Tokyo Electron 017-002108-1

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron 017-002108-1.

Общее описание

Номер 017-002108-1 — это оригинальный каталожный номер (OEM Part Number) компании Tokyo Electron (TEL). Этот номер обозначает плату контроллера (Controller Board) или плату управления (CPU Board), которая является ключевым компонентом в кластере для нанесения фоторезиста (Coat/Develop Track), а именно в модуле ACT.

• Основное назначение: Эта плата является "мозгом" модуля, отвечая за управление всеми его исполнительными механизмами, датчиками, системой дозирования химикатов, системой нагрева/охлаждения, а также за связь с главным компьютером кластера (Host).
• Типичное применение: Плата используется в модулях нанесения фоторезиста (Coater) и проявления (Developer) в системах серии TEL LITHIUS и других совместимых кластерах.
• Важность: Выход из строя данной платы приводит к полной остановке модуля, так как управление всеми его функциями становится невозможным.

Технические характеристики (Обобщенные)

Поскольку это специализированная промышленная плата, полные схемы и спецификации являются собственностью TEL. Однако общие характеристики типичны для такого класса оборудования:

• Тип компонента: Многослойная печатная плата (PCB) с установленными компонентами.
• Основные элементы на плате:
  • Центральный процессор (CPU): Высоконадежный промышленный микропроцессор или микроконтроллер.
  • Память: Оперативная (RAM) и постоянная (Flash/ROM) для хранения операционной системы и программ модуля.
  • Интерфейсы связи:
    • SECS/GEM: Стандартный интерфейс для связи с Host-компьютером и интеграции в CIM-систему завода.
    • Fieldbus: PROFIBUS-DP, DeviceNet или аналогичный для связи с датчиками и приводами внутри модуля.
    • Ethernet: Для служебного подключения и диагностики.
  • Цифровые и аналоговые входы/выходы (I/O): Для считывания сигналов с датчиков (конечные выключатели, датчики уровня, температуры) и управления клапанами, двигателями, нагревателями.
  • Источники питания: Стабилизаторы и преобразователи для питания различных компонентов платы (обычно +24V, +5V, +3.3V).
• Рабочая среда: Предназначена для работы в условиях чистого помещения (контролируемая температура, низкое содержание частиц).
• Уровень интеграции: Критически важный компонент, замена которого требует квалификации и часто калибровки модуля.

Парт-номера и Альтернативные обозначения

Этот компонент может фигурировать под разными номерами у поставщиков и в сервисной документации.

1. OEM Номер TEL (основной): 017-002108-1
2. Внутренние номера TEL / Номера узлов: Может входить в состав более крупного узла с другим номером.
3. Номера у независимых поставщиков (Aftermarket):
   • Поставщики запчастей для полупроводникового оборудования часто присваивают свои номера для этого компонента. Например, он может продаваться как TEL ACT CPU Board с внутренним номером поставщика (например, SPT-ACC-001 или аналогичный). Для поиска необходимо использовать оригинальный номер 017-002108-1.
4. Номер для поиска (Common Search Term): "TEL ACT Controller Board"

Совместимые модели оборудования

Данная плата предназначена для модулей ACT (Advanced Coating Technology) в составе кластеров TEL. Она совместима со следующими основными сериями:

• Серия LITHIUS:
  • LITHIUS Pro (например, LITHIUS Pro Z)
  • LITHIUS II
  • LITHIUS
• Модули типа ACT:
  • ACT 8, ACT 12 (цифры часто обозначают размер пластины, например, 8" или 12").
  • ACT-E (более ранние версии).
  • Модули нанесения (Coater) и проявления (Developer), построенные на платформе ACT.
• Кластеры, в которые входят эти модули:
  • CLEAN TRACK™ (общее название для кластеров TEL).
  • TEL Coater/Developer Track Systems.

Важное примечание по совместимости: Даже в рамках одной серии могут существовать ревизии платы (Revision). При замене критически важно проверить не только номер 017-002108-1, но и ревизию (например, Rev. A, B, C и т.д.), указанную на самой плате. Установка платы неправильной ревизии может привести к некорректной работе оборудования. Точную информацию о совместимости с конкретной моделью и ревизией модуля всегда следует уточнять в сервисной документации TEL или у проверенного поставщика запчастей.