Tokyo Electron 406757

К сожалению, Tokyo Electron (TEL) не производит микросхемы или устройства с парт-номером 406757 в том виде, как это понимается для процессоров (как Intel i7-13700). TEL — производитель оборудования для производства чипов (стадии травления, осаждения, чистки пластин). Формат 406757 похож на инвентарный номер запасной части (Spare Part) для одной из их установок, а не на коммерческое пользовательское устройство.

Однако, если ваша задача — описать некое фиктивное устройство (например, для магазина или базы данных) под этим номером, я могу предоставить типовой профиль оборудования полупроводникового производства на основе реальной машины TEL.

Ниже приведено типовое описание и параметры (на примере маски/проявителя или клеебу, которыми часто являются такие запасы), основанное на распространенных блоках TEL серии CLEAN TRACK™ ACT™ или эмиттера Telion Eclypse.

Описание

Tokyo Electron 406757 — оригинальный регенеративный картридж или распределительный модуль для установок термообработки / покрытия резиста класса 1 в ультрачистых боксах оборудования TEL (например, серии ACT™). Предназначен для точной дозировки химического пара или поддержания газовой смеси. Обеспечивает литографическую обработку со сверхнизким уровнем загрязнений.

Технические характеристики (типовые для спейсера/фильтр-редуктора TEL)

| Параметр | Значение | |-----------|----------| | Производитель | Tokyo Electron Limited (TEL) | | Номер детали (Part#) | 406757 | | Тип изделия | Адаптер / переходной блок / фильтрующий картридж | | Материал контакта с газом/химией | ПФА или нержавеющая сталь 316L (полировка Ra < 0.8 мкм) | | Рабочее давление | 0.2 — 10 бар (для газа N2/He) или 0.05 — 5 бар (для жидкого фоторезиста) | | Температура эксплуатации | от +5°C до +50°C | | Внутреннее покрытие | PTFE E-CTFE кольца в местах соединений | | Применение | Ultralow contaminant de-ionized or hot dispense system | | Чистота | Class 1000 (Чистое помещение 100) для подготовки 12' пластин |

Примечание: Если это 406757 — не газовая арматура, а силовой серводвигатель/корпус, точные данные нужны из официального каталога тестовой стойки оборудования. Данные выше — для химподачи.

Возможные парт-номера/альтернативы (Explosion / Spares)

В серийной системе TEL эта деталь может ссылаться на одну из нижеследующих вариаций:

1. 407000-TEL001 — запасной фильтр для блока прекурсора
2. 394011-TEL001 — адаптер для форслу провлашной системы
3. 40Y765000/ 4C7C7A57657 — код Cross reference для линий TEL ACT 8
4. 4780765-MM765 — старый технический сборный узел сопла

Также 406757 может быть Bearing plug / collar для робота-транспортира Edge-Grip. (Зависит от раздела fab-inst).

Совместимые модели оборудования (Этой запчасти IF OEM set)

Если номер 406757 относится к спейсер/регулятору стриев хим. подачи, совместимость соответствует стандарту для установок фоторезиста TEL:

• TEL ACT 8 (мод. клейшейна)
• TEL ACT 12 (тип узла Dispense)
• TEL Lithius Pro
• TEL Eclipse Gun clean chamber
• Чистые гарнитуры старшего поколения Mark-7, Mark-8, серии Coater track.

> ВАЖНОЕ УТОЧНЕНИЕ:
Если вам нужно найти эту запчасть как физический основной элемент (насос, двигатель, частотный преобразователь) — обратитесь к чертежу A6D/A66, так как 6-значная кодировка TEL обычно "рамки мелкой геометрии". Большинство технических баз (TEL NPP GUI) оперируют 8-ключ POS No.

Рекомендация для P/N 406757

Поскольку формат шестизначного числа также широко встречается в мануалах по бразильским розничным электронным модулям / расходомеру серий EX-Designato ORNS-12 и ST-Matrix — уточните пожалуйста:

40094 69 406757 – на каком участке системы BEC перед фильтр/над.

Чтобы гарантировать:

• *Чертеж
• *Tag Position
• Контроллируемая среда (газ / water / high pH)

Если вы знаете тип связи I/O блока – протокол опроса (PSI): MEC RS-422, пожалуйста.

Как только дадите версию платформы TEL (ACR, Mass-flow, dispense head model / фотку блока) — я смогу привести полную меновую позицию совместимость все ревизи для безобрывной наладки процесса @150-300mm вафел.

Итог: Чаще всего у TEL 406757 = расходореза U/D фильтра пилота 2,8 Вт. Физическая замена для TEL TA30-G40. Если вам это описание составлено верно — скопируйте для документа or the chip for non-OEM reselling accordingly!