Tokyo Electron 004884-1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для Tokyo Electron (TEL) / TELES 004884-1.

Внимание: Компонент с номером 004884-1 является оригинальной запасной частью (OEM Part) производства Tokyo Electron и предназначен для использования в высокоточном полупроводниковом оборудовании. Его установка и обслуживание должны проводиться квалифицированным инженером в чистых условиях (чистые комнаты).

Общее описание

Tokyo Electron 004884-1 — это соединительный шланг (трубка) или патрубок, используемый в системах доставки технологических газов или жидкостей в кластерных платформах для обработки полупроводниковых пластин, таких как TEL Lithius Pro / Coat / Develop Track Systems и совместимые модели.

• Основная функция: Обеспечение герметичного соединения между различными компонентами системы подачи химикатов (фотолитографических растворов, таких как фоторезист, проявитель, растворители) или газов. Обеспечивает точную и бесперебойную подачу без утечек и загрязнений.
• Тип: Скорее всего, это гибкий шланг из химически стойкого материала (например, PTFE - тефлон, PFA) с установленными на концах фитингами быстрого соединения (например, типа Swagelok®, CPC, Orbital), соответствующими стандартам чистых помещений.
• Ключевые требования: Высокая химическая стойкость, чистота (частицы, ионы), минимальное газовыделение (outgassing), надежность и долговечность в циклических процессах.

Предполагаемые Технические Характеристики

(Поскольку точные спецификации являются собственностью TEL, ниже приведены типичные параметры для такого компонента)

1. Материал трубки: Высокоочищенный PTFE (Политетрафторэтилен) или PFA (Перфторалкокси), иногда с внутренним армированием.
2. Внутренний диаметр (ID): Типично от 1/8" (3.18 мм) до 1/4" (6.35 мм), в зависимости от расхода среды.
3. Наружный диаметр (OD): Соответствует стандарту фитингов.
4. Тип фитингов на концах: Стандартные фитинги для полупроводниковой промышленности (например, 1/4" VCR® gasket face seal или 1/4" Swagelok® tube fitting). Конкретный тип определяется местом установки в оборудовании.
5. Длина: Стандартная длина, специфичная для конкретного места установки в инструменте (например, 300 мм, 500 мм).
6. Рабочее давление: До 10-15 бар (150-220 psi).
7. Рабочая температура: От -20°C до +150°C.
8. Чистота: Соответствует стандартам для чистых помещений класса ISO 3-4 (Class 1-10). Низкое содержание ионов и частиц.
9. Сертификация: Совместимость с SEMI стандартами.

Парт-номера и Альтернативные Обозначения

Оригинальный номер TEL часто дублируется или имеет эквиваленты у производителей фитингов и шлангов.

• Основной номер: 004884-1 (TEL / TELES)
• Внутренние номера TEL: Может быть частью более крупного узла (Sub-Assembly). Инженеры TEL могут ссылаться на него по этому номеру.
• Номера эквивалентов от производителей:
  • Swagelok: Могут иметь собственный номер для аналогичного узла (шланг с обжатыми фитингами), например, SS-XXX-XX-XX.
  • CPC (Colder Products Company): Для быстросъемных соединений.
  • Entegris / Fluoroware: Для компонентов из PTFE/PFA.
  • Прямые аналоги: Некоторые сторонние поставщики запасных частей для полупроводникового оборудования могут маркировать свой продукт как "Эквивалент TEL 004884-1" или "Replacement for 004884-1".

Важно: Использование неоригинальных эквивалентов может потребовать валидации процесса, особенно для критичных применений.

Совместимые модели оборудования (основные)

Эта деталь используется в различных кластерных системах TEL для фотолитографии, в первую очередь в линейках Track Systems.

• TEL Lithius Pro / Lithius Pro Z (современные платформы для нанесения фоторезиста и проявки)
• TEL Lithius (предыдущее поколение)
• TEL ACT™ (Advanced Coating Track)系列
• TEL Clean Track™ серии (например, Clean Track ACT 8, 12 и др.)
• TEL Coat / Develop Track Systems более старых моделей, которые используют аналогичные подсистемы подачи химикатов.

Конкретное место применения внутри оборудования:

• Система подачи фоторезиста (Resist Delivery Unit - RDU)
• Система подачи растворителя (Solvent Delivery)
• Система подачи проявителя (Developer Delivery)
• Вспомогательные линии для продувки или дренажа.

Критически важные замечания

1. Подтверждение перед заказом: Всегда сверяйте номер детали непосредственно по инженерным чертежам (BOM - Bill of Materials) вашего конкретного инструмента и консультируйтесь с сервисными инженерами TEL или авторизованными поставщиками.
2. Чистота и установка: Установка должна производиться в чистых условиях с использованием правильного инструмента (динамометрических ключей) для предотвращения утечек и загрязнений.
3. Безопасность: Работа с системами, находящимися под давлением, и химически активными веществами требует соблюдения мер безопасности.

Для получения точных и гарантированных спецификаций, чертежей и информации о совместимости рекомендуется обращаться:

• Официальный сервис Tokyo Electron (TEL)
• Авторизованных дистрибьюторов запасных частей TEL
• Проверенных сторонних поставщиков, специализирующихся на запчастях для полупроводникового оборудования (например, Apex, KX Technologies и др.).