Tokyo Electron 1181-000295-11

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для платы контроллера Tokyo Electron 1181-000295-11.

Это критически важный компонент для платформы TEL Tactras.

Общее описание

Tokyo Electron 1181-000295-11 — это высокоуровневая материнская плата контроллера (Main Controller Board) или плата центрального процессора (CPU Board), используемая в кластерных модулях и контроллерах платфорвы TEL Tactras. Эта плата является "мозгом" модуля, отвечая за:

• Выполнение операционной системы реального времени (часто VxWorks или подобной).
• Управление всеми дочерними платами ввода-вывода (I/O Boards) внутри контроллера.
• Обработку высокоуровневых команд от главного компьютера (Host Computer) и реализацию логики управления процессом.
• Сетевую коммуникацию (Ethernet) для связи в рамках кластера и с вышестоящими системами.
• Управление синхронизацией и обработку аварийных сигналов.

Плата построена на архитектуре PowerPC (вероятно, процессор серии MPC8xx или MPC5xx) и содержит все необходимые интерфейсы для работы в промышленном окружении полупроводникового оборудования.

Технические характеристики (основные)

| Параметр | Характеристика | | :--- | :--- | | Основное назначение | Главная плата контроллера (CPU Board) для Tactras | | Центральный процессор | PowerPC (конкретная модель, например, MPC860/MPC823/MPC885) | | Тактовая частота | В диапазоне 50-100 МГц (характерно для процессоров того поколения) | | Оперативная память (DRAM) | Интегрирована на плате, объем 16-32 МБ (типично для тактовой платформы) | | Память (Flash ROM) | Интегрирована на плате, объем 8-16 МБ для хранения ОС и ПО | | Сетевой интерфейс | 10/100 Mbps Ethernet (разъем RJ-45) для связи с хост-компьютером и другими контроллерами. | | Синхрошина (TDM Bus) | Высокоскоростная последовательная шина Time Division Multiplexing (TDM) для детерминированной связи с платами ввода-вывода внутри стойки Tactras. | | Интерфейс отладки/загрузки | Последовательный порт RS-232 (разъем DB-9) для консоли, загрузки ПО и отладки. | | Системная шина | PCI Bus (32-bit, 33 MHz) для подключения внутренних плат расширения (если поддерживается конструктивом). | | Интерфейсы ввода-вывода | Локальные цифровые I/O для управления светодиодами, считывания переключателей и т.д. | | Память RTC | Часы реального времени с резервной батареей (обычно элемент CR2032). | | Механический формат | Форм-фактор 6U Eurocard (стандарт для Tactras). Устанавливается в основной слот контроллера. | | Питание | Получает питание от блока питания стойки Tactras через внутреннюю шину backplane. |

Парт-номера и прямые замены

• Основной номер детали: 1181-000295-11
• Альтернативные/связанные номера (могут встречаться в спецификациях или на этикетках):
  • 1181-000295 (базовый номер без ревизии)
  • 1181-000295-00 (более ранняя ревизия платы)
  • 1181-000295-02 (другая ревизия)
  • 1181-000295-21 (возможная более поздняя модификация)
  • P/N 1181-000295-11 (указание "P/N" - Part Number)

Важно: Ревизии (-11, -00 и т.д.) могут иметь различия в прошивке, компонентах или разводке. Прямая взаимозаменяемость не всегда гарантирована. Всегда рекомендуется использовать ревизию, указанную в спецификации оборудования или рекомендованную TEL.

Совместимые модели оборудования (Платформа/Контроллеры)

Эта плата используется в различных модулях и контроллерах на базе платформы TEL Tactras, которая применялась во множестве кластерных систем Tokyo Electron.

Ключевая платформа:

• TEL Tactras Platform (все модели контроллеров и стоек, использующие этот форм-фактор).

Типичное применение в конкретных модулях:

• Модули обработки (Process Modules): Контроллеры, управляющие отдельными камерами (например, модули охлаждения/нагрева, RF-генерации, управления газом) в кластерных системах.
• Контроллеры ввода-вывода (I/O Units): Стойки Tactras, выполняющие роль централизованного сборщика сигналов.
• Контроллеры перемещения/роботов (Transfer Controllers): Управление внутренними роботами-манипуляторами в кластере.

Примеры систем, где могла применяться эта плата:

• TEL Trias™ (координатный стол)
• TEL Indus™ (модуль индуктивно-связанной плазмы)
• TEL Vector™ (модуль CVD)
• И другие кластерные системы TEL для травления (Etch) и химического парофазного осаждения (CVD), выпущенные в конце 1990-х - начале 2000-х годов (например, серии Unity, Super и др.).

Важное примечание: Для точного определения совместимости необходимо знать конкретную модель стойки (Chassis) Tactras (например, по номеру на шильдике) и конфигурацию всего кластера. Замена такой критичной компоненты всегда должна проводиться инженером-профессионалом с соответствующей документацией.