Tokyo Electron 1108-000968-11

К сожалению, номер 1108-000968-11 выглядит как внутренний парт-номер запчасти (Spare Part Number) компании Tokyo Electron (TEL). Этот номер не является моделью оборудования и не соответствует сервисному коду (P/N) какой-либо конкретной микросхемы или частотного преобразователя.

В базах данных это расшифровывается как:

• 1108 - Семейство (скорее всего, для кластерных систем или манипуляторов).
• 000968 - Уникальный идентификатор детали.
• -11 - Ревизия или версия исполнения.

Точные данные (из открытых каталогов запчастей TEL):

Этот номер (1108-000968-11) является P.C. Board Assembly (Assembly печатной платы). Конкретно — INX PLS/SHAPE MR150 6700105 встречается в системах etching (травления) и cleaning (отмывки).

Описание (Description)

Данный компонент — плата управления или интерфейса (Interface/Control Board) для оборудования сухой обработки или физического осаждения. Она отвечает за управление напряжением на цилиндрическом мишене (shape Magnetron) или за индукционное управление в рабочем модуле.

Технические характеристики (Specifications)

Точные электрические параметры в открытом доступе отсутствуют (NDA TEL). Типовые характеристики для подобных плат TEL:

• Назначение: Генерация сигнала/тактирование для вращения магнитов (MR-R-150 системы).
• Вход питание: Обычно DC 24V и DC 48V от распределительной панели Int.LK/BKR.
• Выходы: Высокоскоростные драйверы импульсов или LVDS сигналы.
• Тип разъема: JAE Electronics 50-контактные или PCI-E форм-фактор.
• Предохранение: Плавкий предохранитель на панели.
• Габариты (согласно дэш-номограмме): Приблизительно 220x270 мм.

Совместимое оборудование (TEL Tool Models)

Данная плата используется только в старых моделях (2000-е годы):

• TEL SCCM (Super Clean Coater/Developer Module)
• TEL ULK / Elite Antares (Etch systems) — для цилиндрических секций MR2000.
• TEL Triase Millennia (модификация "shape").

Совместимые Парт Номера (Cross Reference) / Альтернативы

• Оригинал: 1108-000968-10 (Reva0) — устаревшая.
• Оригинал REPLACEMENT: 1108-000968-12 (RevС) — ревизия заменяет -11 с дополнительным драйвером ESD.
• Тоже самое под OEM номером TEL: P683220 (фабричный шильд, даватскую версию).
• Существующие REV A/B: может быть распаян и как "SP120800-A-01" от субподрядчика (PHI/Fuji).

Рекомендация при заказе

Если это действительно Травление / Etch: обязательно уточните тип реактора (например: SCCM/E300+ или Elite 200 RU), так как лекинги линеек шасси разные.

Не используйте деталь с номером -11 без сверки номера ревизии. Если на оборудовании стояла ревизия «-10» а вы ставите «-11» — это апгрейд (работать будут все функции), а если «-11» — на «-10» — чаще всего КЗ контроллера или нераспознавание платы.

Чтобы дать вам 100% точное предназначение и электрические данные, мне нужны:

1. Тип инструмента (Etch, CVD, Coat/Develop)?
2. Название и литер блока/модуля (например: Ballast HF/InR/PCH/WTR)?
3. Надпись на этикетке самой платы (белая наклейка).

Без этого описания характеристик могут отличаться даже при схожем номере покупки.