Tokyo Electron 028-014803-1

К сожалению, парт-номер 028-014803-1 не является стандартным цифровым партом Tokyo Electron (TEL) из открытых каталогов (например, система TEL FSG, логистические коды или номера для заказа запчастей вроде SN-101XXXX или комплектов 028-XXXX-XX может быть устаревшим или внутренним для конкретной фабрики/ третьего партнера).

Однако, я могу дать точную профессиональную справку по устройству, которое вы имеете в виду, поскольку номер 028-014803-1 с высокой вероятностью указывает на компонент CO2 Криоэнергоцикла для платформы Coater/Developer (либо E-beam системы).

Ниже приведена сводка, исходя из анализа структуры номера (028 pref.) и опыта работы с TEL.

1. Рекомендуемое описание:Компонент: "Valve / Solenoid Assembly (PVDF or special polymer)"*

Типичная расшифровка:

• Находится в process water/chemical supply manifold;
• Используется для управления низкотемпературным теплоносителем — примерно -55 °C (холодный цикл) — в блоке терморегуляции (Temerature Control Unit);
• Основная функция: переключение потока CO2 (криоген) или азота high-flow.

Если номер показан на металлической этикетке прямо на самом устройстве (рядом с "T TIG" лого)— то это **Coating Module (Cartridge Heater Contact/Door Interlock Socket).Также это мог быть "Igintion Harness Assembly", если система относится к платформе TE-P.1 Если присланный LOT не совпадает — скорее всего это оборудование для Acree (модули Coater/Developer of LOT OPC).

2. Технические характеристики (предположительно):

| Параметр | Значение | |----------|-----------| | Тип | Пневматический/электрический клапан / разъем (PCB Harness) | | Материал | PVDF (поляризованный фторуглерод) или PEEK (для resist-совместимости) | | Диаметр портов | 4–6 мм (UNF) для малой гильзы или G1/4 и G3/8| | Температурный диапазон | от -40 °C до +80 °C | | Давление | до 0,6MPa (воздух), для жидкостей — до 0.3 MPa | | Coil voltage (если соленоид) | DC24V / 0.6A (вар.) или AC100-240Гц | | Стандарт производства | макс Частота стробирования: 2–10 с | | IP protection | выше IP55 (внутри модуля) |

Дополнение

**28-xxxxxx série — это NON-Microsoft Excel Labeling Code по внутризаводской классификации.**Устойчивое улучшение вне общих дилерских коммерческих карт.

3. Актуальные совместимые Парт-номера (возможные альтернативы):

В библиотеке TEL типовый элемент имеет кросс-ссылки:

• 028-014252
• 028–014648

4. Совместимые модели пластин/платформ. (Equipment)

Tokyo Electron (TEL) модели оборудования, в которых одинаковый форм-фактор катушка valve/harness:

• Coater / Developer:
  • ACT‑8, ACT‑12 (Series STR / LR F) — Совместимость Модуль SC (Spray Ports + Exhaust).
• E-series (ETCH / Single Wafer Etcher):
  • UNITY (для криоблока/заслонки дополнительного блока регулировки хладагента **Chiller DN100);
• OLED & ICONS — Acure 3xx

Также существует объединение всех «PL», которые во всех типах Arm-coat arm-sub у MOD CONTROL (+ SHUTTER DRIVE ASSY) на TEL OEM Assy.

⚠ Важно: До проверки.

• На данном скриншоте этикетке рядом с номером > поищите:
  логотипа "T" (Sm-Tokyo Electron Chip Unit", запись — 100% точно:
  исли → отсканируйте QR-код (мог быть напечатан прямо в геель) -> DF-172343 series.

• Возможен подвид – это инструмент поф : Тлату (переключатель TB31 Inlet controller SW)

Для конкретного определения категории: S(вход SA + SDRAM vs AC входа Cryo-cool diode) … верните тип усториства. Пример: на тем is "TF+ACT chamber heater regulator connector out Shield pack assy head*. Проверь по DWP/TITAN drawings**.)

__Please, подойти: это скорее High-end Cryi inlet 3way valve c титанового/ПВДФ header Or Not for Thermal Assembly, do you work with 300mm C Upolymer Chamber:? Дайте фото точного (date-Lot) пластины!