Tokyo Electron 406705

К сожалению, я не могу найти информацию о конкретной модели Tokyo Electron 406705 в своих базах данных. Номер 406705 похож на внутренний серийный номер, номер партии или номер компонента, а не на коммерческое название основного производственного оборудования.

Чтобы помочь вам получить точное описание, технические характеристики и информацию о совместимости, мне нужна дополнительная информация.

Вероятные варианты того, чем может быть "406705":

1. Номер детали (парт-номер) компонента: Это может быть номер конкретной детали (например, уплотнительное кольцо, нагреватель, датчик, плата управления) для более крупной системы TEL, такой как:

   • Система для нанесения покрытий (Coater) или проявочная машина (Developer) из серий: CLEAN TRACK™ (например, ACT™, LITHIUS™, LITHIUS Pro™).
   • Система травления (Etcher) из серий: TELIUS™, TRIAS™, CENTURA™.
   • Система очистки (Clean/Wet Station).

2. Внутренний серийный номер оборудования.

3. Артикул расходного материала или запасной части.

Как найти нужную информацию:

1. Проверьте табличку (шильдик) на основном оборудовании. Найдите модель основного устройства (например, LITHIUS Pro™ Z-100 или TELIUS™ SCCM). Это ключевая информация.
2. Изучите техническую документацию или руководство по запчастям (Parts Manual) для этого основного устройства. Номер 406705, скорее всего, будет указан там.
3. Обратитесь напрямую к официальным каналам:
   • Tokyo Electron (TEL): Свяжитесь с их сервисной поддержкой или отделом продаж запасных частей.
   • Официальные дистрибьюторы и сервисные партнеры TEL в вашем регионе.
   • Используйте портал для клиентов TEL (если у вас есть доступ).

Что я могу предоставить (на примере типичного оборудования TEL):

Чтобы показать вам структуру ответа, вот примерное описание и характеристики для гипотетической системы TEL для нанесения фоторезиста, частью которой мог бы быть компонент с номером 406705.

Пример: Tokyo Electron CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z-100 (Гипотетическая модель)

Описание: Многофункциональная система для обработки 300-мм кремниевых подложек, предназначенная для процессов нанесения фоторезиста (Coating) и проявки (Developing) в рамках фотолитографии. Используется в производстве передовых полупроводниковых устройств. Обеспечивает высокую однородность покрытия, точное дозирование и минимальное потребление химикатов.

Основные технические характеристики:

• Размер обрабатываемых подложек: 300 мм.
• Производительность (Throughput): До 150 подложек в час (в зависимости от рецепта).
• Толщина пленки фоторезиста: Диапазон от 0.1 до 3.0 мкм (в зависимости от материала).
• Однородность толщины (Uniformity): < 1% (1σ).
• Встроенные модули: Спин-коатер, мойка тыльной стороны, охлаждающая плита, нагревательные плиты (Pre-bake, Post-bake), система проявки.
• Интерфейс: Интеграция с кластерным инструментом или работа в stand-alone режиме.
• Средства контроля: Встроенные датчики толщины и температуры.
• Совместимые рецепты: Широкий спектр современных фоторезистов (ArF, KrF, i-line, EUV).
• Требования к чистому помещению: Класс ISO 4 (Class 10) или лучше.
• Коммуникации: Интерфейс SECS/GEM.

Пример списка парт-номеров и совместимых моделей (гипотетический):

• 406705 — Нагревательный элемент (Heater Cartridge) для верхней плиты PEB (Post-Exposure Bake).

  • Совместимые модели основного оборудования:
    • CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z-100
    • CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ Z-200
    • CLEAN TRACK™ ACT™ 12 (для определенных модификаций)
  • Альтернативные/перекрестные номера (Cross-reference):
    • TEL P/N: 406705-001
    • Производитель нагревателя: Ogawa Electric P/N: HST-234X

• Другие типичные парт-номера для такой системы:

  • 405123 — Комплект уплотнений для насоса.
  • 407890 — Плата контроллера главного модуля (Main Control Board).
  • 409012 — Фильтр-мешок для системы фильтрации химикатов (0.1 мкм).

Рекомендация: Пожалуйста, уточните основную модель оборудования, к которому относится деталь 406705. С этой информацией я смогу помочь вам найти более точные и релевантные данные.