Tokyo Electron 017-002713-1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для блока питания Tokyo Electron 017-002713-1.

Общее описание

Блок питания Tokyo Electron 017-002713-1 является оригинальным источником питания (AC/DC Power Supply Unit), разработанным для использования в сложном технологическом оборудовании для производства полупроводников. Он предназначен для преобразования сетевого переменного тока (AC) в стабильный постоянный ток (DC) низкого напряжения, необходимый для питания управляющей электроники, датчиков, интерфейсов или вспомогательных систем внутри основного устройства.

Этот блок питания является стандартизированным модулем, который компания Tokyo Electron (TEL) часто использует в различных платформах для обработки пластин, таких как станции для нанесения покрытий (Coater), проявители (Developer), травления (Etcher) и другие модули. Его ключевые особенности — высокая надежность, стабильность выходного напряжения и защита от перегрузок, что критически важно для обеспечения бесперебойной работы дорогостоящего производственного оборудования.

Технические характеристики (Типовые)

• Производитель: Tokyo Electron (TEL)
• Номер детали (Part Number): 017-002713-1
• Тип: Импульсный блок питания (Switching Power Supply)
• Входное напряжение (AC Input):
  • Диапазон: 100-240 В AC (автоподстройка)
  • Частота: 50/60 Гц
• Выходное напряжение (DC Output):
  • Основной выход: +24 В DC (наиболее распространенный вариант для промышленной автоматики)
  • Дополнительные выходы: Может иметь дополнительные каналы (например, +12В, +5В, -12В), но для данного P/N основным является +24В.
  • Ток / Мощность: Обычно в диапазоне 100-300 Вт, точное значение необходимо уточнять в спецификации к конкретному аппарату.
• Выходная мощность: Зависит от модели аппарата, но рассчитана на питание систем управления.
• Охлаждение: Пассивное (конвекция) или активное (с вентилятором), в зависимости от исполнения.
• Интерфейсы:
  • Вход: Клеммная колодка или разъем для сетевого кабеля.
  • Выход: Клеммная колодка или разъемы Molex для подключения к материнской плате аппарата.
  • Сигналы: Возможны сигналы Power Good (PG), Remote On/Off.
• Защита: Стандартная защита от перегрузки (Overload Protection, OLP), короткого замыкания (Short Circuit Protection, SCP) и перенапряжения (Over Voltage Protection, OVP).

Парт-номера (Part Numbers) и Совместимые обозначения

У одного и того же физического блока питания может быть несколько номеров в зависимости от ревизии, комплектации или внутренней нумерации заказчика. Номер 017-002713-1 является основным.

• Основной P/N: 017-002713-1
• Альтернативные / Сопутствующие номера (могут встречаться):
  • 017-002713 (базовая версия без ревизии)
  • 017-002713-2 (последующая ревизия или модификация)
  • TEL-017-002713-1
  • Внутренние коды интеграторов или производителей контрактной электроники (например, Delta, AcBel, FSP).

Совместимые модели оборудования Tokyo Electron (TEL)

Этот блок питания широко использовался в нескольких поколениях оборудования TEL. Он является частью модуля питания (Power Supply Unit Assembly) внутри аппарата.

Важно: Блок питания взаимозаменяем только в рамках моделей, использующих идентичный модуль. Перед заменой необходима проверка по спецификациям основного аппарата.

Наиболее вероятные платформы для применения:

1. TEL ACT™ (Advanced Coating Technology) Series:

   • Используется в модулях Coater/Developer для процессов фотолитографии.
   • Примеры моделей: LITHIUS Pro™ Z, LITHIUS Pro™ V, LITHIUS Pro™ 2, более ранние серии LITHIUS.

2. TEL TRIAS™ Series:

   • Платформа для вертикального травления (Vertical Etch).
   • Примеры моделей: TRIAS™ S, TRIAS™ 3.

3. Модули для очистки пластин (Clean Track):

   • Различные модели линейки Clean Track, особенно в блоках управления и контроллерах.

4. Другие платформы:

   • Может встречаться в оборудовании для CVD, PVD, а также в станциях загрузки/разгрузки (Load Port), контроллерах сенсоров и вспомогательных шкафах управления (Equipment Front End Module - EFEM) различных аппаратов TEL.

Рекомендации по поиску и замене:

1. Идентификация: Самый надежный способ — найти этот номер на самом блоке питания, установленном в вашем аппарате.
2. Документация: Свериться с электрическими схемами (Electrical Manual) или списком запчастей (Parts List) для конкретной модели вашего оборудования TEL (например, LITHIUS Pro Z Model XYZ).
3. Поставщики: Данный блок питания поставляется как оригинальная запчасть от Tokyo Electron, а также доступен у специализированных поставщиков восстановленных и совместимых компонентов для полупроводникового оборудования.
4. Перед заменой обязательно отключите аппарат от всех источников питания (основного и сжатых газов) и следуйте процедурам безопасности (Lock Out / Tag Out - LOTO).