Tokyo Electron 1181-000570-11

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для детали Tokyo Electron (TEL) 1181-000570-11.

Общее Описание

Tokyo Electron 1181-000570-11 — это сетчатый фильтр (Mesh Filter), также часто называемый фильтром-грязеуловителем или сетчатым фильтром подачи газа. Это критически важная расходная деталь (consumable part) в системе подачи технологических газов в полупроводниковом оборудовании.

Основное назначение:

• Фильтрация твердых частиц: Улавливание микроскопических твердых примесей (пыль, частицы из баллонов, продукты коррозии трубопроводов) из потока технологического газа перед его поступлением в реакционную камеру.
• Защита оборудования: Предотвращение попадания загрязнений в более чувствительные и дорогостоящие компоненты ниже по потоку, такие как масс-расходные контроллеры (MFC), пневматические клапаны и, самое главное, саму вакуумную камеру, где происходит обработка пластин. Загрязнения могут вызвать дефекты на пластинах, нестабильность процесса и выход из строя оборудования.
• Обеспечение чистоты процесса: Ключевой элемент для поддержания высокой чистоты химических сред, что необходимо для производства современных полупроводниковых устройств.

Обычно устанавливается на газовой панели (Gas Stick или Gas Manifold) непосредственно перед масс-расходным контроллером (MFC) или клапаном.

Технические Характеристики (Типовые)

Поскольку точные спецификации могут варьироваться, ниже приведены типичные параметры для данного класса фильтров TEL:

• Тип: Сетчатый фильтр (Mesh Filter), Грязеуловитель (Particulate Filter).
• Материал корпуса: Нержавеющая сталь марки SUS316L (для высокой коррозионной стойкости и чистоты поверхности).
• Материал фильтрующего элемента: Спеченный металлический порошок (например, из нержавеющей стали) или металлическая сетка высокой плотности.
• Размер пор (фильтрация): Обычно в диапазоне 0.003 мкм (3 нм) до 0.1 мкм (100 нм). Для данной модели характерен размер пор 0.03 мкм (30 нм) или подобный, что является стандартом для фильтрации субмикронных частиц в полупроводниковых процессах.
• Присоединительная резьба: VCR®-тип (металл-металл, бессальниковое соединение) или NW (CF). Стандартный размер — 1/4" VCR (или 1/4" NW-16). Точный тип резьбы необходимо уточнять по спецификации.
• Рабочее давление: Рассчитан на высокое давление, типично до 2000 psi (13.8 МПа) и более.
• Рабочая температура: Совместим с широким диапазоном температур, характерным для газовых панелей (от -10°C до +100°C+).
• Степень чистоты: Изготовлен и упакован в условиях чистого помещения (класс 100 или лучше).
• Совместимые газы: Высокая химическая стойкость. Подходит для большинства стандартных и коррозионных технологических газов (N₂, Ar, O₂, H₂, SiH₄, NF₃, Cl₂, HCl, WF₆ и т.д.). Для особо агрессивных сред (например, безводного HF) могут использоваться фильтры с покрытием (Ni-PTFE).

Парт-номера и Совместимые Модели

ВАЖНО: Номер 1181-000570-11 — это оригинальный парт-номер производителя (OEM part number) Tokyo Electron. Этот номер используется в спецификациях, чертежах и системах планирования ресурсов предприятия (ERP) TEL.

Совместимые модели оборудования TEL: Этот фильтр является стандартным компонентом для многих платформ TEL. Он широко используется в:

• Серия скребков для очистки камеры (Chamber Clean Modules): Оборудование для плазменной очистки с использованием газов типа NF₃, F₂, Cl₂.
• Модули CVD (Chemical Vapor Deposition): Установки химического осаждения из газовой фазы.
• Модули ALD (Atomic Layer Deposition): Установки атомно-слоевого осаждения.
• Модули диффузии/напыления.

Конкретные платформы, где он часто применяется (список не исчерпывающий):

• TEL Trias™ (серия для термической обработки, возможно, в системе подачи газа)
• TEL Versys™ (серия для металлизации/CVD)
• TEL Tactras™ (серия для CVD)
• Различные станции подачи газов (Gas Cabinet/Manifold), поставляемые TEL как часть комплекса оборудования.

Эквиваленты и кросс-ссылки: Многие сторонние производители выпускают совместимые фильтры. Их парт-номера будут отличаться, но они должны соответствовать тем же механическим и техническим характеристикам (размер пор, резьба, материал, давление). Примеры производителей: Swagelok®, Parker, Fujikin, Fitok, CKD.

Чтобы найти точный эквивалент, необходимо знать:

1. Размер пор (Rating): 0.03 мкм, 0.05 мкм и т.д.
2. Тип и размер соединения: 1/4" VCR Male/Female, 1/4" NW-16 Male/Female.
3. Материал: SUS316L.
4. Длина/форма: Прямой или угловой.

Пример возможного формата номера эквивалента у другого производителя: SS-4VCR-7M-0.03F (где SS - нержавеющая сталь, 4VCR - соединение 1/4" VCR, 0.03F - фильтр 0.03 мкм).

Рекомендации

1. Всегда сверяйтесь с документацией: Перед заказом или заменой обязательно сверьтесь с руководством по запчастям (Parts Manual) или списком расходных материалов (BOM - Bill of Materials) для вашей конкретной модели оборудования TEL (например, TEL Trias SPA).
2. Используйте оригинал или квалифицированные эквиваленты: Для гарантии бесперебойной работы процесса и отсутствия загрязнений рекомендуется использовать оригинальные фильтры TEL или эквиваленты от известных производителей, прошедшие квалификацию в вашем технологическом процессе.
3. Регулярная замена: Этот фильтр является расходным материалом. Его необходимо регулярно заменять согласно графику профилактического обслуживания (PM) или при увеличении перепада давления на нем, указанном на манометрах газовой линии.