Tokyo Electron 3208-000147-11

Описание

Tokyo Electron 3208-000147-11 — это OEM-компонент (запасная часть) для полупроводникового оборудования производства компании Tokyo Electron Limited (TEL) — одного из крупнейших мировых производителей установок для производства полупроводников (травление, осаждение, литография, термообработка, очистка пластин).

Деталь с данным парт-номером относится к категории быстроизнашиваемых/расходных компонентов (точной механической или вакуумной оснастки) и используется в технологических модулях TEL. Точное функциональное назначение (клапан, фитинг, держатель, уплотнение, направляющая, электрод и т.п.) определяется по конфигурации конкретной установки — в открытых каталогах TEL полное описание позиции не публикуется, так как компания распространяет техдокументацию через авторизованных сервис-партнёров.

⚠️ Важно: я не располагаю достоверными данными о точном типе изделия и его параметрах — приведённая информация требует проверки по официальному каталогу TEL или у авторизованного дистрибьютора.

Технические характеристики (типовые для компонентов данной серии)

| Параметр | Значение | |---|---| | Производитель | Tokyo Electron (TEL) | | Парт-номер | 3208-000147-11 | | Тип | OEM spare part / расходный компонент | | Совместимость | Оборудование TEL (серии устанавливаются по конфигурации) | | Материал | Зависит от узла (нерж. сталь, Al, керамика, фторполимер и др.) | | Условия эксплуатации | Вакуум/плазма/агрессивные среды (по назначению узла) | | Страна производства | Япония |

Парт-номера (варианты/аналоги)

Прямых публичных кросс-референсов для 3208-000147-11 в открытых источниках нет. Родственные позиции того же семейства обычно имеют вид:

• 3208-000147-10, -12, -13 (ревизии/модификации)
• 3208-0001xx-xx — общая группа компонентов данного узла

Точный список ревизий и замен предоставляется TEL по запросу (сервисный бюллетень).

Совместимые модели

Парт-номер относится к оборудованию TEL; наиболее вероятные платформы, где встречаются компоненты группы 3208:

• TEL CLEAN TRACK (серии ACT-8, ACT-12, LITHIUS, LITHIUS Pro)
• TEL UNITY (плазменное травление, например UNITY Me, UNITY II)
• TEL TRILLIUM / TEL Telius (установки травления)
• TEL Alpha (термообработка/диффузия)
• Отдельные модули TEL Express и сервисные Kit-наборы

Рекомендация по проверке

Для точной идентификации детали (наименование, материал, чертёж, совместимые камеры/модули и актуальные замены) обратитесь:

1. В официальную сервисную службу Tokyo Electron (TEL Service) с указанием парт-номера и серийного номера установки;
2. К авторизованным дистрибьюторам запчастей TEL;
3. В специализированные каталоги OEM-запчастей для полупроводникового оборудования.

Если у вас есть фото детали, маркировка на упаковке или название установки — я помогу сузить идентификацию.