Tokyo Electron 118100000

Конечно. Вот подробное описание, технические характеристики, парт-номера и информация о совместимости для устройства Tokyo Electron 118100000.

Общее описание

Номер 118100000 — это серийный (уникальный) идентификатор (Serial Number) конкретного экземпляра оборудования, а не номер модели или детали. Это означает, что данная комбинация цифр присваивается одному физическому устройству на заводе.

В контексте компании Tokyo Electron (TEL) — одного из крупнейших в мире производителей оборудования для производства полупроводоров — такой серийный номер обычно относится к:

• Основной обработке пластин (Wafer Processing Equipment): Установки для нанесения покрытий/разработки фоторезиста (Coater/Developer), травления (Etcher), очистки (Cleaner), осаждения (CVD, PVD) или химико-механической планаризации (CMP).
• Крупному модулю или целой системе внутри производственной линии.

Важно: Без дополнительного контекста (например, названия модели на шильдике) невозможно определить, что это за оборудование. Серийный номер используется для:

1. Отслеживания истории конкретного устройства.
2. Заказа правильных запасных частей, специфичных для этой машины.
3. Обращения в сервисную поддержку TEL.
4. Ведения учета у владельца оборудования.

Предполагаемые Технические Характеристики (на примере типичного оборудования TEL)

Поскольку номер 118100000 — это серийный номер, технические характеристики полностью зависят от модели аппарата. В качестве примера, это могла бы быть система для нанесения фоторезиста (Coater/Developer).

Условные характеристики (для примера, на основе популярных моделей TEL):

• Тип оборудования: Модуль нанесения фоторезиста и проявки (Coater/Developer Track System).
• Совместимый технологический узел: Возможно, 200 мм или 300 мм кремниевые пластины.
• Производительность (Throughput): До 200-250 пластин в час (в зависимости от рецепта).
• Точность дозирования (Dispense): Высокоточное пьезоэлектрическое дозирование.
• Однородность покрытия (Uniformity): < 1% (1σ) на пластине 300 мм.
• Интеграция: Полная интеграция со степпером/сканером (литографическим аппаратом) через интерфейсы SECS/GEM.
• Класс чистоты: Встроенные мини-среды (Mini-Environment) класса ISO 3 (класс 1) или лучше.
• Система управления: Проприетарная система управления TEL с сенсорным интерфейсом.
• Коммуникации: SECS-II, GEM, Ethernet.

Парт-номера (Part Numbers) и Запасные части

Для заказа запчастей необходимо знать базовую модель оборудования (например, TEL ACT™ 12, LITHIUS Pro™ Z, CELLESTA™ и т.д.). Серийный номер (118100000) используется вместе с номером модели для идентификации конкретной конфигурации.

Примеры типовых запасных частей для оборудования TEL (номера условные):

1. Сопло для дозирования фоторезиста / растворителя:
   • TEL-1234567-01 - Dispense Nozzle Assy, для материала XYZ.
2. Захват для пластины (Chuck):
   • TEL-2345678-A - Spin Chuck, 300mm, керамический.
3. Фильтр для системы очистки воздуха (HEPA/ULPA):
   • TEL-3456789-00 - HEPA Filter Module для мини-среды.
4. Сенсор положения (Sensor):
   • TEL-4567890-B - Optical Sensor, Wafer Presence Detection.
5. Основная плата управления (Controller Board):
   • TEL-5678901-REV.C - Main CPU Board для системы управления.
6. Помпа (Pump):
   • TEL-6789012-03 - Chemical Pump для растворителя.
7. Соединительный патрубок (Tube):
   • TEL-7890123-FKM - Chemical Tube, FKM материал, внутренний диаметр 6mm.

Ключевые источники для точных парт-номеров:

• Руководство по запасным частям (Parts Manual / IPL - Illustrated Parts List) для конкретной модели.
• Официальный портал поддержки TEL для зарегистрированных клиентов.
• Прямой запрос в сервисный отдел Tokyo Electron с предоставлением серийного номера 118100000 и модели устройства.

Совместимые модели и системы

Серийный номер 118100000 уникален для одного аппарата. Однако само оборудование, частью которого он является, совместимо с:

1. Технологическими линиями: Может быть интегрировано в производственную линию по изготовлению полупроводниковых пластин 200мм или 300мм фабрики (Fab).
2. Литографическими кластерами: Если это Coater/Developer, он напрямую совместим и соединяется со степперами/сканерами ведущих производителей:
   • ASML (PAS 5500, Twinscan XT, NXT, NXE)
   • Nikon (NSR-S series)
   • Canon (FPA- series)
3. Фабричными системами управления (MES): Совместимо с системами уровня фабрики через стандартные протоколы SECS/GEM-HS.
4. Стандартными интерфейсами: Использует стандартные промышленные интерфейсы для подачи химикатов, слива, электричества (208/480V), сжатого воздуха и охлажденной воды (Chilled Water).

Вывод

Tokyo Electron 118100000 — это серийный номер, а не модель. Для получения любой осмысленной информации (описание, тех. характеристики, запасные части) критически необходимо определить модель оборудования, указанную на шильдике машины. С этой моделью и данным серийным номером можно обращаться к официальной документации TEL или в их сервисную поддержку для получения точных и актуальных данных.