Tokyo Electron 7402580

К сожалению, я не могу найти информацию о конкретном устройстве или компоненте с номером Tokyo Electron 7402580.

Скорее всего, этот номер является внутренним (in-house) парт-номером, серийным номером или номером спецификации, который не отражен в публичных каталогах или базах данных совместимости. Tokyo Electron (TEL) — это крупнейший производитель оборудования для производства полупроводников, и большая часть его документации и информации о запчастях доступна только напрямую клиентам (производителям чипов).

Вот что можно предположить и как действовать дальше:

Вероятное описание

Номер 7402580, скорее всего, относится к одной из следующих категорий:

1. Запасная часть или комплектующее: Электрод, уплотнительное кольцо (O-ring), датчик, клапан, плата управления, элемент плазменной камеры (например, верхний электрод / showerhead) для одного из процессов TEL (травление, нанесение покрытий, очистка).
2. Комплект для обслуживания (Service Kit): Набор деталей для планового технического обслуживания конкретной модели оборудования.
3. Серийный номер узла: Номер, присвоенный конкретной собранной детали.

Как получить точную информацию (Рекомендуемые действия)

Поскольку публичных данных нет, необходимы следующие шаги:

1. Обратиться напрямую к Tokyo Electron: Это самый надежный способ.

   • Свяжитесь с местным офисом TEL или отделом поддержки клиентов (Customer Support / CS).
   • Предоставьте полный контекст: Где используется эта деталь? Название и модель оборудования (например, TEL Trias™, TEL Versys™, TEL Tactras™, TEL CLEAN TRACK™). Номер камеры или модуля. Без этого контекста идентифицировать деталь почти невозможно.

2. Проверить внутреннюю документацию:

   • Руководства по запчастям (Parts Manual / Spare Parts List): Найдите руководство для конкретной модели вашего оборудования TEL. Там должен быть список деталей с иллюстрациями и внутренними номерами.
   • Счета-фактуры или заказы на запчасти: Посмотрите в истории заказов на эту деталь — там может быть указано описание.

3. Обратиться к специализированным поставщикам: Существуют сторонние компании (не TEL), которые специализируются на совместимых запчастях для полупроводникового оборудования. Они могут иметь в своих базах данных перекрестные ссылки. Однако для работы с ними также потребуется точная модель оборудования.

Предполагаемая структура технических характеристик (на примере)

Если бы это была, например, керамическая пластина электрода (ESC - Electrostatic Chuck) для камеры травления, то описание могло бы выглядеть так:

• Наименование: Пластина электростатического зажима, керамическая.
• Назначение: Фиксация кремниевой подложки на платформе в процессе плазменного травления.
• Материал: Высокочистая оксид-алюминиевая керамика (Al₂O₃) или нитрид-алюминиевая керамика (AlN).
• Диаметр: 300 мм (стандарт для современных линий).
• Тип зажима: Электростатический, биполярный.
• Интерфейс: Система охлаждения He, контакты для датчиков температуры.

Парт-номера и совместимые модели

Без точной модели оборудования невозможно предоставить достоверный список.

• Совместимые модели: Определяются только тем, для какой именно платформы TEL (например, TEL Tactras™ SPA, TEL Trias™ SPA) и для какого конкретного процесса (травление диэлектриков, металлов, кремния) была предназначена эта деталь.
• Эквивалентные парт-номера: Могут существовать у сторонних производителей, но их подбор требует экспертизы.

Итог

Для идентификации детали Tokyo Electron 7402580 критически необходимо:

1. Знать точную модель оборудования (например, TEL Trias™ SPA), в котором она установлена.
2. Обратиться напрямую к TEL или к инженеру по оборудованию на вашем производственном объекте, у которого есть доступ к закрытым каталогам запчастей.

Публичной информации по этому внутреннему номеру, скорее всего, не существует.