEAN TRACK (LITHIUS, ACT серии) — для отдельных узлов;
• Contamination/clean: соответствующие модули TEL.

⚠️ Точная привязка «парт-номер → модель → позиция в узле» подтверждается только по TEL Service Manual или у авторизованного дистрибьютора запчастей. Универсальные каталоги (например, поставщиков refurbished parts) часто указывают совместимость приблизительно.

Рекомендации по закупке

1. Запросите у поставщика OEM certificate / traceability и фото маркировки.
2. Сверьте номер с BOM вашей установки и сервис-мануалом.
3. Уточните ревизию (суффикс -A/-B/-C) — они могут быть невзаимозаменяемы.
4. Для б/у и refurbished деталей требуйте отчёт о ресурсе и чистке.

Если у вас есть конкретная модель установки TEL (например, Tactras Vigus, Telius SCCM, LITHIUS Pro), могу помочь сузить привязку узла и подсказать, в каком модуле обычно используется этот парт-номер.