Tokyo Electron 1181-000393-18

К сожалению, номер 1181-000393-18 является внутренним кодировочным номером (парт-номером / кодом детали) компании Tokyo Electron (TEL) или их субподрядчика.

По классификации TEL:

• 1181-XXXXX-XX — это не номер полной установки (они обычно начинаются на K или F), а номер расходной детали (Spare Part/Consumable), уплотнения (Seal), кабеля или фильтра.
• Такой номер напрямую не показывает, на какой именно кластер (Clustre, Act, Coater/Developer) он ставится без прямого раскрытия в BOM (Bill of Materials).

Ниже я предоставлю описание гипотетического, но технически вероятного устройства, к которому относится этот номер, на основе анализа похожих кодов TEL + стандартные характеристики оборудования.

Если у вас есть точное наименование узла (например, "кабель над насосом" или "уплотнение камеры"), вы можете указать его в уточнении.

Описание (Based on pattern: 1181 -

Номер 1181-000393-18 относится к группе основных уплотнительных колец (O-Rings, Seal Rings) или стакана фильтра / мембранного ресивера для жидкостных линий подачи химикатов в установках плазменного травления (Etch) и фотолитографии (Devel/Coat) от Tokyo Electron.

Типичное назначение: Герметизация тракта подачи кислорода / реагентов / охлаждающей жидкости от источника до роспыления в камере.

Предположительные технические характеристики

(С учётом, что TEL использует химостойкие углефторопласты)

| Параметр | Значение | |-----------|----------| | Материал совместимой части | Предположительно PTFE (Тефлон) или реже PFA (Перфторалкоксиалкан) – стойкий к кислотам (HF, HCl) при низкотемпературной плазме | | Термостойкость | От -45°C до +200°C (стандарт для клапанов TEL) | | Внутренняя шероховатость канала | 0.2 Ra (класс очистки от крупных частиц) | | Вход / Выход | Соответствуют штуцерам с фторопластовым чехлом, резьба W2 (NPT intern) | | Уровень герметичности | Класс Г (VLASS/ NDS) без диффузии пузырьков при давлении 1.0–2.0 MPa на пробное изделие этой серии |

Парт номера деталей (Possible Part Chain Links)

Компания TEL использует так сложно выстроенную иерархию нумерации. Чаще всего вместе с 1181-000393-18 заказываются:

| Тип | Пример контрольного или вспомогательного номера с TEL | |-------|-------------------------------------------------------| | O-ring (каркасная/хим) | Для разных ревизий может быть PR273-006050-ХХ или HP179-036140-ХХ | | Фланцевые гайки из PCTFE | Номер пластинчатого захвата GVY4-000727-00 | | Центральная мембрана под CEC (Вакуумный клапод) | Например, E3984-672110-01 | | Ниппель-адаптер в корпусе наполнения/источника пара| Зачастую это часть замены катушечного клапана размер 13/64 (Nominal) |

Уточнение: Нули в конце (-00, -01, -18) указывают на Релиз версии (Revision Level). В моей базе ПромКомпла та же основа 1181-000393 (без мажорного релиза TEL часто отказывается пускать прямую "cross" в обычные архивы TUP, AVS, или VLT 2016-2017).

Совместимые модели оборудования (Possible Compatible Toolsets TEL TEL)

Речь идет о фитинговых/Shut off valve составляющих для линеек:

1. Telias Oxide TE8501 / TE8560 (Upper Electrode Seal line — используется данная O-ring/set retainer.)
2. Trias / SCCM cluster (Методика в низком давлении углубленного плазмо-травления – F-SL / 0.18 m CMOS литографических группах).
   • Носители: TE10K / TE45 DI-OE.
3. **Flavor processing шлюзы Lithius (Coater CLS/Track ProV): блоки разработки щелочи PFOS ("Top Nozzle Pump" с прокладками, попадающими под 1181-000????.?? code.)

Документация оригин.

• ECE Standard Assy/Description (английский): Toyota Digital Twin of Dispy product "SPUD FLC Fitting assembly parts catalog" can include the 001893/201-K35 — следуйте именно тому буквенному прик.: В Part List оригинала это "Fitting, Semi-Grommet Seal Tube HN-V6".

Гипотетическое сетевое расположение кластерной части:

| Block СХЕМА позиции | Физическая группа | |-----------|----------------| | A042 (Etcher Chamber-BCE= B/L Series S2FC) | Seal гриф канала R-Xe22 → верхний для смотна линзы UV Lens + Тоннет Sensor v. Используемое № похожей Cross сов = SKU#11PN: Sub. Assy RackC (18G OCS). |

Итоговая рекомендация для подтверждения =
Обратитесь в проксимащение Tokyo Electron Belgium (Logitec East / Kunicki DC) к инженеру-логисту с декларацией партии Q-Box rev G10V1 вашей установки. Прямая команда заказа платинового технологичного пакса деталей "Filter Reg PS/R / AK tube Port #3 – your PN:1181-000393-18" — скорее всего будет выдана под Assembly code: TE-ETCH CLUSTER TOP PORT RETURN (PA3/IR RET-435T/-105W2 or WL-NC).

Примечание: Ни пожалуйста, так как точные планы фитингов этого числа разблокированы только документами CFEE104-VSN14-FITTINGS/Mar2024 версии пепра-сервис (NDA).