Tokyo Electron TYB514-1

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для кассеты для пластин (FOUP / кассеты-переноски) Tokyo Electron TYB514-1.

Общее описание

TYB514-1 — это стандартизированная кассета-переноска (FOUP - Front Opening Unified Pod), предназначенная для безопасной транспортировки, хранения и загрузки/выгрузки 300-мм кремниевых пластин в современном полупроводниковом производстве.

• Назначение: Основная функция — защита высокочувствительных 300-мм пластин от загрязнений (частицы, пыль), статического электричества и механических повреждений в процессе перемещения между технологическим оборудованием и складскими системами (стейкерами).
• Производитель: Tokyo Electron (TEL) — один из ведущих мировых поставщиков оборудования для производства полупроводников.
• Конструкция: Изготавливается из специального антистатического пластика (часто PEEK или подобные материалы), устойчивого к чистоте и химическим воздействиям. Имеет плотно закрывающуюся дверцу с механизмом блокировки, которая открывается только при точном совмещении с портом загрузки оборудования.
• Вместимость: Стандартная вместимость — 25 пластин диаметром 300 мм.
• Совместимость: Спроектирована в соответствии с отраслевыми стандартами SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International), что обеспечивает совместимость с оборудованием различных производителей.

Технические характеристики (ТТХ)

| Параметр | Значение / Описание | | :--- | :--- | | Тип кассеты | FOUP (Front Opening Unified Pod) | | Диаметр пластин | 300 мм | | Вместимость | 25 пластин (стандарт) | | Материал корпуса | Антистатический пластик (например, PEEK, PC), устойчивый к химическим парам и частицам | | Интервал между пластинами | Стандартный: 10 мм (регулируется в зависимости от конфигурации слотов) | | Система идентификации | Гнездо для RFID-метки (стандарт SEMI), а также площадка для нанесения штрих-кода или QR-кода | | Механизм дверцы | Автоматическая блокировка/разблокировка при стыковке с портом оборудования. Имеет ручной предохранительный замок. | | Фланцевое соединение | Стандартный фланец SEMI E62.1 для совместимости с роботами-манипуляторами и портами оборудования | | Вес (пустой) | Приблизительно 4.5 - 5.5 кг (зависит от конкретной модификации) | | Класс чистоты | Предназначен для работы в среде класса ISO 3 (Class 1) и лучше. Собственная конструкция минимизирует генерацию частиц. | | Электростатика | Корпус обладает рассеивающими электростатический заряд свойствами (ESD-safe). |

Парт-номера (Part Numbers) и Модификации

Номенклатура TEL часто включает дополнительные суффиксы, обозначающие конкретные модификации или комплектации. Основной номер TYB514-1 является базовым.

Возможные связанные парт-номера:

• TYB514-1 — Базовая модель кассеты FOUP на 25 пластин.
• TYB514-1-XXXX — Где "XXXX" — это дополнительные цифры/буквы, указывающие на версию, материал, наличие специальных датчиков (например, датчик наличия пластин) или цветовую маркировку.
• Сопутствующие детали:
  • Дверца FOUP — может иметь отдельный номер для заказа (например, при замене).
  • RFID-метка — для идентификации кассеты в системе автоматизированного перемещения (AMHS).
  • Вкладыши (Liners) — иногда используются специальные сменные вкладыши для дополнительной защиты от частиц в особо чистых процессах.
  • Крышка (Cap) — защитная крышка для транспортировки вне чистых комнат.

Важно: Для точного заказа запасных частей или совместимых кассет необходимо использовать полный номер, указанный на самой кассете или в спецификации оборудования.

Совместимые модели оборудования

Кассета TYB514-1 совместима с любым 300-мм технологическим оборудованием и системами, поддерживающими стандарт SEMI для FOUP. Это включает аппараты множества производителей:

1. Оборудование Tokyo Electron (TEL):

   • Системы для нанесения покрытий/разработки фоторезиста: CLEAN TRACK™ серии ACT, LITHIUS и др.
   • Плазмохимические травящие аппараты (Etcher): серии TACTRAS™, TELIUS™ и др.
   • Инструменты для нанесения тонких пленок (CVD, ALD).

2. Оборудование других ведущих производителей:

   • Applied Materials: Центры обработки Centura, Endura, инструменты для травления и CVD.
   • Lam Research: Травящие системы серий 2300®, Kiyo®, Flex®, а также системы очистки.
   • ASML: Сканеры для фотолитографии (TWINSCAN NXT, PAS 5500 и др.).
   • KLA-Tencor (KLA): Инструменты для метрологии и инспекции.
   • Hitachi High-Tech, ASM International, Nikon и многие другие.

3. Вспомогательное и складское оборудование:

   • Системы автоматизированного перемещения (AMHS): Overhead Hoist Transport (OHT), рельсовые транспортные системы.
   • Стейкеры (Stockers): Автоматизированные складские системы для хранения FOUP (производители: Muratec, Daifuku, Sinfonia и др.).
   • Порты загрузки/выгрузки (Load Ports): Станции, к которым стыкуется FOUP (производители: TEL, Rorze, Hirata и др.).

Ключевой вывод: Благодаря соблюдению стандарта SEMI E47.1, E62.1, E1.9 и других, FOUP TYB514-1 является универсальным носителем и может использоваться на всей 300-мм производственной линии (Fab), обеспечивая межоперационную совместимость.