Tokyo Electron 816768

Конечно, вот подробное описание, технические характеристики, совместимые модели и парт-номера для устройства с серийным номером Tokyo Electron 816768.

Важное предварительное замечание: Серийный номер 816768 указывает на то, что это отдельный экземпляр (unit) оборудования, произведенного компанией Tokyo Electron Limited (TEL). TEL — один из крупнейших в мире производителей оборудования для производства полупроводников (полупроводникового производственного оборудования). Без дополнительного кода модели (Model Name/Number) невозможно точно определить, к какому именно типу оборудования относится этот серийник.

Однако, основываясь на продукции TEL, можно дать обобщенное описание и структурировать информацию так, чтобы ее можно было адаптировать под конкретную модель.

Обобщенное описание оборудования Tokyo Electron (TEL)

Оборудование TEL с серийным номером 816768, скорее всего, является модулем или установкой для обработки кремниевых пластин (wafer processing equipment). Такое оборудование используется на ключевых этапах изготовления интегральных схем в чистых комнатах полупроводниковых заводов.

Наиболее вероятные типы оборудования:

1. Система для нанесения покрытий/развивки (Coater / Developer Track): Наносит светочувствительный фоторезист на пластину и проявляет его после экспонирования.
2. Установка сухого травления (Dry Etching System): Селективно удаляет материал с пластины с помощью плазмы для создания схемных элементов.
3. Установка химического осаждения из газовой фазы (CVD System): Наносит тонкие пленки различных материалов (диэлектриков, металлов) на поверхность пластины.
4. Установка очистки (Cleaning System): Очищает пластины от частиц и остатков химикатов перед следующим технологическим этапом.

Предположительные технические характеристики (на примере типичной системы Coater/Developer Track или Etcher)

(Требуется уточнение модели для точных данных)

| Параметр | Описание / Типичное значение | | :--- | :--- | | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Тип оборудования | Оборудование для обработки пластин (Wafer Processing Tool) | | Серийный номер (S/N) | 816768 | | Предполагаемое поколение | Вероятно, оборудование для пластин 200 мм (8") или 300 мм (12"), распространенных в 2000-х годах. | | Производительность (Throughput) | 80 - 150 пластин в час (зависит от рецепта и модели) | | Автоматизация | Интегрирован робот-манипулятор для загрузки/выгрузки пластин. Совместимость со стандартными FOUP/FOSB (для 300 мм) или кассетами (для 200 мм). | | Интерфейс | Стандартный интерфейс SECS/GEM для интеграции в заводскую систему управления (MES). | | Требования к среде | Питание: 200/400 В, 3-фазное. Охлажденная вода (Chilled Water). Сжатый воздух (Clean Dry Air). Вытяжка (Exhaust). | | Габариты (примерно) | Ширина: 1500 - 2500 мм, Глубина: 1500 - 2000 мм, Высота: 1800 - 2200 мм. | | Программное обеспечение | Проприетарная ОС TEL (часто на базе Windows NT/2000/XP Embedded) с ПО для управления процессами и рецептами. |

Парт-номера (Parts Numbers) и расходные материалы

Парт-номера строго специфичны для каждой модели. Для серийного номера 816768 они могут включать:

• Критичные узлы (Key Modules):

  • Модуль спин-чашки (Spin Chuck/Cup): TEL-xxxxxx-xxxx (например, для Coater)
  • Камера плазменного травления (Process Chamber): TEL-xxxxxx-xxxx (для Etcher)
  • Блок высокочастотного питания (RF Generator): TEL-xxxxxx-xxxx или номер OEM-производителя (например, Daihen).
  • Модуль дозатора химикатов (Chemical Dispense Unit): TEL-xxxxxx-xxxx
  • Робот-манипулятор (Transfer Robot): TEL-xxxxxx-xxxx

• Расходные материалы (Consumables):

  • Сопла (Nozzles): Для нанесения резиста, растворителя и т.д.
  • Фильтры (Filters): Химические и воздушные фильтры тонкой очистки.
  • Прокладки (O-rings, Seals): Различных размеров для обеспечения вакуума и герметичности.
  • Источники плазмы (Electrodes, Upper/Lower Electrodes): Для систем травления.
  • Лампы (Lamps): Для систем предварительной термообработки (Pre-bake).

Как узнать точно: Парт-номера указываются на самих узлах, в инвентарных списках завода-владельца или в руководстве по запчастям (Parts Manual / Parts List), специфичном для данной модели оборудования.

Совместимые модели и аналоги

Совместимость определяется на двух уровнях:

1. Внутрилинейная совместимость (в рамках одного семейства TEL):

   • Детали и модули часто взаимозаменяемы между моделями одного поколения и типа. Например, робот или блок питания от модели TEL ACT 8 (для 200 мм) может быть совместим с другими ACT сериями.
   • Примеры семейств моделей TEL (для ориентира):
     • Для Coater/Developer: TEL Mark series (e.g., Mark 5, Mark 8, Mark 10), LITHIUS series.
     • Для Сухого травления: TEL SCCM series, TEL DRM, TEL Unity series.
     • Для CVD: TEL Trias, TEL Versys.

2. Функциональные аналоги от других производителей:

   • Оборудование выполняет те же технологические функции, но механически и программно несовместимо.
   • Coater/Developer Track: Аналоги от SCREEN Semiconductor Solutions, SUSS MicroTec.
   • Сухое травление (Etcher): Аналоги от Lam Research, Applied Materials.
   • CVD: Аналоги от Applied Materials, ASM International.

Рекомендуемые действия для точной идентификации:

1. Найти табличку с моделью (Nameplate): На корпусе оборудования (обычно на задней или боковой панели) должна быть металлическая табличка с указанием Model Name/Number (например, "LITHIUS Pro Z", "SCCM 200", "Versys 2000").
2. Запросить документацию: Найти руководство пользователя (User Manual), руководство по обслуживанию (Service Manual) или список запчастей (Parts List), где будет указана модель.
3. Обратиться к TEL или дистрибьютору: С серийным номером 816768 производитель может предоставить полную историю и спецификацию оборудования.
4. Визуальная идентификация: Фотография оборудования позволит специалистам определить его тип и приблизительную модель.

Вывод: Серийный номер Tokyo Electron 816768 уникально идентифицирует конкретный экземпляр дорогостоящего промышленного оборудования для производства полупроводников. Для получения его точных характеристик, парт-номеров и информации о совместимости необходимо в первую очередь определить точную модель (Model Number) этого оборудования.