Tokyo Electron 10609086

К сожалению, по номеру 10609086 не удалось найти конкретного технического описания, спецификаций или списка совместимости.

Вероятная причина: Этот номер, скорее всего, является внутренним инвентарным, серийным или учетным номером Tokyo Electron (TEL), а не публичным парт-номером (Part Number) или номером модели, по которым можно найти документацию.

Что можно сделать для получения информации:

1. Определите тип компонента: Осмотрите сам узел или деталь. Это:

   • Запасная часть (сменный компонент) для платформы (например, дверца, подъемник, сопло, клапан, датчик)?
   • Расходный материал (прокладка / O-ring, фильтр, нагреватель)?
   • Цельный модуль (блок управления, блок питания, камера)?

2. Найдите основные парт-номера (Part Numbers): На самой детали или рядом с ней ищите другие маркировки. Ключевые парт-номера TEL обычно выглядят так:

   • Zxxxxxx (например, Z203270)
   • Txxxxxx
   • Могут содержать дефисы или дополнительные суффиксы (например, Z203270-01).

3. Определите модель оборудования: Самая важная информация — для какой именно модели оборудования предназначена эта деталь. Это может быть:

   • Система травления: Tactras, Unity, Telius, Etherea и др.
   • Система нанесения покрытий/фотолитографии: Clean Track, Lithius, Cellesta и др.
   • Система отжига/нагрева: Advantage, Catalyst и др.

Пример того, как выглядит описание, если бы парт-номер был известен:

• Предполагаемое описание: Крышка камеры / Смотровое окно для модуля CCP (Capacitively Coupled Plasma)
• Технические характеристики (примерные):
  • Материал: Кварц высокой чистоты / Оксид алюминия (Al₂O₃)
  • Диаметр: 280 мм
  • Толщина: 15 мм
  • Рабочая температура: до 150°C
  • Предназначение: Защита от плазмы, обеспечение оптического доступа для датчиков.
• Основной парт-номер (пример): Z203270
• Совместимые модели (пример):
  • Tokyo Electron Tactras Mk-7
  • Tokyo Electron Unity 230
  • Может быть совместим с другими платформами, использующими аналогичный дизайн камеры.

Рекомендованные действия:

1. Свяжитесь напрямую с официальным дистрибьютором или представительством Tokyo Electron в вашем регионе. Это самый надежный способ. Предоставьте им номер 10609086, фотографии детали, контекст (откуда она была извлечена) и, если известно, модель оборудования.
2. Обратитесь в отдел закупок или инженерный отдел вашего предприятия, который работает с этим оборудованием. У них могут быть внутренние каталоги соответствия.
3. Проверьте документацию (manual, parts list) непосредственно на ту модель инструмента TEL, с которой вы работаете. Нужный парт-номер будет указан там.

Вывод: Для получения точного описания, характеристик и списка совместимости необходимо идентифицировать публичный парт-номер (Part Number) и модель оборудования TEL, для которого предназначен этот узел. Номер 10609086 является служебным и недостаточным для поиска в открытых источниках.