Tokyo Electron 005-PNP

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) 005-PNP.

Описание

Tokyo Electron 005-PNP — это пластина (подложка) из фторопласта (ПТФЭ, тефлона), используемая в качестве сменной детали в оборудовании для полупроводникового производства, в частности, в модулях очистки (wet process stations) и некоторых модулях нанесения фоторезиста (coat/develop tracks).

Её основное назначение — физическая защита более дорогих и сложных компонентов реакционной камеры (например, стальных или алюминиевых оснований) от агрессивных химических реагентов, высоких температур и абразивного воздействия во время процессов промывки и травления. Пластина улавливает брызги, капли и осадки, предотвращая загрязнение и коррозию основного оборудования. Это расходный материал, подлежащий периодической замене.

Ключевые особенности:

• Материал: Высококачественный фторопласт (ПТФЭ), обладающий исключительной химической стойкостью, низким коэффициентом трения, антиадгезионными свойствами и термостойкостью.
• Конструкция: Профилированная пластина с отверстиями для крепления.
• Функция: Защитная, противоразбрызгивающая, облегчает очистку камеры.

Технические характеристики (типовые)

• Материал: Политетрафторэтилен (ПТФЭ, PTFE), марки, соответствующие стандартам чистоты для полупроводниковой промышленности (высокая химическая чистота, низкое выделение частиц).
• Цвет: Белый (стандартный для ПТФЭ).
• Температурный диапазон: От -200°C до +260°C (кратковременно до +300°C).
• Химическая стойкость: Инертна к подавляющему большинству агрессивных химикатов, используемых в производстве: изопропиловый спирт (IPA), ацетон, растворители, кислоты (серная, соляная, азотная, плавиковая HF в определенных концентрациях), щелочи (аммиак, KOH, TMAH), перекись водорода (H₂O₂) и их смеси (например, SPM, SC-1, SC-2).
• Механические свойства: Высокая устойчивость к ползучести, низкий коэффициент трения.
• Чистота: Изготовлена в условиях, минимизирующих загрязнение частицами и ионами.
• Конструкция: Точные геометрические размеры, повторяющие защищаемый узел. Имеет монтажные отверстия.

Парт-номера (Part Numbers)

Важно: Номер 005-PNP часто является внутренним или устаревшим индексом. В официальных заказах, спецификациях и на самой детали обычно используется полный парт-номер TEL. Он может варьироваться в зависимости от конкретной модели оборудования и ревизии узла.

Наиболее вероятные и распространенные парт-номера, связанные с обозначением 005-PNP:

1. PZ-005-PNP — Один из самых распространенных вариантов.
2. TEL-005-PNP
3. G-005-PNP
4. K-005-PNP
5. N-005-PNP

Для точного заказа всегда необходимо указывать:

• Полный парт-номер, указанный на старой пластине или в спецификации машины.
• Модель основного оборудования (например, CLEAN TRACK ACT 8, LITHIUS Pro, или конкретный модуль: Cell, Processor).
• Номер ревизии узла (Chamber Number).

Совместимые модели оборудования (Platform Compatibility)

Пластина 005-PNP применялась в различных поколениях оборудования TEL для обработки кремниевых пластин. Основные совместимые платформы и модели:

1. Системы очистки (Clean Track / Wet Station):

• CLEAN TRACK ACT 8 / ACT 12 (и их предшественники ACT 5, 6) — одно из основных применений.
• CLEAN TRACK ACT™ Blitz — в модулях очистки.
• CLEAN TRACK LITHIUS / LITHIUS Pro / LITHIUS II — в встроенных или сопутствующих модулях wet-обработки.
• CLEAN TRACK™ ADVANCED™ / ACT™ EZ / ACT™ MDA
• Модули обработки тыльной стороны пластины (Edge Bead Removal / Backside Clean).

2. Коатер-девелоперы (Coat/Develop Tracks):

• В качестве защитных пластин в некоторых модулях этих систем, где возможен контакт с химикатами (например, в модуле проявления — Developer).
• Модели: CLEAN TRACK MARK серии, более старые модели Resist Process.

3. Специфические модули:

• Chambers (ячейки/процессоры) для процессов:
  • Вращательная очистка (Spin Clean).
  • Очистка тыльной стороны (Backside Clean).
  • Обработка кромки (Edge Bead Removal, EBR).
  • Модули сушки (Dryer).

Важное примечание по совместимости: Даже в рамках одной модели (например, ACT 8) могут существовать разные модификации камер (Cell 1, Cell 2, старые и новые ревизии). Поэтому критически важно сверять точный парт-номер и геометрию детали, а не ориентироваться только на совместимость по платформе. Использование несоответствующей пластины может привести к неправильной установке, протечкам и повреждению оборудования.

Рекомендация: Для заказа и подтверждения характеристик всегда обращайтесь к официальной документации Tokyo Electron (TEL), авторизованным дистрибьюторам или проверенным поставщикам расходных материалов для полупроводниковой промышленности, предоставляя им максимально полную информацию об оборудовании.