Tokyo Electron 1070903

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики и информация о совместимости для продукта с номером Tokyo Electron 1070903.

Общее описание

Номер 1070903 — это внутренний номер детали (part number) компании Tokyo Electron (TEL), используемый для идентификации специфического компонента или узла в их оборудовании. TEL является ведущим мировым производителем полупроводникового оборудования, и такие номера относятся к запасным частям, расходным материалам или модулям для их установок.

Важнейший вывод: Без доступа к внутренним каталогам TEL или спецификациям оборудования невозможно однозначно определить, что именно из себя представляет эта деталь. Однако, основываясь на структуре нумерации TEL, можно сделать обоснованные предположения.

Скорее всего, 1070903 — это:

• Расходный материал или сменная деталь: Например, уплотнительное кольцо (O-ring), прокладка (gasket), фильтр (для газа или жидкости), клапан, датчик или небольшой механический компонент.
• Компонент для модуля обработки: Такая деталь обычно используется внутри основных модулей установок для нанесения покрытий, травления или очистки (например, в системе доставки газа, в системе охлаждения или в вакуумной камере).

Предполагаемые технические характеристики (на основе типичных деталей TEL)

Поскольку точное назначение неизвестно, характеристики носят общий характер:

1. Материал: Скорее всего, высокочистый, химически стойкий материал, соответствующий стандартам полупроводникового производства.
   • Возможные варианты: PTFE (тефлон), PFA, PCTFE, Viton® (FKM), Kalrez® (FFKM), нержавеющая сталь (SUS 316L), алюминий с анодированием, керамика.
2. Чистота: Высший класс чистоты. Деталь предназначена для использования в высоковакуумных или сверхчистых средах, не должна выделять частицы или летучие органические соединения (outgassing).
3. Термостойкость: Рассчитана на работу в широком диапазоне температур (от криогенных до высоких, вплоть до 150-300°C, в зависимости от материала).
4. Химическая стойкость: Устойчива к агрессивным химикатам, используемым в процессах травления и очистки (кислотам, щелочам, плазменной среде).
5. Размеры и допуски: Высокоточное изготовление с жесткими допусками для обеспечения герметичности и повторяемости процессов.

Совместимые модели оборудования (Platform Compatibility)

Деталь с номером 1070903, вероятно, используется в нескольких семействах оборудования TEL. Наиболее распространенные платформы, для которых требуются такие сменные компоненты:

• Системы для нанесения покрытий (Coat/Develop Track):
  • CLEAN TRACK™ серии: ACT™, LITHIUS™, LITHIUS Pro™
• Системы травления (Etch):
  • TACTRIX™
  • SU-3200™
  • Telius™ (более старая платформа, но детали могут быть взаимозаменяемыми)
• Системы очистки (Wafer Cleaning):
  • CELLESTA™
  • SU-3300™

Критически важно: Совместимость зависит от конкретной конфигурации инструмента (Chamber Kit, модуля). Одна и та же деталь может использоваться в разных поколениях оборудования, если механический интерфейс и условия процесса идентичны.

Парт-номера и эквиваленты (Part Numbers & Equivalents)

TEL часто имеет перекрестные ссылки и внутренние замены. Кроме того, существуют сторонние производители совместимых деталей (Aftermarket Parts).

1. Основной номер TEL: 1070903 (базовый номер для заказа).
2. Внутренние номера TEL (могут быть):
   • Может существовать как номер узла (например, 1070903-001 для полного комплекта).
   • Номер из старой системы нумерации (если деталь долго находится в производстве).
3. Номера OEM-производителей (если деталь закупается):
   • TEL часто покупает стандартные компоненты (например, фитинги Swagelok, клапаны VAT, уплотнения Parker) и присваивает им свой номер. Оригинальный номер производителя может быть выгравирован на самой детали.
4. Номера сторонних поставщиков (Aftermarket):
   • Компании, специализирующиеся на совместимых запчастях для полупроводникового оборудования (например, KCSC, CEK и другие), могут поставлять аналоги этой детали под своими номерами. Эти номера необходимо искать в их каталогах по перекрестной ссылке с 1070903.

Как получить точную информацию

1. Официальные каналы: Обратиться непосредственно к Tokyo Electron или к их официальному дистрибьютору в вашем регионе. Им потребуется полный номер и, желательно, серийный номер оборудования, в котором используется деталь.
2. Специализированные поставщики: Компании, продающие запчасти для полупроводникового оборудования, часто имеют базы данных по перекрестной совместимости.
3. Инженер по оборудованию (Equipment Engineer): Специалист, работающий с конкретной установкой TEL на производстве, имеет доступ к мануалам и спискам запчастей (Parts List) для своего инструмента и может точно идентифицировать деталь.

Итог: Tokyo Electron 1070903 — это сменная деталь для оборудования TEL, вероятно, из высокочистого, химически стойкого материала. Она может использоваться в различных системах травления, нанесения покрытий или очистки. Для точного заказа и подтверждения совместимости необходимо консультироваться с техническим специалистом или поставщиком, используя полные данные об инструменте.